下载一种加速度传感器的技术资料

文档序号:41128010

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本发明提供一种加速度传感器,包括第一加速度检测单元、第二加速度检测单元、基底、连接臂、第一锚点、第一弹性件和第二弹性件;所述第一加速度检测单元用于检测沿面外Z轴方向的加速度;第一加速度检测单元包括第一跷跷板单元和第二跷跷板单元,所述第一跷跷...
该专利属于瑞声开泰科技(武汉)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声开泰科技(武汉)有限公司授权不得商用。

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