【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于传感器，具体涉及一种加速度传感器。
技术介绍
1、加速度传感器包括用于检测加速度的一个或多个检验质量块。例如，一些加速度传感器包括检验质量块，被配置为在平面内移动以检测检验质量块的平面中的加速度，并且所述检验质量块被配置为移出平面以检测垂直于检验质量块平面的加速度。可以使用耦合到检验质量块的电容传感器来检测加速度。
2、目前加速度传感器在检测面内加速度和面外加速度时，面内检测结构和面外检测结构分别固定于基底，从而使得加速度传感器的整体结构受应力等因素影响较大，不利于提高加速度传感器的抗干扰能力。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种加速度传感器的新技术方案。
2、根据本专利技术的一个方面，提供了一种加速度传感器，包括：
3、第一加速度检测单元，所述第一加速度检测单元用于检测沿面外z轴方向的加速度；第一加速度检测单元包括第一跷跷板单元和第二跷跷板单元，所述第一跷跷板单元与所述第二跷跷板单元相对设置，且...
【技术保护点】
1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一加速度检测单元还包括面外位移检测单元；
3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一跷跷板单元的外侧设置有第一凹槽，所述第二跷跷板单元的内侧设置有第二凹槽，部分所述第一跷跷板单元嵌设于所述第二凹槽内且部分所述第二跷跷板单元嵌设于所述第一凹槽内以形成嵌套结构，所述嵌套结构位于所述第一转轴和所述第二转轴之间。
4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，还包括第一检测质量块和第二检测质量块；
5.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一加速度检测单元还包括面外位移检测单元；
3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一跷跷板单元的外侧设置有第一凹槽，所述第二跷跷板单元的内侧设置有第二凹槽，部分所述第一跷跷板单元嵌设于所述第二凹槽内且部分所述第二跷跷板单元嵌设于所述第一凹槽内以形成嵌套结构，所述嵌套结构位于所述第一转轴和所述第二转轴之间。
4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，还包括第一检测质量块和第二检测质量块；
5.根据权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，还包括耦合梁，所述耦合梁沿垂直于所述对称轴的方向延伸，且所述耦合梁的一端与所述第二子转动部连接，另一端与所述第三子转动部连接。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔令成，严世涛，占瞻，阚枭，马昭，杨珊，李杨，黎家健，陈秋玉，
申请(专利权)人：瑞声开泰科技武汉有限公司，
类型：发明
国别省市：
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