本实用新型专利技术涉及表面测量技术领域，公开了一种薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪，薄膜类样品展平吸附装置包括支撑座、吸盘和吸气管；所述支撑座具有开口向上的凹腔；所述吸盘设置于所述凹腔的开口处并与所述凹腔围合形成负压空间，所述吸盘设有贯穿盘体的通气孔；所述吸气管的一端与所述负压空间相连通，另一端与外部的负压源相连接；本实用新型专利技术利用外部的负压源在负压空间内产生负压环境，并且吸盘设有贯穿盘体的通气孔以用于连通负压空间和外部环境，使待检测的薄膜类样品能够充分展平并吸附固定在吸盘上，确保了轮廓仪对薄膜类样品表面粗糙度和台阶高度等精细检测的准确度。面粗糙度和台阶高度等精细检测的准确度。面粗糙度和台阶高度等精细检测的准确度。
【技术实现步骤摘要】
薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪
[0001]本技术涉及表面测量
，具体地涉及一种薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪。
技术介绍
[0002]轮廓仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，其作为精密测量仪器而广泛地应用于材料的结构及表面解析，包括：表面三维形貌、薄膜厚度、粗糙度、波纹度、翘曲度、沟槽深度和薄膜应力等。
[0003]在材料科学领域，用于测试薄膜类样品的表面粗糙度和表面镀层台阶高度时，对薄膜类样品的平整度要求较高，若薄膜类样品本身存在翘曲或褶皱，将会对测试结果带入较大的误差，尤其是薄膜类样品本身较薄时，翘曲度较高，导致平整度较差，以及本身较薄的薄膜类样品存在的褶皱也会对测试结果产生非常大的影响。现有的处理方法是通过具有一定重量的物块压在薄膜类样品上，使其尽量平整，但是这种方法处理后的薄膜类样品依然存在宏观上的起伏，更无法将褶皱处充分展平，导致测量结果存在偏差。
[0004]基于以上问题，解决轮廓仪样品台上薄膜类样品的展平问题，是保证测试薄膜类样品表面粗糙度和台阶高度准确性的首要任务。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决薄膜类样品的平整度较差，导致在轮廓仪上无法准确测试表面粗糙度和台阶高度的问题，提供一种薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪，使薄膜类样品充分展平并在测量过程中保持展平状态，以确保轮廓仪测量结果的准确性。
[0006]为了实现上述目的，本技术第一方面提供了一种薄膜类样品展平吸附装置，包括：
[0007]支撑座，所述支撑座具有开口向上的凹腔；
[0008]吸盘，所述吸盘设置于所述凹腔的开口处并与所述凹腔围合形成负压空间，所述吸盘设有贯穿盘体的通气孔；以及
[0009]吸气管，所述吸气管的一端与所述负压空间相连通，另一端与外部的负压源相连接。
[0010]可选地，所述凹腔的开口处设有台阶部，所述吸盘设置于所述台阶部上。
[0011]可选地，所述吸盘为多孔材料制成，制成后的所述吸盘自身具有贯穿盘体的所述通气孔。
[0012]可选地，所述吸盘上表面的表面粗糙度小于50nm。
[0013]可选地，所述薄膜类样品展平吸附装置还包括压板，所述压板设置为能够压紧放置于所述吸盘上表面的待检测薄膜类样品。
[0014]可选地，所述压板设置为一体式框形结构。
[0015]可选地，所述吸盘的上表面与所述支撑座的上表面相平齐，所述压板设置于所述
支撑座上，且在所述压板的边缘设有向下延伸的第一翻边，所述第一翻边的内侧与所述支撑座的外侧边部相接触。
[0016]可选地，所述吸盘的上表面高于所述支撑座的上表面，所述压板设置于所述吸盘上，且在所述压板的边缘设有向下延伸的第二翻边，所述第二翻边的内侧与所述吸盘的外侧边部相接触。
[0017]可选地，所述吸气管上设有阀门。
[0018]本技术第二方面提供了一种轮廓仪，所述轮廓仪具有上述的薄膜类样品展平吸附装置。
[0019]通过上述技术方案，利用外部的负压源在支撑座与吸盘围合形成的负压空间内产生负压环境，由于吸盘设有贯穿盘体的通气孔，当待检测的薄膜类样品放置于吸盘上表面时，负压空间内产生的负压环境能够使待检测的薄膜类样品充分展平并吸附固定在所述吸盘上，解决了薄膜类样品的平整度较差导致轮廓仪无法准确测量的问题，确保了轮廓仪对薄膜类样品表面粗糙度和台阶高度等精细检测的准确度。
附图说明
[0020]图1是本技术提供的一种薄膜类样品展平吸附装置的结构示意图；
[0021]图2是图1中薄膜类样品展平吸附装置的剖视图；
[0022]图3是本技术提供的另一种薄膜类样品展平吸附装置的结构示意图；
[0023]图4是图3中薄膜类样品展平吸附装置的剖视图。
[0024]附图标记说明
[0025]10、支撑座；11、凹腔；111、台阶部；20、吸盘；30、吸气管；40、压板；41、第一翻边；42、第二翻边。
具体实施方式
[0026]以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。
[0027]如前所述，本技术第一方面提供了一种薄膜类样品展平吸附装置，用于充分展平、固定薄膜类样品，以确保使用轮廓仪测量薄膜类样品表面粗糙度或台阶高度时的准确性。
[0028]本技术对所述薄膜类样品的具体种类不做特殊限定，可以是本领域中所有需要测定表面粗糙度或台阶高度的薄膜样品，例如可以是PET薄膜、PP薄膜。
[0029]如图1、2所示，所述薄膜类样品展平吸附装置包括支撑座10、吸盘20和吸气管30。所述支撑座10主要起支撑固定作用，用于安装布置所述吸盘20和所述吸气管30。所述支撑座10具有开口向上的凹腔11，所述吸盘20设置于所述凹腔11的开口处并与所述凹腔11围合形成负压空间，所述吸盘20设有贯穿盘体的通气孔，通过该通气孔可连通所述负压空间和外部环境；所述吸气管30的一端与所述负压空间相连通，另一端与外部的负压源相连接。
[0030]在本技术中，利用具有凹腔11的支撑座10与吸盘20围合形成负压空间，所述负压空间通过吸气管30与外部负压源相连，进而在所述负压空间中形成负压环境，由于吸盘20具有贯穿盘体的通气孔，进而可以将放置在吸盘20上的薄膜类样品充分展平并吸附固
定，解决了薄膜类样品本身存在的不平整现象影响其表面粗糙度或台阶高度测量准确性的问题。
[0031]本技术中，所述负压源的作用是在所述负压空间中产生负压环境，使待检测的薄膜类样品被吸附并紧贴在所述吸盘20上，从而解决薄膜类样品本身存在的不平整现象影响其表面粗糙度或台阶高度测量准确性的问题。所述负压源可以为任意适当设备，例如本领域常见的真空泵。特别地，所述负压源在所述负压空间内产生的负压可以为任意适当范围，根据薄膜类样品的具体种类进行适应性的选择，以能够吸附展平并固定住所述薄膜类样品为准。
[0032]在本技术的一种实施方式中，所述凹腔11的开口处设有台阶部111，所述吸盘20设置于所述台阶部111上。通过在所述凹腔11的开口处设置台阶部111可以快速地对所述吸盘20进行定位，从而快速地将所述吸盘20与所述支撑座10组装以形成所述展平吸附装置；并且，通过设置所述台阶部111还能在所述展平吸附装置的使用过程中保持所述吸盘20与所述支撑座10相对位置的固定。
[0033]需要说明的是，所述凹腔11可以为任意轮廓形状的凹腔，例如圆柱状凹腔、方形凹腔等，作为优选，所述凹腔11为圆柱状凹腔，其开口处设置有环形的台阶部111，所述吸盘20为圆盘状，其边部与所述台阶部111的侧壁相接触，形成挡靠限位配合。
[0034]本技术中，所述吸盘20作为待检测薄膜类样品的承载体，其盘体上设置有贯穿盘体的通气孔以用于吸附展平并固定待检测的薄膜类样品。所述通气本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，包括：支撑座(10)，所述支撑座(10)具有开口向上的凹腔(11)；吸盘(20)，所述吸盘(20)设置于所述凹腔(11)的开口处并与所述凹腔(11)围合形成负压空间，所述吸盘(20)设有贯穿盘体的通气孔；以及吸气管(30)，所述吸气管(30)的一端与所述负压空间相连通，另一端与外部的负压源相连接。2.根据权利要求1所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述凹腔(11)的开口处设有台阶部(111)，所述吸盘(20)设置于所述台阶部(111)上。3.根据权利要求1所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述吸盘(20)为多孔材料制成，制成后的所述吸盘(20)自身具有贯穿盘体的所述通气孔。4.根据权利要求3所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述吸盘(20)上表面的表面粗糙度小于50nm。5.根据权利要求1所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述薄膜类样品展平吸附装置还包括压板(40)，所述压板(40)设置为能够压紧放置于所述吸盘(20)上表面的待检测薄膜类样品。...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜艳茹，李其其格，孙欣森，刘钢，公秀凤，姜宏峰，李永强，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。