外观检查装置制造方法及图纸

在本发明专利技术的外观检查装置中，载置台（２）保持基板（１），并且使基板（１）摇动。光源（３）向基板（１）的表面照射照明光。摄像装置（４）拍摄该基板（１），生成图像数据并输出到控制装置（６）。该摄像装置（４）配置在检查者的目视位置（Ｐ）的附近。控制装置（６）将从摄像装置（４）输出的图像数据存储到内部的存储部中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过检查者的目视来检查半导体晶片的基板等被检体的 外观的外观检査装置。
技术介绍
以往，在使用了半导体晶片等基板的制造工序中，对涂敷在基板上 的保护膜等的膜斑和瑕疵等缺陷进行检查。例如在半导体晶片的外观检查的情况下，通过外观检查装置如下进行检查(参照专利文献l、 2)。首 先，从收纳半导体晶片的盒中，通过输送机械手取出半导体晶片，输送 到宏观检查部。在宏观检査部中，通过能够摇动和旋转半导体晶片的载 置台来支承半导体晶片。检查者通过操作设置在外观检查装置上的操纵 杆等、或者通过预先设定的方法使载置台自动摇动，由此使半导体晶片 摇动，通过目视观察检査是否存在缺陷，判定晶片是否合格。接着，根据需要向微观检查部输送半导体晶片。在微观检查部中， 通过显微镜观察进行半导体晶片表面的缺陷部的放大观察。在微观检查 结束后，半导体晶片由输送机械手进行输送，重新被收纳到盒中。近年来，还通过摄像装置对工作台上载置的半导体晶片的整而进行 拍摄，由此迸行自动宏观检查(例如参照专利文献3)。但是具有以—卜—情 况在具有能够通过目视明确辨认缺陷的大的缺陷的情况、和检查背面 的情况下等，通过以往目视的方法进行的宏观检査装置比较适合，能够 迅速地进行检查。因此，如上所述使半导体晶片旋转、摇动，通过目视 进行宏观检査。专利文献l:日本特开平9一186209号公报 专利文献2:日本特开平6—349908号公报 专利文献3:日本特开平7—27709号公报5但是，在目视的宏观检査中，由于观察散射光、衍射光等，因此即 使利用相同的方法进行摇动检査，根据照明光、载置台的摇动角度和检 查者的眼睛的位置，也存在检查者观察到缺陷和观察不到缺陷的情况， 从而具有在检查结果中产生波动的问题。此外，能够确认缺陷的只是检 查者一人，没有留下缺陷形状或缺陷位置等信息，因此具有难以重新确 认结果、难以在检查者之间共享缺陷信息的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完成的，目的在于提供一种能够实现外观 检查时的缺陷图像的共享的外观检查装置。本专利技术是为了解决上述问题而完成的，是一种被检体的外观检査用 的外观检查装置，其特征在于，该外观检査装置具有被检体保持部， 其为了进行目视的外观检查，保持所述被检体，同时使该被检体摇动； 以及摄像部，其拍摄所述被检体，生成图像数据，所述摄像部被配置成 在进行外观检查时，其光轴与检査者观察所述被检体的视线大体一致。此外，在本专利技术的外观检查装置中，优选具有照明被检体的照明 部；摇动位置存储部，其用于存储所述被检体保持部的摇动位置信息； 摇动位置存储操作部，其根据目视检查所述被检体的缺陷的检查者的操 作，使所述摇动位置信息存储到所述摇动位置存储部；视线信息检测部， 其对操作了该摇动位置存储操作部的情况进行检测，并检测相对于所述 被检体的检査者的视线信息；以及摄像动作控制部，其根据存储在所述 摇动位置存储部中的所述摇动位置信息和由所述视线信息检测部检测出 的所述视线信息，控制所述摇动保持部和所述摄像部移动机构中的至少 任意一个，在设定为所述摄像部的光轴和所述被检体的位置关系与所述 检查者的视线和所述被检体的相对位置相同的同时，进行相对于所述被 检体的摄像动作。此时，在检查者操作了摇动位置存储操作部的情况下，在摇动位置 存储部中存储摇动保持部的摇动位置信息，同时通过视线信息检测部对 操作了摇动位置存储操作部的情况进行检测并检测相对于被检体的检査6者的视线信息。然后，摄像动作控制部能够根据这些摇动位置信息和检 查者的视线信息，设定为摄像部的光轴和被检体的位置关系与检査者的 视线和被检体的相对位置相同，同时进行相对于所述被检体的摄像动作。 由此，能够在操作了摇动位置存储操作部时，拍摄与检查者观察到的状 态的被检体的图像相同的图像。根据本专利技术，生成表示与目视的像相同的像的图像数据并进行保存， 因此，能够得到可以共享目视的外观检查的结果的效果。此外，在确认 检查结果时，由于没有必要再次进行检查，因此还能够得到提高作业效 率的效率。附图说明图1是示出本专利技术的第1实施方式的外观检査装置的结构的俯视图。图2是示出本专利技术的第1实施方式的外观检查装置的结构的框图。 图3A是用于说明第1实施方式的变形例的概略结构图。 图3B是用于说明第1实施方式的变形例的概略结构图。 图4A是用于说明第1实施方式的其他变形例的概略结构图。 图4B是用于说明第1实施方式的其他变形例的概略结构图。 图5是示出本专利技术的第2实施方式的外观检査装置的结构的框图。 图6是示出第2实施方式中的摄像时的状态的概略结构图。 图7A是示出第2实施方式中的目视观察时的状态的概略结构图。 图7B是示出第2实施方式中的目视观察时的状态的概略结构图。 图8是示出本专利技术的第3实施方式的外观检查装置的概略结构的概 略结构图。图9是用于说明第3实施方式的变形例的概略结构图。 图10是示出本专利技术的第4实施方式的外观检查装置的概略结构的俯 视图。图11是示出本专利技术的第4实施方式的外观检查装置的检查部和操作 部的概略结构的示意说明图。图12是本专利技术的第4实施方式的外观检查装置的视线信息检测部的功能框图。图13是用于说明本专利技术的第4实施方式的外观检查装置的检查者图 像处理部的图像处理的一例的示意图。图14是用于说明本专利技术的第4实施方式的外观检査装置的宏观检查 的动作的流程图。图15是说明本专利技术的第4实施方式的外观检查装置的视线信息检测 工序的流程图。图16是示出本专利技术的第4实施方式的第2变形例的使用了标的的基 准图像的例子的示意图。图17是示出本专利技术的第5实施方式的外观检查装置的概略结构的俯 视图。.图18是示出本专利技术的第5实施方式的外观检查装置的检査部和操作 部的概略结构的示意说明图。图19是示出在本专利技术的第5实施方式的外观检查装置中，由检査者 观察到的被检体和可动标识的位置关系的示意图。图20是示出本专利技术的第6实施方式的外观检查装置的检査部和操作 部的概略结构的示意说明图。标号说明1基板(被检体)；2载置台(被检体保持部)；3光源(照明部)； 4摄像装置(摄像部)；5显示装置；6控制装置(控制部)；7反射镜 部(反射板保持部)；7a反射镜(反射板)；8半透反射镜(半透射反射 板)；9间隔部件；10摄像保持部；11臂(摄像保持部)；100、 200、 210、 250外观检查装置；102、 202检查部；103装载部；104、 208、 208A检査者；206旋转输送机构；208a面部；208b、 208c视线；209宏 观检查用摇动机构(摇动保持部)；211照相机(摄像部)；211a摄像光 轴；217操作部；217a操纵杆；217b摇动位置存储按钮(摇动位置存 储操作部)；218监视器；219观察窗；221检查者摄像照相机(检査者 摄像部)；222图像处理部；223初始信息保存部；224图像比较部；225 位置计算部；226摄像帧；230控制单元；231视线信息检测单元；2328照相机移动机构；233移动控制部；234照明部；235照明部移动机构; 236照明位置控制部；238检测用板；238a右标的(标的)；238b左标 的(标的)；239位置检测传感器；240标识板(可动标识)；24本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外观检查装置，其特征在于，该外观检查装置具有：　被检体保持部，其为了通过目视进行被检体的外观检查，保持所述被检体，并且使该被检体摇动；以及　摄像部，其拍摄所述被检体，生成图像数据，　所述摄像部被配置成，在进行外观检查时 ，其光轴与检查者观察所述被检体的视线大体一致。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本胜行，时田浩行，内木裕，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]