蒸镀坩埚及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了蒸镀坩埚及蒸镀装置，蒸镀坩埚，包括颈筒、凹槽和坩埚主体，所述颈筒中部开设有凹槽，所述颈筒底端通过可拆卸装置连接在坩埚主体顶端外壁上；所述可拆卸装置包括固定安装在颈筒左侧底端的侧对接板，所述颈筒右侧底端固定安装有侧引导板，所述侧对接板和侧引导板底端皆插设在侧对接槽内侧，所述侧对接槽开设在坩埚主体顶端外壁上。本发明专利技术将颈筒与坩埚主体设置成可拆卸连接，这样当该坩埚主体在完成一次蒸镀后，可以将颈筒从坩埚主体中拆卸取下，方便对颈筒的内壁冷却附着的液态蒸镀材料进行清洗，使该坩埚主体在下次使用时气态蒸镀材料依旧能够顺畅地通过颈筒。镀材料依旧能够顺畅地通过颈筒。镀材料依旧能够顺畅地通过颈筒。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚及蒸镀装置


[0001]本专利技术属于蒸镀设备
，尤其涉及蒸镀坩埚及蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在OLED面板制备过程中，蒸镀工艺是其中十分重要的关键工序。
[0003]如公告号为CN114574809A的专利技术专利，该蒸镀坩埚的加热装置产生的热量，既可以通过坩埚本体的外底壁进行传导，又可以通过坩埚本体的分隔部进行传导，从而解决了现有技术中蒸镀坩埚的加热速度慢、加热效率低的问题。
[0004]现有的蒸镀坩埚在完成蒸镀作业后，颈筒内壁冷却附着的液态蒸镀材料不易被清洗，易导致蒸镀坩埚在再次进行使用时气态的蒸镀材料不易通过颈筒，影响装置在使用过程中的工作效率。
[0005]因此我们提出了屋面板檐口连接组件，用于解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术针对现有技术中点状蒸镀工艺中的蒸镀坩埚在使用时蒸镀材料易喷溅到基材、影响蒸镀品质的问题，提出如下技术方案：
[0007]蒸镀坩埚，包括颈筒、凹槽和坩埚主体，所述颈筒中部开设有凹槽，所述颈筒底端通过可拆卸装置连接在坩埚主体顶端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.蒸镀坩埚，包括颈筒(1)、凹槽(2)和坩埚主体(9)，所述颈筒(1)中部开设有凹槽(2)，其特征在于：所述颈筒(1)底端通过可拆卸装置连接在坩埚主体(9)顶端外壁上；所述可拆卸装置包括固定安装在颈筒(1)左侧底端的侧对接板(3)，所述颈筒(1)右侧底端固定安装有侧引导板(5)，所述侧对接板(3)和侧引导板(5)底端皆插设在侧对接槽(4)内侧，所述侧对接槽(4)开设在坩埚主体(9)顶端外壁上，所述侧对接板(3)和侧引导板(5)内侧的颈筒(1)底端固定安装有固定插块(6)，且固定插块(6)皆插设在第一限位开槽(7)内侧，所述第一限位开槽(7)对称开设在坩埚主体(9)顶端的外壁上，所述侧引导板(5)内壁底端通过设置有的滚动机构插设在侧对接槽(4)内侧，所述侧对接板(3)和侧引导板(5)底端中部皆固定安装有限位插块(10)，且限位插块(10)底端皆插设在坩埚主体(9)外壁上。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述固定插块(6)底端外壁插设有限位凸块(8)，且限位凸块(8)底端固定安装在第一限位开槽(7)内壁中部，所述限位凸块(8)顶端圆弧状材质设置成圆弧状。3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述侧对接板(3)和侧引导板(5)侧外壁皆通过开花螺栓(17)使得颈筒(1)与坩埚主体(9)之间进行锁定连接。4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述侧引导板(5)的长度大于侧对接板(3)的长度，所述侧对接槽(4)的长度与侧对接板(3)和侧引导板(5)的长度相匹配。5.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘同林，汪秀义，
申请(专利权)人：铜陵市超越电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：