真空蒸镀机架总成制造技术

技术编号:38015439 阅读:6 留言:0更新日期:2023-06-30 10:40
本发明专利技术涉及真空镀膜技术领域,具体的说是真空蒸镀机架总成,包括壳体、蒸发源和底托,蒸发源设置于壳体底部,底托设置于蒸发源正上方,镀膜架,设置于底托上方,所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔;夹持组件,设置有多组,均匀分布于放置孔侧壁,对放置孔内的基片进行夹持。本发明专利技术设置有翻转组件,能够对镀膜架进行翻转,从而在不停止机器的前提下将放置在放置孔内的基材进行翻面,实现双面镀膜;同时设置有夹持组件,能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定,保证基片在翻转时不会掉落;利用机器内部的本身的高温配合气体遇热膨胀的特性对夹持组件提供动力,能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定。置孔内部的基片进行夹持固定。置孔内部的基片进行夹持固定。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀机架总成


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
,具体的说是真空蒸镀机架总成。

技术介绍

[0002]真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法,多用于对眼镜片的加工。
[0003]现有的真空蒸镀机:由壳体、底部蒸发源和蒸发源上方的镀膜架组成,壳体密封且内部形成真空条件后,蒸发源启动原料被升华至镀膜架上的基材表面形成镀膜。
[0004]蒸镀机镀膜流程:在蒸镀前,将基片平铺在镀膜架的槽孔中,基片下表面镀膜完成后将镀膜架取出,而后将每个基片翻转进行二次镀膜,从而完成对基片的全面镀膜。
[0005]但是其还存在一些不足之处:
[0006]由于镀膜架和基片之间没有较为牢固的固定方式,因此对基片的两个面进行镀膜时需停下机器进行人工的基片翻转操作,影响整体效率;
[0007]因此需要一种真空蒸镀机架总成来解决上述的问题。

技术实现思路

[0008]本专利技术提供如下技术方案:真空蒸镀机架总成,包括壳体、蒸发源和底托,蒸发源设置于壳体底部,底托设置于蒸发源正上方,镀膜架,设置于底托上方,所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔;
[0009]夹持组件,设置有多组,均匀分布于放置孔侧壁,对放置孔内的基片进行夹持,所述夹持组件包括开设于镀膜架内部的密封腔,密封腔内部插设有夹持杆,夹持杆远离放置孔的一端连接有密封头,所述镀膜架内部开设有储存腔,储存腔和密封腔之间开设有用于连通的支通道,储存腔内部充入有可膨胀的气体,所述夹持杆于蒸镀进行时受气体膨胀压出呈伸出状态,所述夹持杆于伸出状态下夹紧放置孔内的基片。
[0010]优选的,翻转组件,设置于底托外部,对底托和镀膜架进行翻转操作,所述翻转组件包括两组连接杆和翻转电机,两组所述连接杆对称设置于底托两侧,皆转动连接于壳体侧壁,其中一组连接杆连接有安装于壳体侧壁的翻转电机。
[0011]优选的,所述镀膜架侧壁均匀连接有四组挂耳,挂耳正下方的底托内部开设有螺纹孔。
[0012]优选的,所述密封头背离夹持杆的一端连接有密封塞。
[0013]优选的,所述夹持杆外壁缠绕有弹簧。
[0014]优选的,所述密封腔内壁设置有限位环。
[0015]优选的,所述夹持杆靠近基片的一侧为匹配于基片外壁的圆弧状。
[0016]优选的,多组所述储存腔之间通过连通通道相互连通。
[0017]优选的,所述储存腔内部充入有氮气。
[0018]优选的,所述放置孔包括b1和b2,b1的直径大于b2的直径。
[0019]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:
[0020]该真空蒸镀机架总成设置有翻转组件,能够对镀膜架进行翻转,从而在不停止机器的前提下将放置在放置孔内的基材进行翻面,实现双面镀膜;
[0021]同时设置有夹持组件,利用机器内部的本身的高温配合气体遇热膨胀的特性对夹持组件提供动力,能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定,保证基片在翻转时不会掉落,保证对基片夹持的牢固性。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术的正视剖面结构示意图;
[0024]图2为本专利技术的底托和镀膜架处局部立体结构示意图;
[0025]图3为本专利技术的镀膜架处局部立体剖视结构示意图;
[0026]图4为本专利技术的夹持组件处局部立体剖视结构示意图;
[0027]图5为本专利技术的图4中A处放大结构示意图。
[0028]附图说明:110、壳体;120、蒸发源;130、底托;140、连接杆;150、翻转电机;160、镀膜架;161、挂耳;170、放置孔;210、储存腔;220、密封腔;230、夹持杆;240、密封头;250、密封塞;260、弹簧;270、限位环;280、支通道;290、连通通道。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0030]如图1

5所示,本专利技术实施例中:真空蒸镀机架总成,包括壳体110、蒸发源120和底托130,蒸发源120设置于壳体110底部,底托130设置于蒸发源120正上方,其特征在于:
[0031]镀膜架160,可拆卸的设置于底托130上方,镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔170;
[0032]夹持组件,设置有多组,均匀分布于放置孔170侧壁,对放置孔170内的基片进行夹持;
[0033]翻转组件,设置于底托130外部,对底托130和镀膜架160进行翻转操作。
[0034]夹持组件包括开设于镀膜架160内部的密封腔220,密封腔220内部插设有夹持杆230,夹持杆230远离放置孔170的一端连接有密封头240,镀膜架160内部开设有储存腔210,储存腔210和密封腔220之间开设有用于连通的支通道280,储存腔210内部充入有可膨胀的气体。
[0035]在具体操作中,工人将待镀膜的基片放置于放置孔170内部,而后通过螺栓将镀膜架160安装于底托130上方,密封壳体110,启动蒸发源120,此时壳体110内部的温度开始升
高,储存腔210内部的气体受热开始膨胀,推动密封头240、密封塞250和夹持杆230向放置孔170一侧移动,从而对放置孔170进行夹持,当基片下表面镀膜完成后,启动翻转电机150,带动连接杆140转动180度,底托130、镀膜架160和基片翻转,可以对基片的另一面进行镀膜,在不停止机器的前提下完成对基片的双面镀膜,减少了工人手工翻转基片的步骤,缩短了镀膜整体耗时,加快了镀膜效率。
[0036]翻转组件包括两组连接杆140和翻转电机150,两组连接杆140对称设置于底托130两侧,皆转动连接于壳体110侧壁,其中一组连接杆140连接有安装于壳体110侧壁的翻转电机150,镀膜架160侧壁均匀连接有四组挂耳161,挂耳161正下方的底托130内部开设有螺纹孔。
[0037]通过上述设计,工人将挂耳161和底托130表面的螺纹孔对齐后,能够通过螺栓快速对挂耳161和底托130进行连接,保证镀膜架160能够随着底托130进行同步翻转。
[0038]密封头240背离夹持杆230的一端连接有密封塞250,密封塞250设置为树脂材质。
[0039]通过上述设计,壳体110内部工作时的温度为90

180摄氏度,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空蒸镀机架总成,包括壳体(110)、蒸发源(120)和底托(130),蒸发源(120)设置于壳体(110)底部,底托(130)设置于蒸发源(120)正上方,其特征在于:镀膜架(160),设置于底托(130)上方,所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔(170);夹持组件,设置有多组,所述夹持组件均匀分布于放置孔(170)侧壁,对放置孔(170)内的基片进行夹持,所述夹持组件包括开设于镀膜架(160)内部的密封腔(220),密封腔(220)内部插设有夹持杆(230),夹持杆(230)远离放置孔(170)的一端连接有密封头(240),所述镀膜架(160)内部开设有储存腔(210),储存腔(210)和密封腔(220)之间开设有用于连通的支通道(280),储存腔(210)内部充入有气体,所述夹持杆(230)于蒸镀进行时受气体膨胀压出呈伸出状态,所述夹持杆(230)于伸出状态下夹紧放置孔(170)内的基片。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀机架总成,其特征在于:翻转组件,设置于底托(130)外部,对底托(130)和镀膜架(160)进行翻转操作,所述翻转组件包括两组连接杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘同林汪秀义
申请(专利权)人:铜陵市超越电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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