一种微机械陀螺仪及电子产品制造技术

本发明专利技术提供一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块和耦合部件，第一质量块设置有多个，沿第一方向，多个第一质量块分别位于第二质量块的相对两侧；耦合部件包括耦合连杆和连接于耦合连杆两端的多个连接梁，连接梁为柔性梁，耦合部件位于第一质量块和第二质量块之间，并将第一质量块和第二质量块连接，其中，连接于耦合连杆一端的连接梁与第一质量块连接，连接于耦合连杆另一端的连接梁与第二质量块连接。该种微机械陀螺仪及电子产品，通过耦合连杆的设置，能够使得第一质量块和第二质量块之间实现强耦合，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种微机械陀螺仪及电子产品


[0001]本专利技术涉及陀螺仪
，尤其涉及一种微机械陀螺仪及电子产品。

技术介绍

[0002]微机械陀螺仪是应用微机械加工技术与微电子工艺制作的一种微型角速度传感器。微机械陀螺仪的驱动模态绕垂直于质量块的轴摆动。当施加角速度时，由于哥氏效应，陀螺仪将能量传递到检测模态，使质量块在相对驱动下在面外摆动。通过检测质量块面外摆动的位移即可获取角速度大小。
[0003]现有技术中的微机械陀螺仪，质量块之间弱耦合，无法保证质量块的位移比。
[0004]因此，有必要提供一种新的微机械陀螺仪以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种微机械陀螺仪及电子产品，能够使得第一质量块和第二质量块之间实现强耦合，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性。
[0006]本专利技术的技术方案如下：
[0007]本专利技术第一方面提供一种微机械陀螺仪，包括：
[0008]第一质量块和第二质量块，所述第一质量块设置有多个，沿第一方向，多个所述第一质量块分别位于所述第二质量块的相对两侧；
[0009]耦合部件，包括耦合连杆和连接于所述耦合连杆两端的多个连接梁，所述连接梁为柔性梁，所述耦合部件位于所述第一质量块和所述第二质量块之间，并将所述第一质量块和所述第二质量块连接，其中，连接于所述耦合连杆一端的所述连接梁与所述第一质量块连接，连接于所述耦合连杆另一端的所述连接梁与所述第二质量块连接。
[0010]在一种可能的设计中，所述第一质量块通过多个所述耦合部件与所述第二质量块连接。
[0011]在一种可能的设计中，沿与所述第一方向垂直的第二方向，所述第一质量块具有第一端和第二端，所述第一端通过所述耦合部件与所述第二质量块连接，所述第二端通过另一所述耦合部件与所述第二质量块连接。
[0012]在一种可能的设计中，位于所述第二质量块相对两侧的多个所述第一质量块沿所述第一方向互相对称。
[0013]在一种可能的设计中，位于所述第二质量块相对两侧的多个所述耦合部件沿所述第一方向互相对称。
[0014]在一种可能的设计中，还包括多个驱动件、多个解耦件和多个耦合梁，沿与所述第一方向垂直的第二方向，多个所述解耦件相对设置，且所述第一质量块和所述第二质量块位于多个所述解耦件之间，所述解耦件和与其相对设置的每个所述第一质量块之间均通过所述耦合梁连接，每个所述解耦件均连接有多个所述驱动件。
[0015]在一种可能的设计中，与同一所述解耦件连接的多个所述耦合梁沿所述第一方向
互相对称，位于所述第一质量块相对两侧的多个所述耦合梁沿所述第二方向互相对称，位于所述第一质量块和所述第二质量块一侧的所述解耦件以及与其连接的所述驱动件，和位于所述第一质量块和所述第二质量块另一侧的所述解耦件以及与其连接的所述驱动件沿第二方向互相对称，且与同一所述解耦件连接的多个所述驱动件沿所述第一方向互相对称。
[0016]在一种可能的设计中，还包括多个第一锚点，每个所述解耦件均对应设置有多个所述第一锚点，所述驱动件的一端与所述解耦件连接，另一端与所述第一锚点连接。
[0017]在一种可能的设计中，还包括多个第二锚点、第一扭转梁和第二扭转梁，所述第一扭转梁和所述第二扭转梁均为柔性梁，所述第一质量块的中心区域设置有第一通孔，所述第二质量块的中心区域设置有第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔内均设置有所述第二锚点，所述第一通孔的内壁通过所述第一扭转梁与位于所述第一通孔内的所述第二锚点连接，所述第二通孔的内壁通过所述第二扭转梁与位于所述第二通孔内的所述第二锚点连接。
[0018]本专利技术第二方面还提供一种电子产品，所述电子产品包括：
[0019]本体；
[0020]以上所述的微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪安装于所述本体。
[0021]本专利技术的有益效果在于：
[0022]本专利技术提供的微机械陀螺仪及电子产品，该种微机械陀螺仪中第一质量块和第二质量块通过耦合连杆以及连接于耦合连杆两端的多个连接梁连接，使得第一质量块和第二质量块之间实现强耦合，在加工误差存在的前提下，保证了第一质量块和第二质量块的位移比，提高微机械陀螺仪对工艺的冗余度，而且相较于现有技术中质量块之间弱耦合的连接方式，强耦合条件下工作模态与干扰模态频差拉大，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性，从而使得电子产品的使用性能得到提升。
【附图说明】
[0023]图1为本专利技术所提供微机械陀螺仪在一种具体实施例中的正视图；
[0024]图2为本专利技术所提供微机械陀螺仪在驱动模态下的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术所提供微机械陀螺仪在检测模态下的结构示意图。
[0026]附图标记：
[0027]1‑
第一质量块；11
‑
第一端；12
‑
第二端；13
‑
第一通孔；
[0028]2‑
第二质量块；21
‑
第二通孔；
[0029]3‑
耦合部件；31
‑
耦合连杆；32
‑
连接梁；
[0030]4‑
驱动件；
[0031]5‑
解耦件；
[0032]6‑
耦合梁；
[0033]71
‑
第一扭转梁；
[0034]72
‑
第二扭转梁；
[0035]81
‑
第一锚点；
[0036]82
‑
第二锚点。
【具体实施方式】
[0037]下面结合附图和实施方式对本专利技术作进一步说明。
[0038]本专利技术提供一种微机械陀螺仪，如图1所示，该种微机械陀螺仪包括第一质量块1、第二质量块2和耦合部件3，第一质量块1设置有多个，沿第一方向Y，多个第一质量块1分别位于第二质量块2的相对两侧；耦合部件3包括耦合连杆31和连接于耦合连杆31两端的多个连接梁32，连接梁32为柔性梁，耦合部件3位于第一质量块1和第二质量块2之间，并将第一质量块1和第二质量块2连接，其中，连接于耦合连杆31一端的连接梁32与第一质量块1连接，连接于耦合连杆31另一端的连接梁32与第二质量块2连接。
[0039]本实施例中，通过耦合连杆31的设置，使得第一质量块1和第二质量块2之间实现强耦合，在加工误差存在的前提下，保证了第一质量块1和第二质量块2的位移比，提高微机械陀螺仪对工艺的冗余度，而且相较于现有技术中质量块之间弱耦合的连接方式，强耦合条件下工作模态与干扰模态频差拉大，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性。
[0040]在一种具体实施例中，第一质量块1通过多个耦合部件3与第二质量块2连接，进一步提高了第一质量块1和第二质量块2之间的耦合强度。
[0041]具体地，如图1所示，沿与第一方向Y垂直的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪包括：第一质量块(1)和第二质量块(2)，所述第一质量块(1)设置有多个，沿第一方向(Y)，多个所述第一质量块(1)分别位于所述第二质量块(2)的相对两侧；耦合部件(3)，包括耦合连杆(31)和连接于所述耦合连杆(31)两端的多个连接梁(32)，所述连接梁(32)为柔性梁，所述耦合部件(3)位于所述第一质量块(1)和所述第二质量块(2)之间，并将所述第一质量块(1)和所述第二质量块(2)连接，其中，连接于所述耦合连杆(31)一端的所述连接梁(32)与所述第一质量块(1)连接，连接于所述耦合连杆(31)另一端的所述连接梁(32)与所述第二质量块(2)连接。2.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于：所述第一质量块(1)通过多个所述耦合部件(3)与所述第二质量块(2)连接。3.根据权利要求2所述的微机械陀螺仪，其特征在于：沿与所述第一方向(Y)垂直的第二方向(X)，所述第一质量块(1)具有第一端(11)和第二端(12)，所述第一端(11)通过所述耦合部件(3)与所述第二质量块(2)连接，所述第二端(12)通过另一所述耦合部件(3)与所述第二质量块(2)连接。4.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于：位于所述第二质量块(2)相对两侧的多个所述第一质量块(1)沿所述第一方向(Y)互相对称。5.根据权利要求4所述的微机械陀螺仪，其特征在于：位于所述第二质量块(2)相对两侧的多个所述耦合部件(3)沿所述第一方向(Y)互相对称。6.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于：还包括多个驱动件(4)、多个解耦件(5)和多个耦合梁(6)，沿与所述第一方向(Y)垂直的第二方向(X)，多个所述解耦件(5)相对设置，且所述第一质量块(1)和所述第二质量块(2)位于多个所述解耦件(5)之间，所述解耦件(5)和与其相对设置的每个所述第一质量块(1)之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨珊，阚枭，占瞻，严世涛，马昭，彭宏韬，钟浩明，潘在祥，黎家健，陈秋玉，李杨，
申请(专利权)人：瑞声开泰科技武汉有限公司，
类型：发明
国别省市：