MEMS扬声器制造技术

本发明专利技术提供了一种MEMS扬声器，其包括：支撑结构，所述支撑结构包括支撑本体以及由所述支撑本体的一端贯穿至其另一端的声孔；振膜，所述振膜固定于所述支撑本体的内周侧且位于所述声孔内，所述振膜用于发出幅度调制的超声波；声学阀，所述声学阀包括周缘固定于所述支撑本体且位于所述声孔内的阀体以及由所述阀体的一端贯穿至其另一端的变截面阀孔；所述变截面阀孔使得其中经过的幅度调制的所述超声波可解调出调制声波。本发明专利技术的MEMS扬声器可以提升声波解调效率和振幅，进而提升其声学性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电声转换，尤其涉及一种mems扬声器。

技术介绍

1、扬声器是一种把电信号转变为声信号的换能器件，扬声器广泛运用于便携式移动电子产品中，比如手机、平板电脑等，用于将音频信号转化为声音播放，便携式移动电子产品的小型化驱使扬声器的小型化越来越广泛。扬声器的声压级(spl)和谐波失真(thd)为声学性能中的重要指标。

2、相关技术的扬声器包括支撑件、固定在支撑件内用于发出对称的超声波的振膜以及间隔设置于所述支撑件远离所述超声振动发声单元一侧的挡板，支撑件靠近所述挡板的一侧贯穿形成通孔，挡板与支撑件间隔形成窄缝，窄缝与通孔连通，而窄缝存在极强的非线性，对称的超声波从这经过会引起畸变，从而解调出可听声。然而，该振膜通过窄缝解调出可听声的效率太低，振幅低，声学性能差。

3、因此，有必要提供一种mems扬声器来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种声波解调效率高，振幅提升效果良好且声学性能优良的mems扬声器。

2、为了达到上述目的，本专利技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，所述MEMS扬声器包括：

2.如权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔的内径不断变化，使得双向流阻呈现非对等效应。

3.如权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔的非对等效应，使得经过其的对称幅度调制的超声波出来后变成非对称声波，所述非对称声波包括所述调制声波。

4.如权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔的纵横面呈V型结构，所述V型结构的角度为1°-89°。

5.如权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔呈多层台阶型结构。...

【技术特征摘要】

1.一种mems扬声器，其特征在于，所述mems扬声器包括：

2.如权利要求1所述的mems扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔的内径不断变化，使得双向流阻呈现非对等效应。

3.如权利要求2所述的mems扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔的非对等效应，使得经过其的对称幅度调制的超声波出来后变成非对称声波，所述非对称声波包括所述调制声波。

4.如权利要求2所述的mems扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔的纵横面呈v型结构，所述v型结构的角度为1°-89°。

5.如权利要求2所述的mems扬声器，其特征在于，所述变截面阀孔呈多层台阶型结构。

6.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：但强，张林欣，储宇芬，惠耀，李杨，
申请(专利权)人：瑞声开泰科技武汉有限公司，
类型：发明
国别省市：