放电加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种放电加工装置，至少包含载台及放电加工单元。载台用以承载至少一待加工物。放电加工单元包含一电极、一治具及一供电单元。当放电加工单元沿着加工行进方向对待加工物之一加工目标区进行放电加工程序时，电极之放电区段与待加工物之加工目标区相对移动。本发明专利技术可改善加工程序、节省整体加工时间及节省更换电极所需时间。省更换电极所需时间。省更换电极所需时间。

【技术实现步骤摘要】
放电加工装置


[0001]本专利技术是有关于一种加工装置，特别是有关于一种放电加工装置。

技术介绍

[0002]随着半导体产业蓬勃发展，放电加工技术已常见用于加工处理晶锭或晶圆。放电加工(Electrical Discharge Machining，EDM)是一种藉由放电产生火花，使待加工物成为所需形状的一种制造工艺。介电材料分隔两电极并施以电压，产生周期性快速变化的电流放电，用以加工上述之待加工物。放电加工技术采用两个电极，其中一个电极称为工具电极，或称为放电电极，另一个电极则称为工件电极，连接上述之待加工物。在放电加工的过程中，放电电极和工件电极间不会有实际的接触。
[0003]当两个电极间的电位差增大时，两电极之间的电场亦会增大，直到电场强度高过介电强度，此时会发生介电崩溃，电流流过两电极，并去除部分材料。当电流停止时，新的介电材料会流到电极间的电场，排除上述的部分材料，并重新提供介电质绝缘效果。在电流流过之后，两电极间的电位差会回到介电崩溃之前，如此可以重复进行新一次的介电崩溃。
[0004]然而，现有放电加工技术的缺点在于，其切割面的粗糙度不佳，且切割面上具有相当多表面裂缝，甚至会沿着非切割方向延伸，导致非预期方向的破裂效果。而且，现有的放电加工技术在进行例如晶锭切割时，都是使用治具夹持晶锭的周缘，亦即径向夹持晶锭的侧边，以防止滚动或位移。然而，由于晶锭的切割面也是位在径向上，因此传统技术仅能切割暴露在治具外侧的晶锭，无法切割治具与晶锭重叠之区域，所以传统技术需要停机并重新调整位置后，才能再次切割。此外，现有的放电加工技术一次仅能切割或薄化一片晶圆，速度相当缓慢。再者，现有的放电加工技术都是只使用单一条切割线，再加上现有的放电加工装置并无快拆式设计，若切割线意外断裂，则需要停机且花费相当多时间始能完成更换。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术之一或多个目的就是在提供一种放电加工装置，以解决上述习知技术之诸多问题。
[0006]为达前述目的，本专利技术提出一种放电加工装置，至少包含：一载台，用以承载至少一待加工物；以及一放电加工单元，用以沿着一加工行进方向对该载台上之该待加工物之一加工目标区进行一放电加工程序，该放电加工单元包含：至少一电极；一治具，该治具由至少两承载构件及至少两固持构件分别对应组接而成，该复数个电极之两侧分别抵靠于该两承载构件上，使得该电极之一放电区段呈悬空状态，其中该电极之该放电区段为沿着垂直于一第一方向之一第二方向延伸；以及一供电单元，该供电单元在该放电加工程序中提供一第一电源予该电极及该待加工物，用以经由该电极之该放电区段施加一放电能量予该待加工物之该加工目标区，其中该放电加工单元沿着该加工行进方向进行该放电加工程序时，该电极之该放电区段与该待加工物之该加工目标区沿着该第二方向呈相对移动。
[0007]其中，该电极之该放电区段与该待加工物之该加工目标区沿着该第二方向呈往复
式或循环式相对移动。
[0008]其中，该两承载构件及该两固持构件与该电极一起往复式或循环式运动，使得该电极以该放电区段施加该放电能量予该待加工物。
[0009]其中，该放电加工单元借由使得该两承载构件或该两固持构件产生相对位移而调整该电极之张力值。
[0010]其中，还包括一稳定构件，用以稳定该电极相对于该待加工物之移动。
[0011]其中，该电极为线状或板状。
[0012]其中，该载台沿着该第一方向、该第二方向或者该加工行进方向移动。
[0013]其中，该载台以该第一方向、该第二方向或该加工行进方向为轴心进行旋转。
[0014]其中，该放电加工装置还包括一排渣单元，该放电加工单元对该待加工物进行该放电加工程序时，该排渣单元提供一外力排除该电极对该待加工物施加该放电能量所产生之残渣。
[0015]其中，该排渣单元所提供之该外力之施加方向或施加位置对应于该待加工物之外形进行动态调整以排除该残渣。
[0016]其中，该放电加工装置还包括一张力量测单元，用于量测该电极的张力值。
[0017]其中，该放电加工装置还包括一振动量测单元，用于量测该电极的振动值。
[0018]其中，该放电加工单元之该供电单元还包括提供一第二电源予该电极，借以提供一直流电源或一射频予该电极。
[0019]其中，该载台还包括一夹持件，用以固定该待加工物。
[0020]其中，该待加工物具有一平面区域，并以该平面区域与该载台或该夹持件连接。
[0021]其中，该夹持件之外形沿着该待加工物之外形依附。
[0022]其中，该夹持件具有一板体，该板体具有梳状结构。
[0023]其中，该载台具有一梳状结构。
[0024]其中，该载台透过一锁附结构与该夹持件连接。
[0025]其中，该夹持件之两板体透过一卡接结构彼此连接。
[0026]其中，该夹持件与该待加工物有两面以上的接触面
[0027]其中，该载台或该夹持件以一黏胶层连接该待加工物。
[0028]其中，该黏胶层为非连续式设于该载台或该夹持件上。
[0029]其中，该黏胶层为导电胶。
[0030]其中，该夹持件轴向撑抵该待加工物之单侧，该放电能量于该待加工物之该加工目标区所形成之一加工沟槽借由一黏胶层黏接该加工沟槽之两槽壁。
[0031]其中，该放电加工单元沿着该加工行进方向对该载台上之该待加工物连同该夹持件进行该放电加工程序。
[0032]其中，该夹持件夹持一缓冲构件，且该缓冲构件经由一导电胶层固定该待加工物，该放电加工单元沿着该加工行进方向对该载台上之该待加工物进行该放电加工程序。
[0033]其中，该夹持件经由夹持一导电框以固定该待加工物，该放电加工单元系沿着该加工行进方向对该载台上之该待加工物进行该放电加工程序。
[0034]其中，该载台、该夹持件或该待加工物还具有一导电增益层，借以提高该待加工物与该载台之间或者是该待加工物与该夹持件之间的电性接触。
[0035]其中，还包括一热源供应源，用以于进行该放电加工程序前、中或后提供一热源予该待加工物。
[0036]其中，该两承载构件分别为板型结构或套筒结构。
[0037]其中，该两承载构件分别包含一第一片材及一第二片材，且该电极夹固于该第一片材与该第二片材之间。
[0038]其中，该两承载构件分别具有一穿槽，该两固持构件分别具有对应于该穿槽之一凸块，该两承载构件以该穿槽对应组接该两固持构件之该凸块。
[0039]其中，该两承载构件分别具有一通孔，该两固持构件分别具有一螺孔，其中该两承载构件借由一螺栓穿过该通孔以螺接该两固持构件之该螺孔。
[0040]其中，该两固持构件分别具有一沟槽结构，该两承载构件插入于该两固持构件之该沟槽结构中，借以对应组接于该两固持构件上。
[0041]其中，该两固持构件分别具有一导电结构，借以电性连接抵靠于该两承载构件上之该电极。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种放电加工装置，其特征在于，至少包含：一载台，用以承载至少一待加工物；以及一放电加工单元，用以沿着一加工行进方向对该载台上之该待加工物之一加工目标区进行一放电加工程序，该放电加工单元包含：至少一电极；一治具，该治具由至少两承载构件及至少两固持构件分别对应组接而成，该电极之两侧分别抵靠于该两承载构件上，使得该电极之一放电区段呈悬空状态，其中该电极之该放电区段为沿着垂直于一第一方向之一第二方向延伸；以及一供电单元，该供电单元在该放电加工程序中提供一第一电源予该电极及该待加工物，用以经由该电极之该放电区段施加一放电能量予该待加工物之该加工目标区，其中该放电加工单元沿着该加工行进方向进行该放电加工程序时，该电极之该放电区段与该待加工物之该加工目标区沿着该第二方向呈相对移动。2.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该电极之该放电区段与该待加工物之该加工目标区沿着该第二方向呈往复式或循环式相对移动。3.如权利要求2所述之放电加工装置，其特征在于，其中该两承载构件及该两固持构件与该电极一起往复式或循环式运动，使得该电极以该放电区段施加该放电能量予该待加工物。4.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该放电加工单元借由使得该两承载构件或该两固持构件产生相对位移而调整该电极之张力值。5.如权利要求2所述之放电加工装置，其特征在于，还包括一稳定构件，用以稳定该电极相对于该待加工物之移动。6.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该电极为线状或板状。7.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该载台沿着该第一方向、该第二方向或者该加工行进方向移动。8.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该载台以该第一方向、该第二方向或该加工行进方向为轴心进行旋转。9.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该放电加工装置还包括一排渣单元，该放电加工单元对该待加工物进行该放电加工程序时，该排渣单元提供一外力排除该电极对该待加工物施加该放电能量所产生之残渣。10.如权利要求9所述之放电加工装置，其特征在于，其中该排渣单元所提供之该外力之施加方向或施加位置依据该待加工物之外形进行动态调整以排除该残渣。11.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该放电加工装置还包括一张力量测单元，用于量测该电极的张力值。12.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该放电加工装置还包括一振动量测单元，用于量测该电极的振动值。13.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该放电加工单元之该供电单元还包括提供一第二电源予该电极，借以提供一直流电源或一射频予该电极。14.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该载台还包括一夹持件，用以固定该待加工物。
15.如权利要求14所述之放电加工装置，其特征在于，其中该待加工物具有一平面区域，并以该平面区域与该载台或该夹持件连接。16.如权利要求14所述之放电加工装置，其特征在于，其中该夹持件之外形沿着该待加工物之外形依附。17.如权利要求14至16中任一项所述之放电加工装置，其特征在于，其中该夹持件具有一板体，该板体具有一梳状结构。18.如权利要求1所述之放电加工装置，其特征在于，其中该载台具有一梳状结构。19.如权利要求14至16中任一项所述之放电加工装置，其特征在于，其中该载台透过一锁附结构与该夹持件连接。20.如权利要求14至16中任一项所述之放电加工装置，其特征在于，其中该夹持件之两板体透过一卡接结构彼此连接。21.如权利要求14至16中任一项所述之放电加工装置，其特征在于，其中该夹持件与该待加工物有两面以上的接触面。22.如权利要求14至16中任一项所述之放电加工装置，其特征在于，其中该载台或该夹持件以一黏胶层连接该待加工物。23.如权利要求22所述之放电加工装置，其特征在于，其中该黏胶层为非连续式设于该载台或该夹持件上。24.如权利要求22所述之放电加工装置，其特征在于，其中该黏胶层为导电胶。25.如权利要求14所述之放电加工装置，其特征在于，其中该夹持件轴向撑抵该待加工物之单侧，该放电能量于该待加工物之该加工目标区所形成之一加工沟槽借由一黏胶层黏接该加工沟槽之两槽壁。26.如权利要求14所述之放电加工装置，其特征在于，其中该放电加工单元沿着该加工行进方向对该载台上之该待加工物连同该夹持件进行该放电加工程序。27.如权利要求14所述之放电加工装置，其特征在于，其中该夹持件夹持一缓冲构件，且该缓冲构件经由一导电胶层固定该待加工物，该放电加工单元沿着该加工行进方向对该载台上之该...

【专利技术属性】
技术研发人员：寇崇善，叶文勇，陈长营，
申请(专利权)人：日扬科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：