一种双面卷绕镀膜机制造技术

本发明专利技术涉及镀膜领域，尤其涉及一种双面卷绕镀膜机，包括：机器外壳、驱动机构、对称设置的两组内筒以及抽气设备，具体的，所述内筒的内部垂直设置有两组基板，两组所述基板的表面可拆卸地设置有靶材，所述机器外壳的内部位于基板之间固定有磁靶头，所述驱动机构控制内筒转动以切换与磁靶头垂直的靶材，所述驱动机构驱动卷材送料机构将卷材的两个表面分别沿两个所述内筒的靶材的表面水平输送。本发明专利技术通过设置的两组内筒以及设置在内筒内部的基板，提供了能够自由切换的两组固定靶材的结构，这样在日常使用时，可以根据需求进行切换，寿命结束的靶材可以直接拆下，并更换新的靶材，从而能够达到循环使用的目的。能够达到循环使用的目的。能够达到循环使用的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种双面卷绕镀膜机


[0001]本专利技术涉及镀膜领域，尤其涉及一种双面卷绕镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]对于磁控溅射镀膜机来说，一般是通过磁靶头对靶材进行轰击，从而将靶材表面的组分以原子团或者离子形式溅射出来，而对于卷绕的卷材来说，磁靶头通常垂直靶材和卷材，这样就能将垂直进行溅射，达到镀膜的功能，此种方式虽然能够满足需求，但是每次在靶材的寿命结束后，都需要替换新的靶材，而无法一直进行使用，存在一定的使用问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术针对现有技术存在的不足，提供了一种双面卷绕镀膜机，具体技术方案如下：
[0005]一种双面卷绕镀膜机，包括：机器外壳、驱动机构、对称设置的两组内筒以及抽气设备。
[0006]具体的，所述机器外壳的内部设置有卷材送料机构，所述内筒的内部垂直设置有两组基板，两组所述基板的表面可拆卸地设置有靶材，所述机器外壳的内部位于基板之间固定有磁靶头，所述驱动机构控制内筒转动以切换与磁靶头垂直的靶材，所述抽气设备从机器外壳的内部抽气以保证机器外壳的内部为真空状态，所述驱动机构驱动卷材送料机构将卷材的两个表面分别沿两个所述内筒的靶材的表面水平输送。
[0007]作为上述技术方案的改进，所述卷材送料机构包括有外辊组、内辊组以及两根同步带，所述外辊组与内辊组均包括有四个辊体，所述外辊组的四个辊体呈四边形固定于机器外壳的内部，所述内辊组的四个辊体呈矩形固定于外辊组的内侧，所述辊体的一端均设置有齿轮，所述外辊组的辊体的齿轮啮合于其中一个同步带上，所述内辊组的辊体的齿轮啮合于另一个同步带上。
[0008]作为上述技术方案的改进，所述机器外壳的内部设置有卷绕有卷料的料辊，所述卷料从料辊送出依次经过内辊组的竖直一侧两个辊体、外辊组的水平上侧的两个辊体、内辊组的竖直另一侧两个辊体、外辊组的下侧的两个辊体。
[0009]作为上述技术方案的改进，所述驱动机构包括有电机一、电机二以及电机三，所述电机一的动力端固定于所述外辊组的其中一个辊体端部，所述电机二的动力端固定于所述内辊组的其中一个辊体端部，所述电机三的动力端与内筒固定。
[0010]作为上述技术方案的改进，所述内筒的两端固定有调节转轴，所述电机三的动力端通过调节转轴与固定内筒固定。
[0011]作为上述技术方案的改进，所述内筒的表面设置有两个侧槽，所述侧槽分别与两
个所述靶材水平设置，所述侧槽与卷料紧贴以形成密闭空间。
[0012]作为上述技术方案的改进，所述抽气设备包括有抽气管一以及抽气管二，所述抽气管二与机器外壳的内部连通，所述抽气管一与所述密闭空间连通。
[0013]作为上述技术方案的改进，所述磁靶头的外侧设置有挡板，所述挡板与磁靶头水平设置。
[0014]作为上述技术方案的改进，所述机器外壳的前表面设置有可拆卸的密封门，所述机器外壳的内部设置有内腔，所述机器外壳的侧面可拆卸地设置有侧门，所述侧门封闭内腔，所述内筒转动以驱使基板转动至内腔的内部。
[0015]本专利技术的有益效果：
[0016]通过设置的两组内筒以及设置在内筒内部的基板，提供了能够自由切换的两组固定靶材的结构，这样在日常使用时，可以根据需求进行切换，寿命结束的靶材可以直接拆下，并更换新的靶材，从而能够达到循环使用的目的。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的主视图；
[0018]图2为本专利技术其中一侧的结构图；
[0019]图3为本专利技术另一侧的结构图；
[0020]图4为本专利技术的剖视图；
[0021]图5为图4中A处的放大结构示意图。
[0022]附图标记：10、机器外壳；11、密封门；12、侧门；13、密封轴承；14、料辊；15、内腔；20、驱动机构；21、电机一；22、电机二；23、电机三；24、同步带；25、外辊组；26、内辊组；27、调节转轴；30、内筒；31、磁靶头；32、基板；33、靶材；34、侧槽；35、挡板；40、抽气设备；41、抽气管一；42、抽气管二。
具体实施方式
[0023]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0024]通过将磁靶头垂直朝向靶材和卷材，来对卷材进行垂直溅射，达到对卷绕材料的镀膜功能，此种方式虽然能够满足需求，但是每次在靶材的寿命结束后，都需要替换新的靶材，而无法一直进行使用，存在一定的使用问题。
[0025]为了解决上述问题，请参阅图1
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5，提供一种双面卷绕镀膜机，包括：机器外壳10、驱动机构20、对称设置的两组内筒30以及抽气设备40。
[0026]具体的，机器外壳10的内部设置有卷材送料机构，内筒30的内部垂直设置有两组基板32，两组基板32的表面可拆卸地设置有靶材33，机器外壳10的内部位于基板32之间固定有磁靶头31，驱动机构20控制内筒30转动以切换与磁靶头31垂直的靶材33，抽气设备40从机器外壳10的内部抽气以保证机器外壳10的内部为真空状态，驱动机构20驱动卷材送料机构将卷材的两个表面分别沿两个内筒30的靶材33的表面水平输送。
[0027]即通过设置的卷材送料机构对卷材进行输送，然后以两组对称的内筒30来进行内
部的镀膜，并且以磁靶头31垂直靶材33的方式进行镀膜，通过抽气设备40进行抽气，这样能够在需要进行真空镀膜的情况下将机器外壳10的内部抽真空，以此来满足真空操作需求。
[0028]在上述技术方案中，能够以内筒30转动的方式来切换与磁靶头31垂直的靶材33，而寿命结束的靶材33可以直接拆下并替换上新的靶材33，在操作的过程中无需停止工作，仅需等待一定的切换时间即可继续工作。
[0029]在上述技术方案中，虽然能够满足正常使用，但是无法在真空环境下进行靶材33的切换，为了满足这一条件，请参阅图5，机器外壳10的前表面设置有可拆卸的密封门11，机器外壳10的内部设置有内腔15，机器外壳10的侧面可拆卸地设置有侧门12，侧门12封闭内腔15，内筒30转动以驱使基板32转动至内腔15的内部。
[0030]即通过密封门11来进行密封和镀膜结束后的卸料和上料，有时会在加工过程中出现靶材33寿命结束的情况，而为了保持内部的真空环境，以内腔15来对基板32的位置进行拆卸，这样当切换时，内部仍然处于封闭状态，而基板32的位置则处于内腔15的位置，从外侧将侧门12打开，此时内腔15打开，可以将基板32上的靶材33拆除，由于另一个基板32上设置靶材33，因此不会出现连通的状态，保证内部的密封性，将靶材33替换后，重新将内腔15抽真空，完全真空后，才可进行切换操本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面卷绕镀膜机，其特征在于，包括：机器外壳(10)，所述机器外壳(10)的内部设置有卷材送料机构；驱动机构(20)；对称设置的两组内筒(30)，所述内筒(30)的内部垂直设置有两组基板(32)，两组所述基板(32)的表面可拆卸地设置有靶材(33)，所述机器外壳(10)的内部位于基板(32)之间固定有磁靶头(31)，所述驱动机构(20)控制内筒(30)转动以切换与磁靶头(31)垂直的靶材(33)；抽气设备(40)，所述抽气设备(40)从机器外壳(10)的内部抽气以保证机器外壳(10)的内部为真空状态；所述驱动机构(20)驱动卷材送料机构将卷材的两个表面分别沿两个所述内筒(30)的靶材(33)的表面水平输送。2.根据权利要求1所述的一种双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述卷材送料机构包括有外辊组(25)、内辊组(26)以及两根同步带(24)，所述外辊组(25)与内辊组(26)均包括有四个辊体，所述外辊组(25)的四个辊体呈四边形固定于机器外壳(10)的内部，所述内辊组(26)的四个辊体呈矩形固定于外辊组(25)的内侧，所述辊体的一端均设置有齿轮，所述外辊组(25)的辊体的齿轮啮合于其中一个同步带(24)上，所述内辊组(26)的辊体的齿轮啮合于另一个同步带(24)上。3.根据权利要求2所述的一种双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述机器外壳(10)的内部设置有卷绕有卷料的料辊(14)，所述卷料从料辊(14)送出依次经过内辊组(26)的竖直一侧两个辊体、外辊组(25)的水平上侧的两个辊体、内辊组(26)的竖直另一侧两个辊体、外辊组(25)的下侧的两个辊体。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘同林，汪秀义，
申请(专利权)人：铜陵市超越电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：