本实用新型专利技术涉及激光设备的技术领域，公开了一种振镜精度矫正装置及其激光设备，包括网格矫正板和控制器；网格矫正板包括上网格层和下感应层，下感应层位于上网格层的对应下方，上网格层包括多个沿第一方向和第二方向等间隔设置的进光孔，第一方向和第二方向垂直，下感应层包括多个用于感应从进光孔投射进入的激光光斑的光斑感应件，光斑感应件用于监测激光光斑的中心位置，光斑感应件的感应中心与进光孔同轴设置；控制器包括用于与X轴振镜和Y轴振镜电连接的控制模块和通信模块，光斑感应件与通信模块电连接，控制模块与通信模块电连接。本实用新型专利技术的振镜精度矫正装置及其激光设备，避免矫正消耗品，提升矫正速度。提升矫正速度。提升矫正速度。
【技术实现步骤摘要】
一种振镜精度矫正装置及其激光设备
[0001]本技术涉及激光设备的
，特别是涉及一种振镜精度矫正装置及其激光设备。
技术介绍
[0002]激光标刻系统是通过标刻软件控制振镜两个电机偏转控制激光束的摆动，同时激光束通过场镜聚焦，在加工面上进行标刻。由于振镜自身结构加工公差及其装配工艺、光学误差等因素，振镜的标刻精度在使用前需要校准。用于此校准的概念和算法是围绕振镜的实际偏转定位坐标值与理论偏转坐标值之间的偏差值进行构建。为了补偿这些误差，通过代入反向偏差值补偿在标刻控制软件改变振镜的物理系统坐标。为了找到合适的补偿的反向偏差值，需要精确地测量激光标刻系统控制振镜标刻时的误差。
[0003]现有的激光标刻系统的偏差值是通过在加工件的标记范围内均匀分布的十字或圆阵列进行标记来完成的。基于预期的范围，确定行数和列数。在加工件激光加工后，使用相机和图像处理软件测量标记位置的偏差值。然后，通过偏差值更新激光设备的标刻软件内部的补偿值。这种振镜矫正方法使用消耗品，矫正速度慢。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是：提供一种振镜精度矫正装置及其激光设备，避免矫正消耗品，提升矫正速度。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供了一种振镜精度矫正装置，包括网格矫正板和控制器；
[0006]所述网格矫正板包括上网格层和下感应层，所述下感应层位于所述上网格层的对应下方，所述上网格层包括多个沿第一方向和第二方向等间隔设置的进光孔，所述第一方向和所述第二方向垂直，所述下感应层包括多个用于感应从所述进光孔投射进入的激光光斑的光斑感应件，所述光斑感应件用于监测激光光斑的中心位置，所述光斑感应件的感应中心与所述进光孔同轴设置；
[0007]所述控制器包括用于与X轴振镜和Y轴振镜电连接的控制模块和通信模块，所述光斑感应件与所述通信模块电连接，所述控制模块与所述通信模块电连接。
[0008]作为优选方案，所述网格矫正板包括中间隔层，上网格层与所述下感应层之间通过所述中间隔层连接，所述中间隔层开设有连通孔，所述连通孔的两端所述进光孔和所述光斑感应件连通，所述连通孔的直径大于所述进光孔的直径。
[0009]作为优选方案，所述连通孔设置有多个，所述连通孔的两端分别与位置对应的所述进光孔和所述光斑感应件连通。
[0010]作为优选方案，所述进光孔沿所述第一方向等间隔设置N个形成基础列，所述基础列沿所述第二方向等间隔设置多列。
[0011]作为优选方案，所述下感应层连接有调整座，所述调整座包括直线调节座和角度
调节座，所述角度调节座转动连接于所述直线调节座的上方或下方，所述直线调节座包括底层调节座、中层调节座和顶层调节座，所述中层调节座滑动连接于所述底层调节座和所述顶层调节座之间，所述中层调节座与所述底层调节座沿所述第一方向相对滑动，所述中层调节座与所述顶层调节座沿所述第二方向相对滑动。
[0012]作为优选方案，所述底层调节座固定连接有底层调节凸块，所述底层调节凸块转动连接有底层调节杆，所述底层调节杆沿所述第一方向设置，所述中层调节座连接有中层固定块和中层调节凸块，所述底层调节杆抵顶所述中层固定块设置，所述中层调节凸块连接有中层调节杆，所述中层调节杆沿所述第二方向设置，所述顶层调节座连接有顶层固定块，所述中层调节杆抵顶所述顶层固定块。
[0013]作为优选方案，所述底层调节座设有第一导向块，所述第一导向块的第一端固定于中层调节座，所述第一导向块的第二端向上延伸并抵贴所述中层调节座，所述中层调节座固定有第一导向柱，所述第一导向块的第二端开设有第一导向槽，所述第一导向柱滑动安装于所述第一导向槽；
[0014]所述中层调节座设有第二导向块，所述第二导向块的第一端固定于中层调节座，所述第二导向块的第二端向上延伸并抵贴所述顶层调节座，所述顶层调节座固定有第二导向柱，所述第二导向块的第二端开设有第二导向槽，所述第二导向柱滑动安装于所述第二导向槽。
[0015]作为优选方案，所述角度调节座包括上调节座和下调节座，所述上调节座同轴转动连接于所述下调节座，所述下调节座固定于所述顶层调节座的顶面，所述上调节座固定有上固定块，所述下调节座连接有下调节凸块，所述下调节凸块转动连接有下调节杆，所述下调节杆抵顶所述上固定块。
[0016]作为优选方案，所述上调节座和所述下调节座均为圆柱形，所述下调节座设有弧形导向块，所述弧形导向块的第一端固定于所述下调节座，所述弧形导向块的第二端向上延伸并抵贴于所述上调节座的侧面。
[0017]一种激光设备，包括激光器、振镜座和所述的振镜精度矫正装置，所述振镜座内转动连接有Y轴振镜和X轴振镜，所述Y轴振镜和所述X轴振镜分别与所述控制模块电连接，所述振镜座开设有出光口，所述出光口连接有场镜，所述网格矫正板位于所述场镜的下方。
[0018]本技术实施例一种振镜精度矫正装置及其激光设备与现有技术相比，其有益效果在于：上网格层开设有进光孔，各进光孔的直径相同，激光装置上的发出的激光通过进光孔进入下感应层，激光通过进光孔投射在下感应层中形成激光光斑。通过光斑感应件检测激光光斑的中心位置，光斑感应件通过光斑感应件检测得到激光光斑的中心位置与孔坐标点之间的偏移量，光斑感应件获取偏移量信息通过通信模块传送至控制器，通过控制模块调整X轴振镜和Y轴振镜的偏移量，进而实现对振镜进行矫正，本技术的矫正装置避免矫正消耗品，提升矫正速度。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例的整体结构示意图。
[0020]图2是本技术实施例网格矫正板的结构示意图。
[0021]图3是本技术实施例网格矫正板的结构剖视图。
[0022]图4是本技术实施例图3A处的结构示意图。
[0023]图5是本技术实施例调整座的结构示意图。
[0024]图6是本技术实施例角度调节座的结构示意图。
[0025]图7是本技术实施例直线调节座的结构示意图。
[0026]图8是本技术实施例进光孔5行x5列间距10mm生成的理论阵列坐标表。
[0027]图9是本技术实施例进光孔5行x5列间距10mm生成的实际阵列坐标表。
[0028]图10是本技术实施例激光光束与进光孔重合的结构状态示意图。
[0029]图11是本技术实施例激光光束部分位于进光孔内的结构状态示意图。
[0030]图12是本技术实施激光光束位于进光孔外的结构状态示意图。
[0031]图中：
[0032]10、网格矫正板；11、上网格层；12、进光孔；13、下感应层；14、光斑感应件；15、中间隔层；16、连通孔；
[0033]20、调整座；21、角度调节座；22、直线调节座；
[0034]30、底层调节座；31、底层调节凸块；32、底层调节杆；33、第一导向块；34、第一导向槽；
[0035]40、中层调节座；41、中层固定块本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种振镜精度矫正装置，其特征在于：包括网格矫正板和控制器；所述网格矫正板包括上网格层和下感应层，所述下感应层位于所述上网格层的对应下方，所述上网格层包括多个沿第一方向和第二方向等间隔设置的进光孔，所述第一方向和所述第二方向垂直，所述下感应层包括多个用于感应从所述进光孔投射进入的激光光斑的光斑感应件，所述光斑感应件用于监测激光光斑的中心位置，所述光斑感应件的感应中心与所述进光孔同轴设置；所述控制器包括用于与X轴振镜和Y轴振镜电连接的控制模块和通信模块，所述光斑感应件与所述通信模块电连接，所述控制模块与所述通信模块电连接。2.根据权利要求1所述的振镜精度矫正装置，其特征在于：所述网格矫正板包括中间隔层，上网格层与所述下感应层之间通过所述中间隔层连接，所述中间隔层开设有连通孔，所述连通孔的两端所述进光孔和所述光斑感应件连通，所述连通孔的直径大于所述进光孔的直径。3.根据权利要求2所述的振镜精度矫正装置，其特征在于：所述连通孔设置有多个，所述连通孔的两端分别与位置对应的所述进光孔和所述光斑感应件连通。4.根据权利要求1所述的振镜精度矫正装置，其特征在于：所述进光孔沿所述第一方向等间隔设置N个形成基础列，所述基础列沿所述第二方向等间隔设置多列。5.根据权利要求1所述的振镜精度矫正装置，其特征在于：所述下感应层连接有调整座，所述调整座包括直线调节座和角度调节座，所述角度调节座转动连接于所述直线调节座的上方或下方，所述直线调节座包括底层调节座、中层调节座和顶层调节座，所述中层调节座滑动连接于所述底层调节座和所述顶层调节座之间，所述中层调节座与所述底层调节座沿所述第一方向相对滑动，所述中层调节座与所述顶层调节座沿所述第二方向相对滑动。6.根据权利要求5所述的振镜精度矫正装置，其特征在于：所述底层调节座固定连接有底层调节凸块，所述底层调节凸块转动连接有底层调节杆，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨睿卓，
申请(专利权)人：镭诺光电科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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