真空蒸镀装置、自转角度判断方法及被蒸镀物的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在被蒸镀物可自转公转的真空蒸镀装置中，能够准确判断被蒸镀物的自转角度的技术。本发明专利技术的真空蒸镀装置具有：多个夹持器、拍摄部、以及控制部。所述多个夹持器能够分别保持被蒸镀物进行蒸镀的被蒸镀物，并能够在分别自转的同时围绕公转轴公转。所述拍摄部能够拍摄保持有被蒸镀物的所述多个夹持器中的至少一个夹持器。所述控制部基于所述拍摄部拍摄的图像，判断所述被蒸镀物的自转角度。判断所述被蒸镀物的自转角度。判断所述被蒸镀物的自转角度。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀装置、自转角度判断方法及被蒸镀物的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种真空蒸镀装置等技术。

技术介绍

[0002]真空蒸镀法是通过在真空中将金属、氧化物等蒸镀材料加热并使其蒸发，将其蒸汽附着和沉积在衬底等被蒸镀物，从而在被蒸镀物上进行成膜的技术。
[0003]作为真空蒸镀法的一种，已知在真空腔室内在使衬底等被蒸镀物自转公转的同时进行成膜的技术(例如参照下述专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2009
‑
263762号公报。
[0007]专利技术要解决的问题
[0008]需要一种在被蒸镀物可自转公转的真空蒸镀装置中能够准确地判断被蒸镀物的自转角度的技术。

技术实现思路

[0009]鉴于上述情况，本专利技术的目的在于提供一种在被蒸镀物可自转公转的真空蒸镀装置中能够准确地判断被蒸镀物的自转角度的技术。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]本专利技术的真空蒸镀装置具有多个夹持器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀装置，具有：多个夹持器，其能够分别保持被蒸镀物进行蒸镀的被蒸镀物，并能够在分别自转的同时围绕公转轴公转；拍摄部，其能够拍摄保持有被蒸镀物的所述多个夹持器中的至少一个夹持器；以及控制部，其基于所述拍摄部拍摄的图像，判断所述被蒸镀物的自转角度。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其中，所述控制部切换动态蒸镀模式和静态蒸镀模式，所述动态蒸镀模式在使所述被蒸镀物自转公转的同时对被蒸镀物进行蒸镀，所述静态蒸镀模式使所述被蒸镀物静止并对被蒸镀物进行蒸镀。3.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其中，所述控制部在所述静态蒸镀模式下，使所述拍摄部进行拍摄，判断所述被蒸镀物的自转角度。4.根据权利要求1～3中任一项所述的真空蒸镀装置，其中，所述拍摄部的视角至少包括当所述夹持器自转一周时所述夹持器在公转方向移动的范围。5.根据权利要求1～4中任一项所述的真空蒸镀装置，还具有：入射角度调节机构，其使所述夹持器围绕与所述公转轴垂直的方向的轴转动，调节所述蒸镀物相对于所述被蒸镀物的入射角度。6.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其中，所述拍摄部的视角至少包括由于所述入射角度的调节引起的所述夹持器的转动使所述夹持器在摄动方向摄动时的摄动范围。7.根据权利要求1～6中任一项所述的真空蒸镀装置，其中，所述夹持器具有用于判断所述被蒸镀物的自转角度的标记。8.根据权利要求7所述的真空蒸镀装置，其中，所述标记设置在离开所述夹持器的自转轴的位置，对应于所述夹持器的自转公转而围绕所述自转轴旋转。9.根据权利要求8所述的真空蒸镀装置，其中，所述夹持器具有凸缘部，所述标记设置在凸缘部。10.根据权利要求9所述的真空蒸镀装置，其中，所述标记是贯通所述凸缘部的孔部。11.根据权利要求8～10中任一项所述的真空蒸镀装置，其中，所述控制部基于所述图像内的标记的位置和夹持器的中心位置，判断所述自转角度。12.根据权利要求1～11中任一项所述的真空蒸镀装置，其中，所述控制部执行将所述图像内的夹持器以从所述夹持器的正面看到那样进行校正的校正处理，基于校正处理后的图像判断所述自转角度。13.根据权利要求1～12中任一项所述的真空蒸镀装置，还具有：真空腔室；以及第一窗部，其设置于所述真空腔室，
所述拍摄部从所述真空腔室的外侧经由所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中美和，市川龙弥，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：