一种新型腔光机械式微半球陀螺仪制造技术

本发明专利技术公开一种新型腔光机械式微半球陀螺仪，应用于惯性测量领域，针对传统微半球陀螺仪中存在的加工工艺复杂、制作成本高、成品率低、可靠性差等关键技术难题；本发明专利技术采用腔光力系统进行驱动与检测，其结构简单，区别于传统的电极驱动与检测不需要表面金属化，降低了整体加工难度；本发明专利技术用腔光力系统代替了传统的电容检测结构，显著提高了检测微弱角速度的能力，从而提高了角速度探测灵敏度；本发明专利技术利用腔光力系统独有的光弹性效应提供微半球谐振子的机械品质因数。谐振子的机械品质因数。谐振子的机械品质因数。

【技术实现步骤摘要】
一种新型腔光机械式微半球陀螺仪


[0001]本专利技术属于惯性测量领域，特别涉及一种微陀螺仪。

技术介绍

[0002]随着物联网的不断发展和微纳技术带来的低成本优势，惯性测量单元尤其是微陀螺仪在生物医学、工业生产、科研研究和国家安全等方面有着广泛且重要的应用。同时低成本、高性能的微陀螺仪在军民领域都有着重要的应用价值：可用于高精度探测、导航及定位等领域。
[0003]基于传统微机电系统(MEMS)技术的陀螺仪具有体积小、功耗低、成本低、可批量生产等特点，然而基于传统MEMS技术的微陀螺仪在测量稳定性、测量精度、满量程范围等性能指标上，以及在加工成本、器件体积、环境稳定性等方面有着各自的优缺点，且各性能指标相互制约，难以进一步通过传统MEMS技术突破其精度/稳定性
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带宽相互制约限制，以及难以进一步突破其性能与成本相互制约的特点，导致其在发展上存在一定的技术瓶颈问题。而振动式MEMS陀螺仪是当前发展前景最好、应用最广泛的一类MEMS陀螺仪。近年来，通过材料和结构创新制造高性能振动式MEMS陀螺仪正成为主要发展趋势。目前，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型腔光机械式微半球陀螺仪，其特征在于，包括：微半球谐振子、矩形基板、腔光力系统；微半球谐振子包括：半球壳体、环边、支撑杆、环形支撑梁，所述环边通过环形支撑梁与半球壳体相连，半球壳体通过支撑杆固定在矩形基板上；矩形基板长宽均大于环边外径；沿环边在矩形基板上布置二氧化硅波导构成腔光力系统。2.根据权利要求1所述的一种新型腔光机械式微半球陀螺仪，其特征在于，所述腔光力系统包括驱动模态腔光力系统与检测模态腔光力系统，驱动模态腔光力系统与检测模态腔光力系统中的二氧化硅波导数量相同。3.根据权利要求2所述的一种新型腔光机械式微半球陀螺仪，其特征在于，驱动模态腔光力系统与检测模态腔光力系统中的二氧化硅波导数量取值为1或2或3或4。4.根据权利要求3所述的一种新型腔光机械式微半球陀螺仪，其特征在于，驱动模态腔光力系统中的任意二氧化硅波导与检测模态腔光力系统中的任意二氧化硅波导...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄勇军，黄文逸，闫兴，张森宇，陈鼎威，文光俊，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：