本实用新型专利技术公开一种用于多晶硅生产的通风装置和多晶硅生产系统。本通风装置包括：风机和监控单元。风机通过通风管道与还原车间气体连通，用于对还原车间进行通风，还原车间内布置有还原炉，还原炉具有两种状态，分别为炉筒打开的状态和炉筒扣合的状态，通风管道上设置有切断阀组件，切断阀组件用于控制通风管道的开启/关闭，监控单元安装于还原车间内，并与切断阀组件电性连接，用于监控还原炉，以获取还原炉的状态图片，并根据状态图片来判断还原炉的状态，以及，在判断还原炉处于炉筒打开的状态时，控制切断阀组件关闭。本通风装置能够对还原车间进行通风降温，还能够在还原炉拆炉和装炉时，自动关闭通风管道，以减少飞扬的粉尘。尘。尘。
【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅生产的通风装置和多晶硅生产系统
[0001]本技术属于多晶硅
，具体涉及一种用于多晶硅生产的通风装置以及包含该通风装置的多晶硅生产系统。
技术介绍
[0002]目前，国内外的主流多晶硅生产技术是改良西门子法。该工艺技术是在还原炉内安装一定数量的硅芯，然后将三氯氢硅与氢气按照一定比例混合后进入还原炉内，在通电高温硅芯上发生化学气相沉积反应得到高纯棒状多晶硅。当硅棒棒径达到一定尺寸后，还原炉停炉，由人工将硅棒拆除送至成品车间破碎装箱。
[0003]在对还原车间进行通风的过程中，多晶硅的质量可能会受到影响。对于多晶硅质量影响较大阶段主要是拆炉过程和装炉过程，还原炉拆炉和装炉均需要将炉筒打开后进行操作。在安装硅芯的过程中要确保周边环境洁净，减少空气中悬浮粒子的漂浮，避免硅芯收到污染。在拆除高纯棒状多晶硅的过程中，也要确保环境的洁净，尽量减少周边粉尘的飞扬，降低硅棒表金属杂质的污染。因此，在打开炉筒以拆除反应完成的硅棒和安装新的硅芯之前，车间内的风机均需工作人员手动点停待拆还原炉两侧的风机，减少周边悬浮粒子及粉尘的数量。在还原炉装炉完毕后，工作人员扣合炉筒，再手动开启该还原炉两侧的风机。
[0004]传统的这种需要手动控制启停的风机，增加了现场人员的工作量，同时也可能因人员忙于其他事情，未能及时关闭周边风机，而导致拆/装炉过程带来质量隐患。
技术实现思路
[0005]本技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种用于多晶硅生产的通风装置以及多晶硅生产系统，能够自动对还原车间进行通风降温，还能够在还原炉进行拆炉和装炉的过程中，自动关闭通风管道，以减少飞扬的粉尘，进而降低多晶硅受到的污染。
[0006]根据本技术第一方面的实施例，提供一种用于多晶硅生产的通风装置，包括：风机和监控单元，所述风机通过通风管道与还原车间气体连通，用于对所述还原车间进行通风，所述还原车间内布置有还原炉，所述还原炉具有两种状态，分别为炉筒打开的状态和炉筒扣合的状态，所述通风管道上设置有切断阀组件，所述切断阀组件用于控制所述通风管道的开启/关闭，所述监控单元安装于所述还原车间内，并与所述切断阀组件电性连接，用于监控所述还原炉，以获取所述还原炉的状态图片，并根据所述状态图片来判断所述还原炉的状态，以及，在判断所述还原炉处于炉筒打开的状态时，控制所述切断阀组件关闭。
[0007]优选的，所述通风管道的数量为多条，每条所述通风管道上均设置有切断阀组件，所述装置还包括多个通风口，所述通风口开设于所述还原车间的墙壁上，多个所述通风口沿所述还原车间的长度方向排列设置，所述风机通过多条通风管道分别与多个所述通风口连通，以对所述还原车间进行通风。
[0008]优选的，所述通风管道包括进风道和回风道，所述进风道用于向还原车间内送风，
所述回风道用于抽吸还原车间内的空气，以实现所述还原车间内的空气循环，所述通风口包括第一风口和第二风口，所述进风道与所述第一风口连通，所述回风道与所述第二风口连通，所述切断阀组件包括第一切断阀和第二切断阀，所述第一切断阀和第二切断阀分别设置于所述进风道和所述回风道上，分别用于控制所述进风道和所述回风道的开启/关闭。
[0009]优选的，所述监控单元包括摄像头和控制器，所述摄像头电性连接于所述控制器，所述摄像头安装于所述还原车间内，用于获取所述还原炉的状态图片，并将所述状态图片发送至所述控制器，所述控制器内预存有还原炉处于炉筒打开的状态时的对照图片，用于将所述状态图片与所述对照图片进行对比，以判断所述还原炉是否处于炉筒打开的状态，所述控制器还分别与所述第一切断阀和所述第二切断阀电性连接，用于在判断所述还原炉处于炉筒打开的状态时，向第一切断阀和第二切断阀发出关闭信号，以控制第一切断阀和第二切断阀关闭，以及，在判断所述还原炉处于炉筒扣合的状态时，向第一切断阀和第二切断阀发出开启信号，以控制第一切断阀和第二切断阀开启。
[0010]优选的，包括多个安装位，所述安装位位于所述还原车间内，每相邻的两个通风口之间设置一个所述安装位，每个所述安装位上均安装有一台所述还原炉，且所述安装位上设置有位号标签，所述摄像头用于监控所有还原炉，以获取所有还原炉的状态图片，并将所述状态图片发送至所述控制器，所述状态图片中包含还原炉的所处安装位的位号标签信息，所述控制器还用于根据所述位号标签信息识别出每台还原炉所处的安装位的位号，并判断每个位号的还原炉的状态，所述控制器内还预存有每个安装位的对应的切断阀组件的位置信息，所述对应的切断阀组件为位于所述安装位的左右两侧的通风口所连通的通风管道上的切断阀组件，所述控制器还用于根据所述还原炉的位号来获取所述对应的切断阀组件的位置信息，再根据所述还原炉状态发送开启信号/关闭信号至所述对应的切断阀组件。
[0011]优选的，所述摄像头的数量为多个，所述还原车间内划分为多个监控区域，各个摄像头分别用于监控不同监控区域内的还原炉，所述摄像头安装于所述还原车间的墙壁上，且朝向其所监控的监控区域。
[0012]根据本技术第二方面的实施例，提供一种多晶硅生产系统，包括还原车间，所述还原车间内布置有多台还原炉，所述系统还包括上述的用于多晶硅生产的通风装置，所述还原炉用于制备棒状多晶硅体，所述还原炉包括底盘和炉筒，所述炉筒可拆卸地扣合与所述底盘上，所述通风装置用于，在所述还原炉的炉筒扣合于所述底盘上时，通过监控单元控制所述切断阀组件开启以对所述还原车间进行通风，以及，在所述还原炉的炉筒打开时，控制所述切断阀组件关闭，以结束通风。
[0013]优选的，所述炉筒和所述底盘之间设置有炉腔，所述底盘上插置多根硅芯，所述硅芯均容置于所述炉腔内，所述底盘设有电极，所述电极与所述硅芯电性连接，用于使所述硅芯通电，以使所述硅芯加热至反应温度，所述底盘还开设有进气口，用于通入三氯氢硅与氢气，并使处于反应温度下的硅芯发生化学气相沉积反应，进而使得硅芯上沉积多晶硅，以形成棒状多晶硅体。
[0014]优选的，所述硅芯的反应温度为1050℃～1100℃。
[0015]优选的，所述棒状多晶硅体的直径为150
‑
170mm。
[0016]本技术的通风装置中的风机通过通风管道与还原车间气体连通，从而能够对还原车间进行通风降温。另外，通风装置还通过监控单元来判断还原炉的状态。在还原炉处
于炉筒打开的状态，即工作人员正在对还原炉进行拆炉或装炉时，监控单元控制切断阀组件关闭，以使得通风管道停止通风，进而减少还原炉周边飞扬的粉尘，降低对多晶硅的污染。因此，本通风装置能够对还原车间进行通风降温，同时还能够在还原炉进行拆炉和装炉的过程中，自动关闭通风管道，以减少飞扬的粉尘，进而降低多晶硅受到的污染。
附图说明
[0017]图1是本技术一些实施例中的通风装置的结构示意图；
[0018]图2是本技术一些实施例中的打开炉筒后的还原炉的结构示意图；
[0019]图3是本技术一些实施例本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅生产的通风装置，其特征在于，包括：风机和监控单元，所述风机通过通风管道(4)与还原车间(6)气体连通，用于对所述还原车间(6)进行通风，所述还原车间(6)内布置有还原炉(1)，所述还原炉(1)具有两种状态，分别为炉筒(11)打开的状态和炉筒(11)扣合的状态，所述通风管道(4)上设置有切断阀组件(3)，所述切断阀组件(3)用于控制所述通风管道(4)的开启/关闭，所述监控单元安装于所述还原车间(6)内，并与所述切断阀组件电性连接，用于监控所述还原炉(1)，以获取所述还原炉(1)的状态图片，并根据所述状态图片来判断所述还原炉(1)的状态，以及，在判断所述还原炉(1)处于炉筒(11)打开的状态时，控制所述切断阀组件(3)关闭。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述通风管道(4)的数量为多条，每条所述通风管道(4)上均设置有切断阀组件(3)，所述装置还包括多个通风口(2)，所述通风口(2)开设于所述还原车间(6)的墙壁上，多个所述通风口(2)沿所述还原车间(6)的长度方向排列设置，所述风机通过多条通风管道(4)分别与多个所述通风口(2)连通，以对所述还原车间(6)进行通风。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述通风管道(4)包括进风道(41)和回风道(42)，所述进风道(41)用于向还原车间(6)内送风，所述回风道(42)用于抽吸还原车间(6)内的空气，以实现所述还原车间(6)内的空气循环，所述通风口(2)包括第一风口(21)和第二风口(22)，所述进风道(41)与所述第一风口(21)连通，所述回风道(42)与所述第二风口(22)连通，所述切断阀组件(3)包括第一切断阀(31)和第二切断阀(32)，所述第一切断阀(31)和第二切断阀(32)分别设置于所述进风道(41)和所述回风道(42)上，分别用于控制所述进风道(41)和所述回风道(42)的开启/关闭。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述监控单元包括摄像头(5)和控制器，所述摄像头(5)电性连接于所述控制器，所述摄像头(5)安装于所述还原车间(6)内，用于获取所述还原炉(1)的状态图片，并将所述状态图片发送至所述控制器，所述控制器内预存有还原炉(1)处于炉筒(11)打开的状态时的对照图片，用于将所述状态图片与所述对照图片进行对比，以判断所述还原炉(1)是否处于炉筒(11)打开的状态，所述控制器还分别与所述第一切断阀(31)和所述第二切断阀(32)电性连接，用于在判断所述还原炉(1)处于炉筒(11)打开的状态时，向第一切断阀(31)和第二切断阀(32)发出关闭信号，以控...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋亚博，侯雨，王永富，吕海花，刘丹丹，王奋宇，李艳君，李洁，
申请(专利权)人：新特硅基新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。