保持装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供保持装置，其设有：放置玻璃基板（１）的保持本体（４）；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构（１０）；在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构（１０）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及保持装置，用于对例如液晶显示器等平板显示器(FPD)的玻璃基板等样品进行保持。
技术介绍
液晶显示器的玻璃基板是照射宏观照明光来进行宏观检验的。这种宏观检验是将观测用的宏观照明光照射到玻璃基板面上，检测从玻璃基板面上反射的反射光的变化，用肉眼检验玻璃基板面上的损伤、缺口、污点、灰尘的附着等缺陷部分。在液晶显示器的玻璃基板面上，有规则地形成譬如线状或长方形状的细长图形。例如在玻璃基板上形成加强肋作为构成长方形状TFT(thin film transistor薄膜晶体管)的图形。本申请人将宏观照明光照射到确实形成按规则排列成格子状的TFT图形的玻璃基板上，改变宏观照明光相对于该玻璃基板的入射角度，并观察这时的玻璃基板上的缺陷的能见度。由上述观察的结果发现，当本申请人使宏观照明光的入射角度变化时，缺陷的能见度也变化。譬如，使玻璃基板的配置方向相对于宏观照明光的入射方向回转90度的角度时，玻璃基板上的图形方向就改变。这样，由于从玻璃基板反射的反射光方向发生变化，而且入射到缺陷上的宏观照明光的方向也发生变化，因而从图形上的缺陷反射的反射条件、即反射方向也发生改变。例如，在玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保持装置，其特征在于，具有：放置样品的保持本体；设置于在上述保持本体上放置的上述样品的下方，将上述样品从上述保持本体托起、并且下降到上述保持本体上的升降机构；以及在由上述升降机构将上述样品从上述保持本体托起的状态 下，使上述样品回转的回转机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：荻原孝志，冈平裕幸，藤崎畅夫，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]