保持装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供保持装置，其设有：放置玻璃基板（１）的保持本体（４）；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构（１０）；在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构（１０）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及保持装置，用于对例如液晶显示器等平板显示器(FPD)的玻璃基板等样品进行保持。
技术介绍
液晶显示器的玻璃基板是照射宏观照明光来进行宏观检验的。这种宏观检验是将观测用的宏观照明光照射到玻璃基板面上，检测从玻璃基板面上反射的反射光的变化，用肉眼检验玻璃基板面上的损伤、缺口、污点、灰尘的附着等缺陷部分。在液晶显示器的玻璃基板面上，有规则地形成譬如线状或长方形状的细长图形。例如在玻璃基板上形成加强肋作为构成长方形状TFT(thin film transistor薄膜晶体管)的图形。本申请人将宏观照明光照射到确实形成按规则排列成格子状的TFT图形的玻璃基板上，改变宏观照明光相对于该玻璃基板的入射角度，并观察这时的玻璃基板上的缺陷的能见度。由上述观察的结果发现，当本申请人使宏观照明光的入射角度变化时，缺陷的能见度也变化。譬如，使玻璃基板的配置方向相对于宏观照明光的入射方向回转90度的角度时，玻璃基板上的图形方向就改变。这样，由于从玻璃基板反射的反射光方向发生变化，而且入射到缺陷上的宏观照明光的方向也发生变化，因而从图形上的缺陷反射的反射条件、即反射方向也发生改变。例如，在玻璃基板上形成纵横比不同的长方形图形。随后，当使玻璃基板回转，并使宏观照明光的照射方向变成与长方形图形的长边方向相垂直的方向时，宏观照明光与加强肋的长边方向相垂直、且与短边方向相平行地照射。与此相对，在宏观照明光的照射方向变成与长方形图形的短边方向相垂直的方向时，宏观照明光是加强肋的短边方向相垂直、且与长边方向相平行地照射。当宏观照明光相对于长方形图形的照射方向如上所述地发生90度变化时，由于宏观照明光的反射条件改变了，因而也改变了从玻璃基板产生散射光或衍射光的发生条件。本申请人从观察的结果完全证实了这点，即当宏观照明光的照射方向相对于格子状图形发生改变时，曾经看不到的缺陷就能被看到。另一方面，设有宏观照射的基板检验装置，是通过将宏观照明光照射到玻璃基板面上，并对其反射光的变化进行检测来检验玻璃基板的。但使玻璃基板回转90度的回转装置由于下述的理由，不能组装在检验装置本体内。玻璃基板被固定地设置在保持上。为了在玻璃基板被固定在保持上的状态下使保持回转，需要使尺寸比玻璃基板的尺寸大一圈的保持与将玻璃基板固定在保持上的固定部成一体地回转。由于保持是形成譬如四边形的，因而保持的回转直径就是保持的对角线方向的长度。因此就使保持回转时的回旋直径增大，与此成比例地使检验装置本体的尺寸也增大。作为从保持下部将玻璃基板托起之后使其回转的机构的设置方式，曾经考虑过将玻璃基板传送装置并排地设置在基板检测装置上，由该玻璃基板传送装置使玻璃基板回转例如90度的方式。这种方式是用玻璃基板传送装置的机械手，一将基板检验装置内的检验中的玻璃基板取出，就在基板检验装置外使玻璃基板回转例如90度，然后再将玻璃基板送回到基板检验装置内。因此，需要花费使玻璃基板回转例如90度的时间，就会损失较大的生产间隔时间。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供保持装置，能将用于使玻璃基板回转的空间抑制到最小限度，在检验装置本体内就能使玻璃基板回转，能将检验装置本体的尺寸扩大量抑制到最小限度。为了达到上述目的而作出的本专利技术的保持装置，其设有放置样品的保持本体；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方，将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构；在由升降机构将样品从保持本体托起的状态下，使样品回转的回转机构。附图说明图1是表示本专利技术第1实施方式的保持装置的正视结构图。图2是表示上述装置的俯视图。图3是表示上述装置的侧视图。图4是表示上述装置的托起销机构的外观图。图5是表示TFT液晶显示器的概略结构图。图6是表示4个倒角的玻璃基板的示意图。图7是表示6个倒角的玻璃基板的示意图。图8是表示本专利技术第2实施方式的保持装置的分解结构图。图9是表示收容在上述装置的保持本体内的回转支持构件的示意图。图10是表示上述装置的回转支持构件的回转示意图。图11是表示上述装置的回转支持构件的变形例的示意图。具体实施例方式下面，参照着附图来说明本专利技术的第1实施方式。图1～图3是保持装置的结构图，图1是正视图、图2是俯视图、图3是侧视图。该保持装置设置在基板检验装置上，该基板检验装置用于对一种例如FPD的液晶显示器的玻璃基板1进行宏观检验和微观检验。玻璃基板1具有大型显示器的尺寸，譬如1250×1100mm。在检验装置本体2内设有底座3。在底座3上设置着保持本体4。在保持本体4上设置着用于放置玻璃基板1的保持框架部，该保持框架部由图2所示的配置成同心圆状的多个环状支持架5和连接这些环状支持架5的多个直线支持架6构成。多个环状支持架5分别呈同心圆状地设置着。多个直线支持架6分别从同心圆中心点开始，沿着半径方向呈放射状地设置着。这些直线支持架6与多个环状支持架5设置在同一平面上，将多个环状支持架5之间连接起来。由这些环状支持架5和直线支持架6形成多个圆弧状引导用开口部8-1～8-4和多个开口部9。其中，各个引导用开口部8-1、8-2形成在最外周位置上，从正面侧F看，上述引导用开口部8-1、8-2相对于同心圆的中心点成左右对称配置，而且形成在从同心圆中心点看到的扩展角比90度大一些的刻度上。各个引导用开口部8-3、8-4形成在各个引导用开口部8-1、8-2的内周侧，从正面侧F看，上述引导用开口部8-3、8-4相对于同心圆中心点成前后对称地配置，而且是形成在从同心圆中心点看到的扩展角比90度大一些的刻度上。在保持本体4的下方，设置着如图1所示的升降·回转机构10。该升降·回转机构10通过保持本体4上所形成的各个引导用开口部8-1～8-4，将玻璃基板1托起到保持本体4的上方，并使玻璃基板1回转大致譬如90度，然后使玻璃基板1下降而放置在保持本体4上。具体地说、升降·回转机构10由托起销机构13和使该托起销机构13升降回转的致动器部7构成。如图4的外观图所示，托起销机构13具有相互垂直的2根托起销支持杆15、16；分别直立地设置在与各个引导用开口部8-1～8-4相对应位置上的各个托起销17～20；直立地设置在各个托起销支持杆15、16的交叉部上的托起销21。这些托起销17～20可以如图4所示地、与玻璃基板1的尺寸大小相对应的各个位置上，譬如可设置在与尺寸较小的玻璃基板1相对应的各个位置上。这些托起销17～20作成能装上或卸下的、还能根据玻璃基板1的尺寸大小而改变安装位置。另外，这些托起销17～20还能与玻璃基板1的各个尺寸大小完全预先设置。托起销支持杆15作成与各个形成在最外周位置上的引导用开口部8-1、8-2的间隔大致相同的长度，而且，托起销支持杆16则作成与在各个引导用开口部8-1、8-2内侧形成的各个引导用开口部8-3、8-4的间隔大致相同的长度。由此，各个托起销17、18设置在分别与最外周位置上形成的各个引导用开口部8-1、8-2相对应的位置上。而各个托起销19、20设置在分别与各个引导用开口部8-3、8-4相对应的位置上。而且托起销21设置在与最内周的托起支持架5内相对应的位置上。因此，当致动器部7接受升降驱动器部11的控制而使杆14向上方移动时，将托起销机构13托起，使各个托起销17、18通过保本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保持装置，其特征在于，具有：放置样品的保持本体；设置于在上述保持本体上放置的上述样品的下方，将上述样品从上述保持本体托起、并且下降到上述保持本体上的升降机构；以及在由上述升降机构将上述样品从上述保持本体托起的状态 下，使上述样品回转的回转机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：荻原孝志，冈平裕幸，藤崎畅夫，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]