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本发明的课题在于提供一种三维测量装置，其不采用远心光学系统，谋求测量精度的提高。具有三维测量装置的基板检查设备包括照射装置（４），其对印刷有焊锡膏的印刷基板的表面，照射条纹状的图案光；对印刷基板上的已照射的部分进行摄像用的ＣＣＤ照相机（５）...
该专利属于ＣＫＤ株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ＣＫＤ株式会社授权不得商用。

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