【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及三维测量装置。
技术介绍
—般，在电子部件安装于印刷基板上的场合，首先，在设置于印刷基板上的规定电极图案上印刷焊锡膏。接着，根据该焊锡膏的粘性，将电子部件临时固定于印刷基板上。然后，将上述印刷基板导向回焊炉，通过经过规定的回焊工序，进行焊接。最近，在导向回焊炉的前阶段，必须检查焊锡膏的印刷状态，在进行该检查时，采用三维测量装置。 近年，人们提出有采用光的所谓的非接触式的各种三维测量装置，比如，人们提出有采用相位移法、空间编码法等的三维测量装置的技术。 在上述技术的三维测量装置中，采用CCD照相机等的摄像机构。比如，在采用相位 移法的场合，通过由光源和正弦波图案的滤波器的组合形成的照射机构，对被测量物照射 具有正弦波状的光强度分布的图案光(在此场合，为印刷基板)。接着，采用设置于正上方 的CCD照相机等，对基板上的点进行观察。在此场合，画面上的规定的测量对象点的光的强 度I按照下述式给出。 I = e+f cos 4)(其中，e表示直流光噪音(偏置成分)，f表示正弦波的对比度(反射率)，小表示通过物体的凹凸提供的相位) 此时，使图案光移动，按照...
【技术保护点】
一种三维测量装置，其包括：照射机构，该照射机构可至少对被测量物，照射具有条纹状的光强度分布的图案光；摄像机构，该摄像机构可对来自照射了上述图案光的被测量物的反射光进行摄像；图像处理机构，该图像处理机构至少根据通过上述摄像机构摄制的图像数据，进行上述被测量物上的各坐标位置的高度测量，其特征在于三维测量装置包括补偿运算机构，该补偿运算机构至少根据上述摄像机构的高度信息，与对上述被测量物照射的图案光的照射角信息，对相对通过上述图像处理机构测量的上述被测量物上的测量对象点的坐标数据和高度数据，由上述摄像机构的透镜的视场角产生的偏差进行补偿。
【技术特征摘要】
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