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本发明公开了一种Φ1200mm极大口径平面光学干涉测试装置，包括集成控制模块、激光光源模块、小端口干涉测试模块、大端口干涉测试模块、成像模块、切换模块和快速对准模块，集成控制模块分别与激光光源模块、成像模块、切换模块以及快速对准模块连接。本...
该专利属于成都太科光电技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都太科光电技术有限责任公司授权不得商用。

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