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本申请公开了一种探针卡分析仪，属于半导体设备领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构，机座位于翻转板下方设置有检测机构，检测机构包括用于与探针接触的传感器组，机座设置...
该专利属于深圳市森美协尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市森美协尔科技有限公司授权不得商用。

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