本发明专利技术涉及一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备，药液存储装置包括：槽体，其设有容腔、进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述容腔连通，所述容腔用以容纳药液；冷却管组件，其包括若干冷却管且设置于所述容腔内，用以流通冷却液；其中，所述进液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积大于所述出液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积。通过限定进液口处的冷却管组件与药液的接触面积大于出液口处的冷却管组件与药液的接触面积，以使得进液口处的冷却速度大于出液口处的冷却速度，使得容腔内的药液冷却后的温度更加均匀，进而能够将出液口输出到后续的加工腔的药液的温度与期望的温度之间的温度差控制在可接受范围内。控制在可接受范围内。控制在可接受范围内。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备
[0001]本专利技术涉及晶圆加工设备
，特别是涉及一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备。
技术介绍
[0002]晶圆在加工过程中会用到多种化学药液，在晶圆加工设备中，通常设置药液槽以存储相应的药液，在实际加工过程中，对药液的温度有着严格的要求，因此，通常在药液槽外设置加热装置加热药液循环管路，同时在药液槽中设置冷却管来冷却药液，以使得药液能够始终保持在一个较为恒定的温度。
[0003]但是，由于药液槽本身较大，且为了稳定地输出药液，药液槽的进液口和出液口有一定间距，药液槽中的药液的温度通常会存在一定差异，这就使得从出液口输出到加工腔的药液的温度与期望的温度有一定误差，该误差对晶圆的加工会造成不良影响。
技术实现思路
[0004]基于现有技术中的上述缺陷，本专利技术的目的在于提供一种用于晶圆加工的药液存储装置，能够使槽体内的药液的温度更加均匀、准确。
[0005]为此，本专利技术提供如下技术方案。
[0006]本专利技术第一个目的是提供一种用于晶圆加工的药液存储装置，所述药液存储装置包括：槽体，其设有容腔、进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述容腔连通，所述容腔用以容纳药液；冷却管组件，其包括若干冷却管且设置于所述容腔内，用以流通冷却液；其中，所述进液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积大于所述出液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积。
[0007]优选地，所述进液口和所述出液口分别靠近所述槽体的顶壁的长度方向上的两端。
[0008]优选地，所述若干冷却管在所述进液口处排布的密集度大于在所述出液口处排布的密集度。
[0009]优选地，在所述进液口朝向所述出液口的方向上，所述若干冷却管的排布密集度逐渐减小。
[0010]优选地，所述冷却管靠近所述进液口的第一管道段的直径大于其靠近所述出液口的第二管道段的直径。
[0011]优选地，所述第一管道段的长度与所述第二管道段的长度相等，且所述长度大于等于所述进液口和所述出液口之间的水平距离的五分之一。
[0012]优选地，所述第一管道段的直径与所述第二管道段的直径比为1：（0.7
‑
0.8）。
[0013]优选地，所述药液存储装置包括第一温度传感器，用以获取所述出液口处的药液
的温度信息。
[0014]优选地，所述药液存储装置包括第二温度传感器，用以获取所述进液口处的药液的温度信息；当所述出液口与所述进液口两处的药液温度差小于预设温度差时，触发出液指令。
[0015]本专利技术第二个目的是提供一种晶圆加工设备，包括如上所述的用于晶圆加工的药液存储装置。
[0016]本专利技术具有以下技术效果：由于进液口处的药液温度通常比出液口处的药液温度高，本专利技术提供一种用于晶圆加工的药液存储装置，通过限定进液口处的冷却管组件与药液的接触面积大于出液口处的冷却管组件与药液的接触面积，可以使得进液口处的冷却速度大于出液口处的冷却速度，使得容腔内的药液冷却后的温度更加均匀，进而能够将出液口输出到后续的加工腔的药液的温度与期望的温度之间的温度差控制在可接受范围内。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的药液存储装置的立体结构示意图图一；图2为本专利技术的第一实施方式中的冷却管组件的立体结构示意图；图3为本专利技术的第一实施方式中的冷却管的俯视图；图4为本专利技术的第二实施方式中的冷却管组件的立体结构示意图；图5为本专利技术的药液存储装置的立体结构示意图图二。
[0018]附图标记说明1、药液存储装置；11、槽体；111、容腔；112、进液口；113、出液口；114、盖体；115、冷却液入口；116、冷却液出口；12、冷却管组件；121、冷却管；1211、第一管道段；1212、第二管道段；1213、第三管道段；13、第一温度传感器。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术的技术方案和有益效果能够更加明显易懂，下面通过列举具体实施例的方式进行详细说明。除非另有定义，本文所使用的技术和科学术语与本申请所属的
中的技术和科学术语的含义相同。
[0020]在本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于本专利技术的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，即不能理解为对本专利技术的限制。
[0021]在本专利技术中，术语“第一”、“第二”仅用于描述清楚的目的，不能理解为所指示特征的相对重要性或所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个；“若干个”的含义是至少
一个；另有明确限定的除外。
[0022]在本专利技术中，除非另有明确的限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等应作广义理解。例如，“连接”，可以是固定连接、可拆卸连接或一体成型；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0023]在本专利技术中，除非另有明确的限定，第一特征在第二特征“上”、“之上”、“上方”和“上面”、“下”、“之下”、“下方”或“下面”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征的水平高度高于第二特征的水平高度。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征的水平高度小于第二特征的水平高度。
[0024]本专利技术中提及的“前”和“后”均以图1和图2中的标示为准。
[0025]下面根据图1至图5详细说明本专利技术的晶圆加工设备。
[0026]在本实施方式中，如图1至图5所示，晶圆加工设备包括药液存储装置1，药液存储装置1包括槽体11和冷却管组件12。槽体11设有容腔111、进液口112和出液口113，进液口112和出液口113分别与容腔111连通，容腔111用以容纳药液，进液口112用以向容腔111内通入药液，出液口113用以将容腔111内的药液导出至晶圆加工设备的加工腔内。冷却管组件12包括若干冷却管121，且冷却管组件12设置于容腔111内，当需对容腔111内的药液进行冷却时，向冷却管121内通入冷却液，药液与冷却管组件12之间进行热量交换，实现冷却。
[0027]由于进液口112处的药液温度通常比出液口113处的药液温度高，在本实施方式中，如图2至图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，所述药液存储装置（1）包括：槽体（11），其设有容腔（111）、进液口（112）和出液口（113），所述进液口（112）和所述出液口（113）分别与所述容腔（111）连通，所述容腔（111）用以容纳药液；冷却管组件（12），其包括若干冷却管（121）且设置于所述容腔（11）内，用以流通冷却液；其中，所述进液口（112）处的所述冷却管组件（12）与药液的接触面积大于所述出液口（113）处的所述冷却管组件（12）与药液的接触面积。2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，所述进液口（112）和所述出液口（113）分别设于所述槽体（11）的顶壁的长度方向上的两端。3.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，所述若干冷却管在所述进液口（112）处排布的密集度大于在所述出液口（113）处排布的密集度。4.根据权利要求3所述的用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，在所述进液口（112）朝向所述出液口（113）的方向上，所述若干冷却管的排布密集度逐渐减小。5.根据权利要求1
‑
4中任意一项所述的用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，所述冷...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，曾麒文，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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