薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及表面测量技术领域，公开了一种薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪，薄膜类样品展平吸附装置包括支撑座、吸盘和吸气管；所述支撑座具有开口向上的凹腔；所述吸盘设置于所述凹腔的开口处并与所述凹腔围合形成负压空间，所述吸盘设有贯穿盘体的通气孔；所述吸气管的一端与所述负压空间相连通，另一端与外部的负压源相连接；本实用新型专利技术利用外部的负压源在负压空间内产生负压环境，并且吸盘设有贯穿盘体的通气孔以用于连通负压空间和外部环境，使待检测的薄膜类样品能够充分展平并吸附固定在吸盘上，确保了轮廓仪对薄膜类样品表面粗糙度和台阶高度等精细检测的准确度。面粗糙度和台阶高度等精细检测的准确度。面粗糙度和台阶高度等精细检测的准确度。

【技术实现步骤摘要】
薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪


[0001]本技术涉及表面测量
，具体地涉及一种薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪。

技术介绍

[0002]轮廓仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，其作为精密测量仪器而广泛地应用于材料的结构及表面解析，包括：表面三维形貌、薄膜厚度、粗糙度、波纹度、翘曲度、沟槽深度和薄膜应力等。
[0003]在材料科学领域，用于测试薄膜类样品的表面粗糙度和表面镀层台阶高度时，对薄膜类样品的平整度要求较高，若薄膜类样品本身存在翘曲或褶皱，将会对测试结果带入较大的误差，尤其是薄膜类样品本身较薄时，翘曲度较高，导致平整度较差，以及本身较薄的薄膜类样品存在的褶皱也会对测试结果产生非常大的影响。现有的处理方法是通过具有一定重量的物块压在薄膜类样品上，使其尽量平整，但是这种方法处理后的薄膜类样品依然存在宏观上的起伏，更无法将褶皱处充分展平，导致测量结果存在偏差。
[0004]基于以上问题，解决轮廓仪样品台上薄膜类样品的展平问题，是保证测试薄膜类样品表面粗糙度和台阶高度准确性的首要任务。

技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，包括：支撑座(10)，所述支撑座(10)具有开口向上的凹腔(11)；吸盘(20)，所述吸盘(20)设置于所述凹腔(11)的开口处并与所述凹腔(11)围合形成负压空间，所述吸盘(20)设有贯穿盘体的通气孔；以及吸气管(30)，所述吸气管(30)的一端与所述负压空间相连通，另一端与外部的负压源相连接。2.根据权利要求1所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述凹腔(11)的开口处设有台阶部(111)，所述吸盘(20)设置于所述台阶部(111)上。3.根据权利要求1所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述吸盘(20)为多孔材料制成，制成后的所述吸盘(20)自身具有贯穿盘体的所述通气孔。4.根据权利要求3所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述吸盘(20)上表面的表面粗糙度小于50nm。5.根据权利要求1所述的薄膜类样品展平吸附装置，其特征在于，所述薄膜类样品展平吸附装置还包括压板(40)，所述压板(40)设置为能够压紧放置于所述吸盘(20)上表面的待检测薄膜类样品。...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜艳茹，李其其格，孙欣森，刘钢，公秀凤，姜宏峰，李永强，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：