一种硅片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅片清洗装置，包括：硅片清洗系统，硅片清洗系统包括依次设置的载具与硅片分离单元、硅片合并单元、清洗单元及硅片分离单元，载具与硅片分离单元对上载的装有硅片的上载载具进行硅片和上载载具分离，多组分离后的硅片进入硅片合并单元进行合并，合并后的多组硅片进入清洗单元进行清洗，清洗后的多组硅片在硅片分离单元被分离，分离后的各组硅片进行下载；载具回收系统，设有干燥单元，对分离后的上载载具进行干燥。本实用新型专利技术的有益效果是能够同时进行多组硅片清洗，提高硅片的清洗产能，分离后的各个上载载具进入干燥单元进行干燥，减少上载载具的滴水影响，避免上载口积水。载口积水。载口积水。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗装置


[0001]本技术属于硅片生产
，尤其是涉及一种硅片清洗装置。

技术介绍

[0002]目前硅片清洗时只能单一载具承载量进行清洗，会造成产能不足，一般是通过扩大槽体体积，增长机械臂长度来扩大清洗产能，增加了设备的占地面积，上载载具通过专用水槽返回出口，载具表面附着大量水量，载具存在滴水现象，易造成载具上载口积水。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，本技术提供一种硅片清洗装置，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种硅片清洗装置，包括，
[0005]硅片清洗系统，硅片清洗系统包括依次设置的载具与硅片分离单元、硅片合并单元、清洗单元及硅片分离单元，载具与硅片分离单元对上载的装有硅片的上载载具进行硅片和上载载具分离，多组分离后的硅片进入硅片合并单元进行合并，合并后的多组硅片进入清洗单元进行清洗，清洗后的多组硅片在硅片分离单元被分离，分离后的各组硅片进行下载；
[0006]载具回收系统，设有干燥单元，对分离后的上载载具进行干燥。
[0007]进一步的，载具与硅片分离单元包括分离装置主体、设于分离装置主体上的载具卡位装置以及设于分离装置主体内的硅片托举装置，载具卡位装置可相对分离装置主体移动，硅片托举装置可进行升降，载具卡位装置将装载有硅片的上载载具运送至硅片托举装置处，硅片托举装置动作，托举硅片，以使得上载载具与硅片分离。
[0008]进一步的，载具卡位装置包括卡位驱动装置以及与卡位驱动装置相连接的支撑组件，卡位驱动装置驱动支撑组件动作，支撑组件设有贯穿孔，以使得上载载具放置于支撑组件上时，至少部分上载载具穿过贯穿孔延伸至分离装置主体内部，以便硅片托举装置与硅片接触。
[0009]进一步的，硅片托举装置包括至少一组相对设置的硅片承托组件以及与硅片承托组件相连接的托举驱动装置，托举驱动装置驱动硅片承托组件动作，相对靠近或远离装有硅片的上载载具，以便托举硅片；
[0010]硅片承托组件包括承托件及设于承托件上的多个卡位槽，用于对硅片进行卡位支撑。
[0011]进一步的，硅片合并单元包括合并装置主体、用于将分离后的各组硅片转移至合并装置主体内的合并夹取装置以及将放置于合并装置主体内的各组硅片移送至清洗单元的转移夹取装置，其中，
[0012]合并装置主体设有盛装组件，盛装组件设有多个盛装卡位槽，用于放置各组硅片；
[0013]合并夹取装置包括一组可相对运动的卡槽夹持臂，卡槽夹持臂包括连接臂以及设
于连接臂一端的夹持件，夹持件沿着硅片的轴线方向设置，沿着夹持件的长度方向设置有多个卡槽件，对硅片进行卡位、夹持；
[0014]转移夹取装置包括一组可相对运动的第一卡槽夹持臂，第一卡槽夹持臂包括第一连接臂以及设于第一连接臂一端的第一卡槽臂，第一卡槽臂沿着硅片的轴线方向设置，沿着第一卡槽臂的长度方向设置有多个第一卡位槽，对硅片进行卡位、夹持。
[0015]进一步的，卡槽件的周侧设有夹持卡位槽，夹持卡位槽的截面形状为V型。
[0016]进一步的，夹持件的数量为多个，多个夹持件沿着连接臂的长度方向依次设置，位于连接臂的自由端的夹持件的直径大于其他夹持件的直径，夹持硅片时，位于连接臂的自由端的夹持件位于硅片直径的下侧。
[0017]进一步的，第一卡槽臂包括安装主体，第一卡位槽沿着装置主体的周向方向设置，第一卡位槽的截面形状为V型。
[0018]进一步的，硅片清洗系统还包括：
[0019]翻转单元，接收经硅片分离单元分离后的各组硅片，并对各组硅片进行翻转；
[0020]下载单元，对翻转后的各组硅片依次下载。
[0021]进一步的，硅片分离单元包括用于放置硅片的分离盛装组件以及分离夹取装置，清洗后的多组硅片放置于分离盛装组件上，分离夹取装置夹取一组硅片，放置于翻转单元中。
[0022]进一步的，翻转单元包括翻转装置以及可沿着翻转装置的轴线移动的分离托举装置，分离后的一组硅片被放置于分离托举装置上，分离托举装置动作，该组硅片落在翻转装置内，翻转装置动作，对硅片进行翻转。
[0023]进一步的，翻转装置包括箱体以及与箱体连接的旋转装置，旋转装置驱动箱体翻转，箱体的一组相对侧面设有侧面卡位件，侧面卡位件设有多个侧面卡位槽，对硅片进行卡位；
[0024]分离托举装置包括分离托举驱动件以及与分离托举驱动件相连接的分离托举件，分离托举驱动件驱动分离托举件动作，进行上下移动。
[0025]进一步的，下载单元包括下载夹取装置，下载夹取装置包括多个支撑臂以及与多个支撑臂连接的下载驱动装置，下载驱动装置驱动多个支撑臂动作，多个支撑臂呈直线设置，对一组硅片进行下载。
[0026]进一步的，干燥单元包括移动装置以及设于移动装置上的吹气装置，吹气装置被移动装置驱动，进行直线运动；吹气装置包括多个吹气管，多个吹气管分别与上载载具的内侧和外侧相对应，对上载载具的内侧及外侧进行吹气、风干。
[0027]进一步的，清洗单元包括依次设置的多个清洗槽以及用于转移多组硅片的清洗夹取装置，各个清洗槽盛装有不同药液，依次对硅片进行清洗。
[0028]由于采用上述技术方案，该硅片清洗装置具有载具与硅片分离单元，能够将硅片与上载载具分离，多个上载载具上的分离后的多组硅片分别进入硅片合并单元，多组硅片合并后进入清洗单元，按照清洗单元进行清洗，清洗后的多组硅片进入硅片分离单元进行分离，将各组硅片分离开，每一组硅片进入翻转单元，进行状态转换，由竖直状态转换成水平状态，以便于下载单元进行下载，能够同时进行多组硅片清洗，提高硅片的清洗产能，分离后的各个上载载具进入干燥单元进行干燥，减少上载载具的滴水影响，避免上载口积水。
附图说明
[0029]图1是本技术的一实施例的硅片清洗装置的结构示意图；
[0030]图2是本技术的一实施例的载具与硅片分离单元的俯视结构示意图；
[0031]图3是本技术的一实施例的载具与硅片分离单元的主视结构示意图；
[0032]图4是本技术的一实施例的合并夹取装置的结构示意图；
[0033]图5是本技术的一实施例的卡槽夹持臂的结构示意图；
[0034]图6是本技术的一实施例的夹持件的结构示意图；
[0035]图7是本技术的一实施例的转移夹取装置的结构示意图；
[0036]图8是本技术的一实施例的第一卡槽夹持臂的结构示意图；
[0037]图9是本技术的一实施例的第一卡槽臂的结构示意图；
[0038]图10是本技术的一实施例的盛装组件的结构示意图；
[0039]图11是本技术的一实施例的翻转单元的结构示意图；
[0040]图12是本技术的一实施例的翻转装置的俯视结构示意图；
[0041]图13是本技术的一实施例的翻转装置的主视结构示意图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗装置，其特征在于：包括，硅片清洗系统，所述硅片清洗系统包括依次设置的载具与硅片分离单元、硅片合并单元、清洗单元及硅片分离单元，所述载具与硅片分离单元对上载的装有硅片的上载载具进行硅片和上载载具分离，多组分离后的硅片进入所述硅片合并单元进行合并，合并后的多组硅片进入所述清洗单元进行清洗，清洗后的多组硅片在所述硅片分离单元被分离，分离后的各组硅片进行下载；载具回收系统，设有干燥单元，对分离后的上载载具进行干燥。2.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述载具与硅片分离单元包括分离装置主体、设于分离装置主体上的载具卡位装置以及设于分离装置主体内的硅片托举装置，所述载具卡位装置可相对所述分离装置主体移动，所述硅片托举装置可进行升降，所述载具卡位装置将装载有硅片的上载载具运送至所述硅片托举装置处，所述硅片托举装置动作，托举硅片，以使得上载载具与硅片分离。3.根据权利要求2所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述载具卡位装置包括卡位驱动装置以及与卡位驱动装置相连接的支撑组件，所述卡位驱动装置驱动所述支撑组件动作，所述支撑组件设有贯穿孔，以使得上载载具放置于所述支撑组件上时，至少部分上载载具穿过所述贯穿孔延伸至分离装置主体内部，以便所述硅片托举装置与硅片接触。4.根据权利要求3所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述硅片托举装置包括至少一组相对设置的硅片承托组件以及与硅片承托组件相连接的托举驱动装置，所述托举驱动装置驱动所述硅片承托组件动作，相对靠近或远离装有硅片的上载载具，以便托举硅片；所述硅片承托组件包括承托件及设于承托件上的多个卡位槽，用于对硅片进行卡位支撑。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述硅片合并单元包括合并装置主体、用于将分离后的各组硅片转移至合并装置主体内的合并夹取装置以及将放置于合并装置主体内的各组硅片移送至清洗单元的转移夹取装置，其中，所述合并装置主体设有盛装组件，所述盛装组件设有多个盛装卡位槽，用于放置各组硅片；所述合并夹取装置包括一组可相对运动的卡槽夹持臂，所述卡槽夹持臂包括连接臂以及设于连接臂一端的夹持件，所述夹持件沿着硅片的轴线方向设置，沿着所述夹持件的长度方向设置有多个卡槽件，对硅片进行卡位、夹持；所述转移夹取装置包括一组可相对运动的第一卡槽夹持臂，所述第一卡槽夹持臂包括第一连接臂以及设于第一连接臂一端的第一卡槽臂，所述第一卡槽臂沿着硅片的轴线方向设置，沿着所述第一卡槽臂的长度方向设置有多个第一卡位槽，对硅片进行卡位、夹持。6.根据权利要求5所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述卡槽件的周侧端面设有夹持卡位槽，所述夹持卡位槽的截面形状为V型。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宏杰，刘建伟，武卫，刘姣龙，祝斌，袁祥龙，刘园，裴坤羽，孙晨光，王彦君，由佰玲，常雪岩，杨春雪，谢艳，刘秒，吕莹，徐荣清，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：