【技术实现步骤摘要】
一种撬装结构的多晶硅生产工艺余热利用系统
[0001]本专利技术涉及一处多晶硅生产设备，尤其是一种撬装结构的多晶硅生产设备，具体地说是一种撬装结构的多晶硅生产用余热回收利用系统。
技术介绍
[0002]近年来，随着碳中和概念的提出与实施，光伏产业开始迅猛发展，光伏发电技术在发电总量上的占比越来越大，也造成了多晶硅材料供不应求的现状。各个多晶硅企业亟需扩大产能，新建设施以满足火热的市场需求。
[0003]目前，多晶硅制备主要采用“改良西门子技术”，该工艺主要方法是：硅粉先与氯化氢反应生成三氯氢硅，三氯氢硅经过精馏提纯后与氢气以一定比例混合，混合气经过预热后通入多晶硅还原炉中。三氯氢硅和氢气在还原炉高温下发生反应生成多晶硅产品。在工程生产过程中，会产生500℃
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600℃的高温尾气，尾气中主要包括未反应的三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯硅烷、氯化氢、氢气等气体，如果直接排放，会造成大量原料浪费和能量损失。在整段工艺中，氢气与三氯氢硅的混合原料气需要进行预热，尾气需采用余热回收装置降温，因此余热回收工艺是整个多...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种撬装结构的多晶硅生产工艺余热利用系统，它包括：多晶硅还原炉（1）、汽化过热器（2）、尾气换热器（3）、撬装钢架结构（4），其特征在于：多晶硅还原炉（1）布置在撬装钢架结构（4）外，在撬装钢架结构（4）内，多晶硅还原炉（1）的烟气出口管与尾气换热器管程进口（31）连接，冷却水进口（33）与尾气换热器（3）的壳程进口连接，尾气换热器（3）的壳程出口（23）一端连接所述汽化过热器（2）的壳程进口（231），另一端连接对外供水口（232），汽化过热器（2）的壳程出口与汽化过热器排水口（24）连接，三氯氢硅管道（212）与氢气管道（211）汇合成混合原料气管道（21），混合原料气管道（21）与汽化过热器（2）管程进口连接，汽化过热器（2）管程出口与多晶硅还原炉（1）进料管道（22）连接。2.根据权利要求1所述的余热利用系统，其特征在于：所述的汽化过热器（2）和尾气换热器（3）均安装在撬装钢架结构（4）水平空间内，其中汽化过热器（2）上部超出撬装钢架结构（4）顶部，尾气换热器(3)自撬装钢架结构(4)内部顶端引出，并按蛇形排列在撬装钢架结构(4)内部及上端。3.根据权利要求1所述的余热利用系统，其特征在于:尾气换热器(3)采用夹套管换热器，且管程通入还原炉尾气，壳程通入尾气换热器冷却水换热，其中壳程冷却水出口压力o为0.6MPa
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1.0...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭宏新，吴维涛，陈飞，刘丰，何松，袁文兵，
申请(专利权)人：江苏中圣高科技产业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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