一种可控硅门极条的辐照加工工装制造技术

本实用新型专利技术公开了可控硅芯片制造技术领域的一种可控硅门极条的辐照加工工装，包括可互相盖合的上盖板和底板，上盖板的下平面上设有凸台，底板的上平面上设有凹槽，上盖板上开设有门极条辐照孔，底板上设有可控硅放置孔，门极条辐照孔的中心位置与可控硅放置孔的中心位置相对应，门极条辐照孔包括圆形的中心槽孔和方形的条状槽孔，条状槽孔对称设置在中心槽孔两边。通过在上盖板上开设门极条辐照孔，对可控硅上的门极条位置进行辐照，精准控制辐照范围，达到特定形状门极条的局部辐照效果。本装置结构简单易于制造，上盖板与底板开合时定位精准，单手即可操作，使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种可控硅门极条的辐照加工工装


[0001]本技术涉及可控硅芯片制造
，特别涉及一种可控硅门极条的辐照加工辅助装置。

技术介绍

[0002]可控硅是一种大功率电器元件，也称作晶闸管，具有体积小、效率高、使用寿命长的优点，在自动控制系统中，可作为大功率驱动器件，实现小功率控件控制大功率设备的作用。可控硅的门极是阴极和阳极之外的第三极，用于控制可控硅的通断，当门极电位达到一定的正电压时，可控硅处于导通状态，低于该正电压时，可控硅处于关断状态。
[0003]在可控硅的生产制作中，需要根据客户的不同需求对可控硅门极进行辐照，以提高器件的耐压，减小漏电流，改善可控硅的电学性能，提高门极的触发电流，现有的一些辐照工艺是不使用辅助工装的，整个可控硅都暴露在辐照源下，这会导致辐照面积大，门极以外不需要辐照的地方也被辐照到而导致可控硅废品，针对这一点在以往的工作中已经做出改进，而针对不同形状的门极还需要设计相应的辐照辅助工件，以达到预期的辐照效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术中的缺陷，提供一种可控硅门极条的辐照加工工装，具有结构简单，使用方便，达到门极条的局部辐照效果。
[0005]本技术的目的是这样实现的：一种可控硅门极条的辐照加工工装，包括可互相盖合的上盖板和底板，所述上盖板的下平面上设有凸台，所述底板的上平面上设有凹槽，所述上盖板上开设有门极条辐照孔，所述底板上设有用于存放可控硅芯片的可控硅放置孔，所述门极条辐照孔为方形的条状槽孔，所述条状槽孔的中心位置与所述可控硅放置孔的中心位置相对应。
[0006]本技术工作时，通过在上盖板上开设门极条辐照孔，对可控硅上的门极条位置进行辐照，精准控制辐照范围，达到特定形状门极条的局部辐照效果。与现有技术相比，本装置结构简单易于制造，上盖板与底板开合时定位精准，单手即可操作，使用方便。
[0007]进一步地，所述门极条辐照孔阵列排布设置在上盖板上，所述可控硅放置孔与所述门极条辐照孔对应设置，所述门极条辐照孔的长度不小于可控硅芯片的直径，确保电子射线通过门极条辐照孔完全打在可控硅上，完成条状门极的辐照，且可以同时对多个可控硅进行辐照，加快辐照速度，提高生产效率。
[0008]进一步地，所述凸台与凹槽上对应设有定位用的倒角，通过倒角使上盖板与底板定位卡合、安装快捷，提高工作效率。
[0009]进一步地，所述上盖板的一个侧边上设有用于掀开上盖板的提手，通过提手可以单手完成上盖板与底板之间的安装与拆卸，使用方便。
[0010]进一步地，所述上盖板和底板由可阻挡电子射线通过的金属材料制成，确保电子射线不会通过，减少废品率。
[0011]进一步地，所述上盖板下平面上凸台的高度与所述底板上平面上凹槽的高度一致，确保上盖板与底板完全卡合，不留缝隙。
附图说明
[0012]图1为本技术的上盖板的下视图。
[0013]图2为本技术的底板的结构示意图。
[0014]图3为本技术的剖面结构示意图一。
[0015]图4为图3中A处的放大示意图。
[0016]图5为本技术的剖面结构示意图二。
[0017]图6为图5中B处的放大示意图。
[0018]上图中，1上盖板，2底板，3凸台，4凹槽，5可控硅放置孔，6门极条辐照孔，7倒角，8提手，9可控硅芯片。
具体实施方式
[0019]如图1~6所示的一种可控硅门极条的辐照加工工装，包括可互相盖合的上盖板1和底板2，上盖板1的下平面上设有凸台3，底板3的上平面上设有凹槽4，上盖板1上开设有门极条辐照孔6，底板2上设有用于存放可控硅芯片9的可控硅放置孔5，门极条辐照孔6为方形的条状槽孔，条状槽孔的中心位置与可控硅放置孔5的中心位置相对应。
[0020]门极条辐照孔6阵列排布设置在上盖板1上，可控硅放置孔5与门极条辐照孔6对应设置，门极条辐照孔6的长度大于可控硅芯片9的直径，如图3、4所示；门极条辐照孔6的长度也可以与可控硅芯片9的直径相等，如图5、6所示，确保电子射线通过门极条辐照孔6完全打在可控硅芯片9上，完成条状门极的辐照，且可以同时对多个可控硅芯片9进行辐照，加快辐照速度，提高生产效率。
[0021]凸台3与凹槽4上对应设有定位用的倒角7，通过倒角7使上盖板1与底板2定位卡合、安装快捷，提高工作效率。
[0022]上盖板1的一个侧边上设有用于掀开上盖板1的提手8，通过提手8可以单手完成上盖板1与底板2之间的安装与拆卸，使用方便。
[0023]上盖板1和底板2由可阻挡电子射线通过的金属材料制成，确保电子射线不会通过，减少废品率。
[0024]上盖板1下平面上凸台3的高度与底板2上平面上凹槽4的高度一致，确保上盖板1与底板2完全卡合，不留缝隙。
[0025]本技术工作时，将可控硅芯片9放置在底板2上的可控硅放置孔5内，使可控硅芯片9中心与可控硅放置孔5的中心对齐放置，接着将上盖板1盖合在底板2上，盖合时，通过上盖板1与底板2上的倒角8可以快速对准位置，避免反复调试方向，加快操作速度；盖合上之后，上盖板1上门极条辐照孔6形成可供电子射线穿过的通道，在进行辐照时，高能电子束穿过门极条辐照孔6，对下方的可控硅芯片9进行局部门极辐照，上盖板1及底板2均由可阻挡电子射线通过的金属材料制成，除门极条辐照孔6以外的位置均不能使电子射线穿过，从而实现特定形状门极条的辐照，达到门极条的局部辐照效果；辐照完成后，通过提手8可以方便地从底板2上拆出上盖板1，再从底板2上取出可控硅芯片9，操作方便，适用于条状门极
的辐照工装中使用。
[0026]本技术并不局限于上述实施例，在本技术公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本技术的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可控硅门极条的辐照加工工装，包括可互相盖合的上盖板和底板，所述上盖板的下平面上设有凸台，所述底板的上平面上设有凹槽，其特征在于：所述上盖板上开设有门极条辐照孔，所述底板上设有用于存放可控硅芯片的可控硅放置孔，所述门极条辐照孔为方形的条状槽孔，所述条状槽孔的中心位置与所述可控硅放置孔的中心位置相对应。2.根据权利要求1所述的一种可控硅门极条的辐照加工工装，其特征在于：所述门极条辐照孔阵列排布设置在上盖板上，所述可控硅放置孔与所述门极条辐照孔对应设置，所述门极条辐照孔的长度不小于可控硅芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟建青，华宁，宋坚，钱小娟，李兆金，
申请(专利权)人：扬州扬福科技有限公司，
类型：新型
国别省市：