一种探针卡分析仪制造技术

本申请公开了一种探针卡分析仪，属于半导体设备领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构，机座位于翻转板下方设置有检测机构，检测机构包括用于与探针接触的传感器组，机座设置有用于控制检测机构沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构，检测机构连接于Z轴位移机构，机座位于翻转板上方设置有第一放大观察件，机座设置有用于供第一放大观察件滑移的调位机构。本申请具有提高探针的检测效率的作用。作用。作用。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡分析仪


[0001]本申请涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种探针卡分析仪。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的不断进步，半导体设备的功能和质量也在逐步提升，半导体技术中较为关键的是晶圆，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆的质量决定了半导体芯片的质量，因此在晶圆生产中需要对晶圆进行检测，探针卡正是用于检测晶圆。
[0003]探针卡的针与晶圆电极接触，以进行电学测试，从而筛选出芯片的不良品。探针卡分析仪是探针卡制造过程中的关键仪器，在制作探针卡时，需要检测探针卡的针与针之间的相对位置关系、针尖的直径大小和导电性、针尖压力的检测；另外，探针卡多次扎入晶圆后，探针表面会被磨损，影响探针测试晶圆的准确性。因此为了保持探针的效果，需要对探针卡进行相应的性能检测，检测合格之后才能正常使用。
[0004]目前关于探针的检测通常是通过显微镜观察探针外观，即针与针之间的相对位置关系的检测，通过控制传感器的触点与探针相对移动并接触来检测探针性能，即针尖压力和导电性能等数据的检测，由此需要外观检测设备和性能检测设备分别对相应项目进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡分析仪，包括机座(1)，其特征在于：所述机座(1)设置有用于安装探针卡的翻转板(2)，所述机座(1)设置有用于使所述翻转板(2)升降的升降机构(3)和用于驱动所述翻转板(2)旋转的旋转机构(4)，所述机座(1)位于所述翻转板(2)下方设置有检测机构(8)，所述检测机构(8)包括用于与探针接触的传感器组，所述机座(1)设置有用于控制所述检测机构(8)沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构(7)，所述检测机构(8)连接于Z轴位移机构(7)，所述机座(1)位于所述翻转板(2)上方设置有第一放大观察件，所述机座(1)设置有用于供所述第一放大观察件滑移的调位机构(15)。2.根据权利要求1所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述升降机构(3)包括设置于所述机座(1)的升降导轨(31)、滑移式连接于所述升降导轨(31)的升降板(34)以及用于驱动所述升降板(34)滑移的升降驱动件，所述旋转机构(4)连接于所述升降板(34)，所述翻转板(2)连接于所述旋转机构(4)。3.根据权利要求2所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述旋转机构(4)包括连接于所述升降板(34)的旋转臂(42)和转动连接于所述旋转臂(42)的旋转座(43)，所述翻转板(2)连接于所述旋转座(43)。4.根据权利要求3所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述旋转臂(42)开设有安装腔，所述旋转座(43)设有转动连接于所述安装腔的转动台(431)，所述旋转臂(42)连接有柔性垫块(45)，所述柔性垫块(45)设有销柱(452)，所述旋转座(43)开设有供所述销柱(452)滑移式连接的滑槽(432)，所述滑槽(432)沿所述旋转座(43)的转动路径设置，所述柔性垫块(45)开设有定位孔(453)，所述旋转座(43)设有卡接于所述定位孔(453)的定位球(433)。5.根据权利要求3所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述旋转臂(42)设有两个且分别连接于所述翻转板(2)的相对两端，所述旋转座(43)背离所述旋转臂(42)的一面设有支撑台(44)，所述支撑台(44)连接于所述翻转板(2)背离探针卡的探针的一面。6.根据权利要求1所述的一种探针卡分析仪，其特征在于：所述检测机构(8)还包括检测安装座(81)，所述传感器组包...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮，刘世文，瞿高峰，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：