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本发明提供一种在被蒸镀物可自转公转的真空蒸镀装置中，能够准确判断被蒸镀物的自转角度的技术。本发明的真空蒸镀装置具有：多个夹持器、拍摄部、以及控制部。所述多个夹持器能够分别保持被蒸镀物进行蒸镀的被蒸镀物，并能够在分别自转的同时围绕公转轴公转。...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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