下载一种可控硅门极条的辐照加工工装的技术资料

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本实用新型公开了可控硅芯片制造技术领域的一种可控硅门极条的辐照加工工装,包括可互相盖合的上盖板和底板,上盖板的下平面上设有凸台,底板的上平面上设有凹槽,上盖板上开设有门极条辐照孔,底板上设有可控硅放置孔,门极条辐照孔的中心位置与可控硅放置孔...
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