本发明专利技术涉及一种使用时序控制启闭之真空阀门，包含密封板、纵向驱动缸以及横向驱动缸。在闭合操作时，第一流体系先推动纵向驱动缸之第一活塞杆由第二位置上升至第一位置，藉以允许第一流体推动横向驱动缸之第二活塞杆移向阀口，并使得密封板闭合阀口。在开启操作时，第二流体系先推动横向驱动缸之第二活塞杆朝着远离阀口之方向移动，再使得纵向驱动缸之第一活塞杆由第一位置下降至第二位置。藉此，本发明专利技术不需使用止逆阀，且不须采用面积压力比之控制方式，且纵向驱动缸之刚性强度不受第一活塞杆之升降而影响，故运作较稳定。故运作较稳定。故运作较稳定。
【技术实现步骤摘要】
使用时序控制启闭之真空阀门
[0001]本专利技术是有关于一种真空阀门，特别是有关于一种使用时序控制启闭之真空阀门。
技术介绍
[0002]真空阀门通常应用于真空制程室中，用以选择性闭合或开启真空制程室之阀口，以便进行抽真空制程。然而，传统真空阀门须增设止逆阀做气源分配，才能控制纵向及横向的作动，且其系采用面积压力比之控制方式，因此，传统真空阀门不仅结构设计较复杂、零件较多及成本较高，而且其作动较为复杂且相对较不稳定。此外，传统的真空阀门系向外伸展驱动缸之活塞杆并使密封板贴住阀口，藉以获得所需之闭合效果，然而传统真空阀门之整体刚性强度会随着驱动缸之活塞杆向外伸展而逐渐降至最低值。由此可见，传统技术仍有待改善。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本专利技术之一目的就是在提供一种使用时序控制启闭之真空阀门，以解决传统技术之问题。
[0004]为达前述目的，本专利技术提出一种使用时序控制启闭之真空阀门包含一密封板、至少一纵向驱动缸及至少一横向驱动缸。密封板系用以往复地移动至一闭合位置或一开启位置，以闭合或开启一阀口。该纵向驱动缸系包含一第一缸体、一第一活塞板及一第一活塞杆，该第一活塞板系固接于该第一活塞杆之一中央段上，且该第一活塞板系可移动式设于该第一缸体中，藉以在该第一缸体中分别形成一第一闭合用进气室及一第一开启用进气室位于该第一活塞板之两侧。该横向驱动缸系设于该纵向驱动缸之该第一活塞杆上，该横向驱动缸包含一第二缸体、一第二活塞板及一第二活塞杆，该第二活塞板系连接于该第二活塞杆之一中央段上，该第二活塞杆之顶端系连接于该密封板之内侧，且该第二活塞板系可移动式设于该第二缸体中，藉以在该第二缸体中分别形成一第二闭合用进气室及一第二开启用进气室位于该第二活塞板之两侧，其中当一第一流体被供应至该纵向驱动缸之该第一闭合用进气室时，该第一流体系推动该第一活塞板上升直至该第一活塞杆之底端上升至一第一位置，使得该第一闭合用进气室经由一闭合用进气管件连通该第二闭合用进气室以及该第一开启用进气室经由一开启用进气管件连通该第二开启用进气室，藉以令该第一流体经由该第一闭合用进气室进入该第二闭合用进气室中并经由推动该第二活塞板使得该密封板移动至该闭合位置，其中当一第二流体被供应至该纵向驱动缸之该第一开启用进气室时，该第二流体系先经由该第一开启用进气室供应至该第二开启用进气室中并推动该第二活塞板使得该密封板朝着远离该闭合位置之方向移动，再推动该第一活塞板下降直至该第一活塞杆之该底端下降至一第二位置，以便使得该密封板移动至该开启位置。
[0005]其中，在该第一活塞杆上升及下降的过程中，该纵向驱动缸之第一缸体之顶端及底端系同时恒保持密合式套接该第一活塞杆。
[0006]其中，该第一流体及该第二流体系对应地循序供应至该第一闭合用进气室及该第一开启用进气室，藉以使得该密封板对应地闭合及开启该阀口。
[0007]其中，当该第一流体被供应至该第一闭合用进气室中时，该第二流体系停止被供应至该第一开启用进气室中，且当该第二流体被供应至该第一开启用进气室中时，该第一流体系停止被供应至该第一闭合用进气室中。
[0008]其中，该闭合用进气管件之一进气口系设于该纵向驱动缸之该第一活塞杆之该底端上之一第三位置，该开启用进气管件之一进气口系设于该纵向驱动缸之该第一活塞杆之该中央段上之一第四位置。
[0009]其中当该第一活塞杆之该底端上升至该第一位置时，该闭合用进气管件之该进气口系位于该第一闭合用进气室中，该开启用进气管件之该进气口系位于该第一开启用进气室中。
[0010]其中，该纵向驱动缸之数量为复数个，且该闭合用进气管件之一进气口及该开启用进气管件之一进气口系分别设于该些纵向驱动缸中之两者之该第一活塞杆上。
[0011]其中，还包含一第一极限开关及一第二极限开关设于该第一位置及该第二位置上，其中当该密封板移动至该闭合位置时，位于该第一位置之该第一极限开关系被触发，且当该密封板移动至该开启位置时，位于该第二位置之该第二极限开关系被触发。
[0012]其中，还包含一第一流体供应管件及一第二流体供应管件分别连通该第一纵向驱动缸之该第一闭合用进气室及该第一开启用进气室，藉以经由该第一流体供应管件直接供应该第一流体进入该第一闭合用进气室中或者是经由该第二流体供应管件直接供应该第二流体进入该第一开启用进气室中。
[0013]其中，该第一缸体之顶端及底端分别具有一第一开口及一第二开口，该第一活塞杆之该顶端系穿过该第一开口以连接该横向驱动缸之该第二缸体，该第一活塞杆系穿过该第二开口使得该第一活塞杆之该底端上升至该第一位置或使得该第一活塞杆之该底端下降至该第二位置。
[0014]其中，该密封板之轮廓为不规则形状或规则形状。
[0015]其中，该密封板之轮廓为矩形、圆形、圆弧形或椭圆形。
[0016]其中，该第一流体系手动式或自动式地被供应至该第一闭合用进气室中以及/或者该第二流体系手动式或自动式地被供应至该第一开启用进气室中。
[0017]其中，该密封板系藉由各自独立之进气系统及排气系统往复地移动至该闭合位置或该开启位置。
[0018]承上所述，本专利技术系以时序方式控制真空阀门之开启或闭合动作，藉由独立供应第一流体即可使得密封板闭合阀口且藉由独立供应第二流体即可使得密封板开启阀口，无须采用止逆阀等较复杂之控制方式。而且，本专利技术系以时序方式控制真空阀门之开启或闭合，不须采用面积压力比之控制方式，因此本专利技术之运作远比传统技术更稳定。此外，本专利技术之纵向驱动缸之第一缸体之顶端及底端系同时恒保持密合式套接第一活塞杆，亦即，第一活塞杆与第一缸体之环接处有两处，且其距离不会因为第一活塞杆之升降高度而产生变化，故本专利技术之真空阀门之刚性强度远优于传统技术。
[0019]兹为使钧审对本专利技术的技术特征及所能达到的技术功效有更进一步的了解与认识，谨佐以较佳的实施例及配合详细的说明如后。
附图说明
[0020]图1为本专利技术之真空阀门之立体外观图，其中密封板位于闭合位置。
[0021]图2为本专利技术之真空阀门之立体外观图，其中密封板位于开启位置。
[0022]图3为本专利技术之真空阀门之剖面图，其中密封板位于闭合位置。
[0023]图4为本专利技术之真空阀门之剖面图，其中密封板位于开启位置。
[0024]图5为本专利技术之真空阀门之横向驱动缸之剖面图，其中密封板位于闭合位置。
[0025]图6为本专利技术之真空阀门之横向驱动缸之剖面图，其中密封板位于开启位置。
[0026]图7为本专利技术之真空阀门之剖面图，其中密封板执行闭合动作。
[0027]图8为本专利技术之真空阀门之剖面图，其中密封板执行开启动作。
[0028]附图标记说明：
[0029]10：阀座
[0030]11：结构体
[0031]12：中空内部
[0032]14：阀口
[0033]15：密封板
[0034]20：纵向驱动缸
[0035]21：第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种使用时序控制启闭之真空阀门，其特征在于，包含：一密封板，用以往复地移动至一闭合位置或一开启位置，以闭合或开启一阀口；至少一纵向驱动缸，该纵向驱动缸包含一第一缸体、一第一活塞板及一第一活塞杆，该第一活塞板系固接于该第一活塞杆之一中央段上，且该第一活塞板系可移动式设于该第一缸体中，藉以在该第一缸体中分别形成一第一闭合用进气室及一第一开启用进气室位于该第一活塞板之两侧；以及至少一横向驱动缸，设于该纵向驱动缸之该第一活塞杆上，该横向驱动缸包含一第二缸体、一第二活塞板及一第二活塞杆，该第二活塞板系连接于该第二活塞杆之一中央段上，该第二活塞杆之顶端系连接于该密封板之内侧，且该第二活塞板系可移动式设于该第二缸体中，藉以在该第二缸体中分别形成一第二闭合用进气室及一第二开启用进气室位于该第二活塞板之两侧，其中当一第一流体被供应至该纵向驱动缸之该第一闭合用进气室时，该第一流体系推动该第一活塞板上升直至该第一活塞杆之底端上升至一第一位置，使得该第一闭合用进气室经由一闭合用进气管件连通该第二闭合用进气室以及该第一开启用进气室经由一开启用进气管件连通该第二开启用进气室，藉以令该第一流体经由该第一闭合用进气室进入该第二闭合用进气室中并经由推动该第二活塞板使得该密封板移动至该闭合位置，其中当一第二流体被供应至该纵向驱动缸之该第一开启用进气室时，该第二流体系先经由该第一开启用进气室供应至该第二开启用进气室中并推动该第二活塞板使得该密封板朝着远离该闭合位置之方向移动，再推动该第一活塞板下降直至该第一活塞杆之该底端下降至一第二位置，以便使得该密封板移动至该开启位置。2.如权利要求1所述的使用时序控制启闭之真空阀门，其特征在于，其中在该第一活塞杆上升及下降的过程中，该纵向驱动缸之第一缸体之顶端及底端系同时恒保持密合式套接该第一活塞杆。3.如权利要求1所述的使用时序控制启闭之真空阀门，其特征在于，其中该第一流体及该第二流体系对应地循序供应至该第一闭合用进气室及该第一开启用进气室，藉以使得该密封板对应地闭合及开启该阀口。4.如权利要求1所述的使用时序控制启闭之真空阀门，其特征在于，其中当该第一流体被供应至该第一闭合用进气室中时，该第二流体系停止被供应至该第一开启用进气室中，且当该第二流体被供应至该第一开启用进气室中时，该第一流体系停止被供应至该第一闭合用进气室中。5.如权利要求1所述的使用时序控制启闭之真空阀门，其特征在于，其中该闭合用进气...
【专利技术属性】
技术研发人员：林赐民，许俊树，蔡智仁，
申请(专利权)人：日扬科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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