【技术实现步骤摘要】
一种
Φ
1200mm极大口径平面光学干涉测试装置
[0001]本专利技术涉及光学系统测量
，具体涉及一种1200mm极大口径光学干涉测试装置。
技术介绍
[0002]干涉测试装置在光学元件反射面形检测、透射面形检测、光学材料质量分析以及光学系统评价等领域均有广泛应用。随着精密光学元件加工工艺技术的迅速发展，采用干涉测试装置代替传统的对样板、看刀口等检测方法成为未来光学元件面形检测的必然发展趋势。随着大口径光学领域的发展，近年来对于大口径高精度面形干涉检测的研究与工程化正成为光学检测领域的重点课题之一。
[0003]采用干涉测试装置进行光学检测具有非接触、可分析、操作便捷等特点，但是由于光学元件的种类、大小等千差万别，干涉测试装置不可能通用于所有光学元件的检测。而对于平面光学元件的面形等参数的检测分析主要受到干涉测试口径的限制，国内外从上世纪80年代就开始开展Φ150mm口径以下的干涉检测研究，也形成了以下几种固定口径如Φ30mm、Φ60mm、Φ100mm、Φ150mm等干涉测试装置。但是对于再...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种Φ1200mm极大口径平面光学干涉测试装置，其特征在于，包括：集成控制模块（1）、激光光源模块（2）、小端口干涉测试模块（3）、大端口干涉测试模块（4）、成像模块（5）、切换模块（6）以及快速对准模块（7），所述集成控制模块（1）分别与激光光源模块（2）、成像模块（5）、切换模块（6）以及快速对准模块（7）连接；其中，所述激光光源模块（2）包括波长调谐激光器（201），集成控制模块（1）与所述波长调谐激光器（201）连接，沿着波长调谐激光器（201）输出光束方向依次设置有第一转折反射镜（202）、聚焦透镜（203）以及分光棱镜（204），分光棱镜（204）将输出光束分为透射光和反射光，沿反射光方向为成像模块（5），沿透射光方向分别为小端口干涉测试模块（3）和大端口干涉测试模块（4）；所述小端口干涉测试模块（3）包括沿透射光光束前进方向依次设置的Φ110mm口径准直物镜（301）、Φ110mm口径透射标准镜（302）和第一被测平晶（303），所述第一被测平晶（303）的前表面与Φ110mm口径透射标准镜（302）的参考面之间形成小端口干涉测试腔；所述切换模块（6）包括切换反射镜（601），所述切换反射镜（601）位于Φ110mm口径准直物镜（301）与Φ110mm口径透射标准镜（302）之间；所述切换反射镜（601）的一端固定在旋转机构的旋转轴上，另一端可绕旋转轴旋转，用于实现干涉测试装置在大端口干涉测试与小端口干涉测试之间的切换，所述集成控制模块（1）与旋转机构连接；所述大端口干涉测试模块（4）包括负透镜（401）、第二转折反射镜（402）、Φ1200mm口径准直物镜（403）、Φ1200mm口径透射标准镜（404）以及第二被测平晶（405）；所述第二被测平晶（405）的前表面与Φ1200mm口径透射标准镜（404）的参考面之间形成大端口干涉测试腔；所述快速对准模块（7）包括对准激光器（...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵智亮，赵子嘉，张志华，陈辉，黄丹，王雪竹，淳于永昕，葛瑞红，
申请(专利权)人：成都太科光电技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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