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本发明公开一种新型腔光机械式微半球陀螺仪，应用于惯性测量领域，针对传统微半球陀螺仪中存在的加工工艺复杂、制作成本高、成品率低、可靠性差等关键技术难题；本发明采用腔光力系统进行驱动与检测，其结构简单，区别于传统的电极驱动与检测不需要表面金属化...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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