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一种撬装结构的多晶硅生产工艺余热利用系统,它包括:多晶硅还原炉(1)、汽化过热器(2)、尾气换热器(3)、撬装钢架结构(4),其特征在于:多晶硅还原炉布置在撬装钢架结构外,在撬装钢架结构内,多晶硅还原炉的烟气出口管与尾气换热器管程进口连接,...该专利属于江苏中圣高科技产业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中圣高科技产业有限公司授权不得商用。
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一种撬装结构的多晶硅生产工艺余热利用系统,它包括:多晶硅还原炉(1)、汽化过热器(2)、尾气换热器(3)、撬装钢架结构(4),其特征在于:多晶硅还原炉布置在撬装钢架结构外,在撬装钢架结构内,多晶硅还原炉的烟气出口管与尾气换热器管程进口连接,...