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本实用新型涉及表面测量技术领域，公开了一种薄膜类样品展平吸附装置及轮廓仪，薄膜类样品展平吸附装置包括支撑座、吸盘和吸气管；所述支撑座具有开口向上的凹腔；所述吸盘设置于所述凹腔的开口处并与所述凹腔围合形成负压空间，所述吸盘设有贯穿盘体的通气孔...
该专利属于安迈特科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安迈特科技（北京）有限公司授权不得商用。

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