本实用新型专利技术公开了一种视镜冷却水的缓冲装置及还原炉，涉及多晶硅技术领域，主要目的是维持视镜夹层结构的冷却水压力的稳定性，避免视镜爆裂。本实用新型专利技术的主要技术方案为：视镜冷却水的缓冲装置，该装置包括：中心管、柔性套管和壳体套管；所述中心管的管壁均布有多个泄压孔，所述中心管的两端分别连接于视镜夹层冷却水管路；所述柔性套管套接于所述中心管，所述柔性套管的内表面覆盖多个所述泄压孔；所述壳体套管套接于所述柔性套管，所述壳体套管的两端口向所述中心管的管壁收紧，用于将所述柔性套管固定在所述壳体套管和所述中心管之间，所述柔性套管和所述壳体套管之间的空间填充有缓冲气体。充有缓冲气体。充有缓冲气体。
【技术实现步骤摘要】
视镜冷却水的缓冲装置及还原炉
[0001]本技术涉及多晶硅
，尤其涉及一种视镜冷却水的缓冲装置及还原炉。
技术介绍
[0002]在多晶硅生产中硅棒在还原炉内生长，生长好的硅棒在还原炉内降温到一定温度后需要将还原炉钟罩拆掉取硅棒。拆还原炉钟罩时需要关闭钟罩各冷却水阀门后再拆除冷却水连接管路。但在拆除过程中，钟罩内的硅棒温度还有很高的温度，该温度足够让封闭在钟罩各冷却水结构内的水温度升高汽化使封闭结构内的压力升高，其次是封闭的冷却水在钟罩清洗过程中温度会降低形成负压。还原炉视镜是由两块石英玻璃制作，两块石英玻璃之间需要通冷却水冷却。现有的视镜冷却水系统只有相应的管路和阀门，当封闭的视镜冷却水压力过高或过低时会导致还原炉视镜无法承受此压力而爆裂，因此会产生一定的安全隐患。
[0003]现有的技术为最后关闭视镜夹层结构处水路并拆除相关联管道，保证在最短的时间段内将钟罩拆掉吊离硅棒，避免视镜长时间在封闭水路的情况下受硅棒高温烘烤。
[0004]但是，现有技术还是存在如下缺点：
[0005](1)视镜夹层结构在封闭水路后没有缓冲泄压结构；
[0006](2)视镜夹层结构在水温降低时容易形成负压环境，损坏视镜；
[0007](3)遇到突发情况，钟罩无法及时吊离时，还使视镜因长时间高温烘烤而破裂。
技术实现思路
[0008]有鉴于此，本技术提供一种视镜冷却水的缓冲装置及还原炉，主要目的是维持视镜夹层结构的冷却水压力的稳定性，避免视镜爆裂。
[0009]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0010]一方面，本技术提供了一种视镜冷却水的缓冲装置，该装置包括：中心管、柔性套管和壳体套管；
[0011]所述中心管的管壁均布有多个泄压孔，所述中心管的两端分别连接于视镜夹层冷却水管路；
[0012]所述柔性套管套接于所述中心管，所述柔性套管的内表面覆盖多个所述泄压孔；
[0013]所述壳体套管套接于所述柔性套管，所述壳体套管的两端口向所述中心管的管壁收紧，用于将所述柔性套管固定在所述壳体套管和所述中心管之间，所述柔性套管和所述壳体套管之间的空间填充有缓冲气体。
[0014]本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0015]可选的，还包括两个锁紧螺母，所述柔性套管的两端分别延伸至所述壳体套管的外部，两个所述锁紧螺母分别螺纹连接于所述中心管的相对端，用于将所述柔性套管的两端抵紧于所述壳体套管的端部外侧。
[0016]可选的，所述柔性套管的两端外侧分别设有卡槽，所述壳体套管的两端口分别抵进所述卡槽内。
[0017]可选的，所述壳体套管的管壁连接于充气管，所述充气管设有充气阀。
[0018]另一方面，本技术还提供了一种还原炉，其包括：钟罩及前述视镜冷却水的缓冲装置。
[0019]借由上述技术方案，本技术至少具有下列优点：
[0020]当还原炉正常运行时，外界冷却水依次通过还原炉视镜夹层结构和中心管。在拆卸还原炉钟罩，关闭视镜夹层冷却水管路进水阀门、回水阀门后。
[0021]封闭的视镜冷却水管路内的水接受硅棒的高温热量，水压逐渐升高，当水压高于柔性套管和壳体套管之间的气压时，中心管内的水通过多个泄压孔，占据中心管和壳体套管之间的部分空间，膨胀柔性套管的体积，压缩缓冲气体的体积，从而缓解水压的升高，避免高压水压裂视镜。
[0022]后续，还原炉钟罩拆卸下来，钟罩温度降低后，封闭的视镜冷却水管路内的水体积收缩，柔性套管和壳体套管之间的缓冲气体体积膨胀，压迫中心管外部的水通过泄压孔回到中心管内，补充封闭的视镜冷却水管路内的水压，防止低温造成视镜夹层结构内形成负压，损坏视镜。
附图说明
[0023]图1为本技术实施例提供的一种还原炉的剖面图；
[0024]图2为图1中A部分的放大图；
[0025]图3为视镜冷却水的缓冲装置(冷却水降温时)的轴向剖面图；
[0026]图4为视镜冷却水的缓冲装置(冷却水升温时)的轴向剖面图。
[0027]说明书附图中的附图标记包括：中心管1、柔性套管2、壳体套管3、泄压孔4、锁紧螺母5、充气管6、充气阀7、视镜夹层8、钟罩9。
具体实施方式
[0028]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0029]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0030]如图1至图4所示，一方面，本技术的一个实施例提供的一种视镜冷却水的缓冲装置，其包括：中心管1、柔性套管2和壳体套管3；
[0031]所述中心管1的管壁均布有多个泄压孔4，所述中心管1的两端分别连接于视镜夹层8冷却水管路；
[0032]所述柔性套管2套接于所述中心管1，所述柔性套管2的内表面覆盖多个所述泄压孔4；
[0033]所述壳体套管3套接于所述柔性套管2，所述壳体套管3的两端口向所述中心管1的管壁收紧，用于将所述柔性套管2固定在所述壳体套管3和所述中心管1之间，所述柔性套管
2和所述壳体套管3之间的空间填充有缓冲气体。
[0034]视镜冷却水的缓冲装置工作过程如下:
[0035]当还原炉正常运行时，外界冷却水依次通过还原炉视镜夹层8结构和中心管1。在拆卸还原炉钟罩9，关闭视镜夹层8冷却水管路进水阀门、回水阀门后。
[0036]封闭的视镜冷却水管路内的水接受硅棒的高温热量，水压逐渐升高，当水压高于柔性套管2和壳体套管3之间的气压时，中心管1内的水通过多个泄压孔4，占据中心管1和壳体套管3之间的部分空间，膨胀柔性套管2的体积，压缩缓冲气体的体积，从而缓解水压的升高，避免高压水压裂视镜。
[0037]后续，还原炉钟罩9拆卸下来，钟罩9温度降低后，封闭的视镜冷却水管路内的水体积收缩，柔性套管2和壳体套管3之间的缓冲气体体积膨胀，压迫中心管1外部的水通过泄压孔4回到中心管1内，补充封闭的视镜冷却水管路内的水压，防止低温造成视镜夹层8结构内形成负压，损坏视镜。
[0038]在本技术的技术方案中，通过柔性套管2形状适应性的变化，维持视镜夹层8结构的冷却水压力的稳定性，避免视镜爆裂。
[0039]具体的，本缓冲装置的中心管1安装于视镜夹层8冷却水管路的回水管道上，视镜夹层8冷却水管路进水管道安装有进水阀门，视镜夹层8冷却水管路回水管道安装有回水阀门，中心管1和视镜夹层8结构均位于进水阀门和回水阀门之间。
[0040]具体的，壳体套管3的两端口向内弧形弯曲，将柔性套管2的两端挤紧于中心管1的管壁。
[0041]具体，柔性套管2采用橡本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种视镜冷却水的缓冲装置，其特征在于，包括：中心管，所述中心管的管壁均布有多个泄压孔，所述中心管的两端分别连接于视镜夹层冷却水管路；柔性套管，所述柔性套管套接于所述中心管，所述柔性套管的内表面覆盖多个所述泄压孔；壳体套管，所述壳体套管套接于所述柔性套管，所述壳体套管的两端口向所述中心管的管壁收紧，用于将所述柔性套管固定在所述壳体套管和所述中心管之间，所述柔性套管和所述壳体套管之间的空间填充有缓冲气体。2.根据权利要求1所述的视镜冷却水的缓冲装置，其特征在于，还包括两个锁紧螺母，所述柔...
【专利技术属性】
技术研发人员：刁栋，杨泽天，郑海洪，张华，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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