一种蒸镀源和蒸镀装置制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸镀源和蒸镀装置，所述蒸镀源包括坩埚本体和内压板，所述坩埚本体设有朝向待蒸镀基板表面的出口；所述内压板可移动地设置在所述坩埚本体内以与所述坩埚本体形成容置腔，所述内压板开设有蒸镀孔。上述蒸镀源在真空蒸镀过程中，蒸镀材料蒸镀时会在坩埚本体内产生一定的内压，由于内压板可移动地设置在坩埚本体内，通过内压板相对于坩埚本体的移动可以调整坩埚本体内的容置腔大小，从而可以平衡蒸镀时产生的内压，使容置腔内的内压维持在稳定的范围，继而使得蒸镀源具有稳定的蒸发速率，从而提高蒸镀形成的膜层厚度的均一性，提高OLED的显示效果和产品良率。提高OLED的显示效果和产品良率。提高OLED的显示效果和产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀源和蒸镀装置


[0001]本申请属于显示装置制备
，尤其涉及一种蒸镀源和蒸镀装置。

技术介绍

[0002]真空蒸镀是生产OLED(Organic Light Emitting Diode，有机电致发光二极管)过程中必不可少的工艺环节，真空蒸镀工艺的优劣在很大程度上决定了OLED的显示效果优劣和产品的良率。例如，在真空蒸镀过程中，，由于坩埚内温度不均匀和/或随着蒸镀的进行时长不同，坩埚内蒸镀材料的蒸发速率不同，致使蒸镀形成的膜层厚度均一性较差，对OLED的显示效果和产品良率的影响较大。
[0003]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0004]本申请旨在至少能够在一定程度上解决随着蒸镀的进行时长不同，坩埚内蒸镀材料的蒸发速率不同，致使蒸镀形成的膜层厚度均一性较差，对OLED的显示效果和产品良率的影响较大的技术问题。为此，本申请提供了一种蒸镀源和蒸镀装置。
[0005]本申请实施例提供的一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源包括：坩埚本体，所述坩埚本体设有朝向待蒸镀基板表面的出口；和，内压板，所述内压板可移动地设置在所述坩埚本体内以与所述坩埚本体形成容置腔，所述内压板开设有蒸镀孔。2.如权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括：升降装置，所述升降装置用于使所述坩埚本体与所述内压板相对升降，以调整所述内压板相对于所述坩埚本体的高度。3.如权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括：盖板，所述盖板盖设在所述出口上，所述盖板上开设有喷嘴；和，蒸发通道，所述蒸发通道可伸缩地连通在所述喷嘴与所述蒸镀孔之间。4.如权利要求3所述的蒸镀源，其特征在于，所述内压板开设有多个所述蒸镀孔，多个所述蒸镀孔阵列排布在所述内压板上，每个所述蒸镀孔的面积由所述内压板的中间区域向所述内压板的周边区域逐步增大。5.如权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源为线型蒸镀源，所述线型蒸镀源包括长度方向和宽度方向，多个所述蒸镀孔沿所述长度方向呈一字型地排布在所述内压板上，每个所述蒸镀孔的面积由所述内压板的中间向所述内压板的两端逐步增大。6.如权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，位于外侧的所述蒸镀孔的面积是相邻的位于内侧的所述蒸镀孔的面积的1倍～10倍。7.如权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，所述内压板包括第一压板和与所述第一压板叠设的第二压板，所述第一压板上开设有所述蒸镀孔，所述第二压板开设有多个通孔，多个所述通...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾琪皓，郭佳文，李彦松，白珊珊，赵莹，关新兴，杨炳伟，刘浩，刘华猛，刘佳宁，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：