用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备制造技术

技术编号:41185315 阅读:26 留言:0更新日期:2024-05-07 22:17
本发明专利技术涉及光学检测设备技术领域,开了一种用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备,所述设备从下往上包括依次连接的底座、水平位移调节组件、俯仰调节组件、偏转调节组件以及夹持工装;所述水平位移调节组件用于调节被测光学元件的横向位置,俯仰调节组件和偏转调节组件分别用于调节被测光学元件的俯仰角度和偏转角度,在三个调节组件的配合作用下,最终在测试时调节被测光学元件的光路与光学仪器的光路两者重合,满足测试要求。本发明专利技术调节设备的每一个维度调节组件从下往上依次堆叠集成在底座上,设备的结构更加紧凑、集成度更高,使用方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学检测设备,尤其涉及一种用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备


技术介绍

1、多维光学检测调节设备因为其精度高、承载大、行程长等特点,而被广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域,调节设备能够实现精确、快速的调节设备上待测件的空间位置的效果。随着大口径光学领域的发展,近年来对于大口径高精度面形干涉检测的研究与工程化正成为光学检测领域的重点课题之一。

2、公开为cn106124171a的专利技术专利公开了一种用于大口径光学元件光学性能检测的三维平台,包括水平移动(x轴)部分、竖直移动(z轴)部分和水平旋转(c轴)部分。提出了一种针对不同尺寸光学元件可灵活装夹,并满足多种光学性能检测的平台设计方案。通过对机床的结构的合理布局,在最大限度预留多种光学性能检测所需要三维空间的同时,也解决了常规机械平台在光学检测领域通用性差的问题。

3、以上三维平台为悬臂结构,对于大口径的光学元件来说,在测量时,装置的稳定性较差,并且平台主要调节的是光学元件的横向位置、纵向位置以及偏转角度,并不涉及俯仰角度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备,其特征在于,包括从下往上依次设置的底座(1)、水平位移调节组件(2)、俯仰调节组件(3)、偏转调节组件(4)以及夹持工装(5);所述俯仰调节组件(3)设置在水平位移调节组件(2)的移动端,偏转调节组件(4)固定于所述俯仰调节组件(3)的转动端,夹持工装(5)安装于所述偏转调节组件(4)的转动端;其中,

2.根据权利要求1所述的用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备,其特征在于,所述水平位移直线导轨副(203)对称设置在水平位移板(201)的两侧。

3.根据权利要求1所述的用于大口径光学元件光学测试的紧...

【技术特征摘要】

1.一种用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备,其特征在于,包括从下往上依次设置的底座(1)、水平位移调节组件(2)、俯仰调节组件(3)、偏转调节组件(4)以及夹持工装(5);所述俯仰调节组件(3)设置在水平位移调节组件(2)的移动端,偏转调节组件(4)固定于所述俯仰调节组件(3)的转动端,夹持工装(5)安装于所述偏转调节组件(4)的转动端;其中,

2.根据权利要求1所述的用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备,其特征在于,所述水平位移直线导轨副(203)对称设置在水平位移板(201)的两侧。

3.根据权利要求1所述的用于大口径光学元件光学测试的紧凑型三维调节设备,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵智亮颉自强黄丹莫林赵子嘉葛瑞红
申请(专利权)人:成都太科光电技术有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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