二维材料在不同衬底间的转移方法技术

本发明专利技术涉及二维材料转移技术领域，尤其涉及一种二维材料在不同衬底间的转移方法。二维材料在不同衬底间的转移方法包括如下步骤：使用碱金属卤化物制作衬底；将机械剥离的原始样品粘附在衬底表面，在光学显微操作台上选出目标样品；在衬底的旁边滴加去离子水使目标样品漂浮，通过探针挑起目标样品并将其移动到硅片上；对目标样品上残留的碱金属卤化物进行后续处理，完成二维材料的转移。本发明专利技术能够解决样品附带较难去除的污染物的问题，同时使用纳米级钨针，可以挑起较小尺度的样品且不易对样品造成破坏，实现对样品的无损转移。实现对样品的无损转移。实现对样品的无损转移。

【技术实现步骤摘要】
二维材料在不同衬底间的转移方法


[0001]本专利技术涉及二维材料转移
，特别涉及一种二维材料在不同衬底间的转移方法。

技术介绍

[0002]二维材料因其独特的特性而在材料科学界受到了极大的关注，如多功能能带结构、高载流子迁移率、可调谐光电特性、高催化活性等，这些二维构建模块也使各种新颖结构的构建成为可能，如具有新特性和功能的范德华异质结构。在过去的几年中，已经开发了几种方法来将二维材料转移和集成到功能结构中诸如聚合物层辅助湿法转移、干法转移、表面能辅助、楔形转移、热释放胶带辅助、表面能辅助、鼓泡转移以及真空热压法等转移技术已大量应用于2D材料的研究中。然而，在转移阶段经常发生一些问题如对样片造成损伤或污染，如聚合物残留，往往会造成性能的下降。克服这些问题的关键是要开发出一种干净、可行、精确的转移方法，这样二维材料的研究和应用才能不受阻碍地进行和发展。
[0003]转移二维材料的一个基本挑战是将二维材料从原始基板上分离出来，而不对它造成破坏或引入污染。现有的表面能辅助法具有较大优势，将机械剥离于硅片上的样品放置在乙醇溶液中，较低的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二维材料在不同衬底间的转移方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、使用碱金属卤化物制作衬底；S2、将机械剥离的原始二维材料样品粘附在所述衬底表面，将所述衬底放置在光学显微操作台上，使用物镜选出目标二维材料样品；S3、将探针固定在所述光学显微操作台上并进行调节，在所述衬底的旁边缓慢滴加去离子水，使所述目标二维材料样品漂浮；S4、将所述探针伸到所述目标二维材料样品的底部，挑起所述目标二维材料样品；S5、将所述使用碱金属卤化物制作的衬底换为硅片，移动所述探针将所述目标二维材料样品置于所述硅片上，完成所述目标二维材料样品的初步转移；S6、对目标二维材料样品进行后续处理，完成所述目标二维材料样品的转移。2.根据权利要求1所述的二维材料在不同衬底间的转移方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述碱金属卤化物为氯化钠或氯化钾或溴化钾。3.根据权利要求1所述的二维材料在不同衬底间的转移方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述衬底尺寸为10mm
×
10mm
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1mm。4.根据权利要求1所述的二维材料在不同衬底间的转移方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫家旭，李治朴，赵寻，刘雷，申德振，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：