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本发明提供了一种MEMS扬声器,其包括:支撑结构,所述支撑结构包括支撑本体以及由所述支撑本体的一端贯穿至其另一端的声孔;振膜,所述振膜固定于所述支撑本体的内周侧且位于所述声孔内,所述振膜用于发出幅度调制的超声波;声学阀,所述声学阀包括周缘固...该专利属于瑞声开泰科技(武汉)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声开泰科技(武汉)有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种MEMS扬声器,其包括:支撑结构,所述支撑结构包括支撑本体以及由所述支撑本体的一端贯穿至其另一端的声孔;振膜,所述振膜固定于所述支撑本体的内周侧且位于所述声孔内,所述振膜用于发出幅度调制的超声波;声学阀,所述声学阀包括周缘固...