一种单晶炉热场底部加热器制造技术

一种单晶炉热场底部加热器，包括有加热器底板和多个发热瓣单元，加热器底板为环形结构且其圆周外侧均匀向外辐射设有多个发热瓣单元，加热器底板的圆周外侧位于相邻两个发热瓣单元之间的位置处凸设有石墨电极固定耳，发热瓣单元包含有多个发热瓣单体，每个发热瓣单体由水平发热瓣和垂直发热瓣组成，每个发热瓣单体的水平发热瓣的一端均与加热器底板的圆周外侧连接，另一端与垂直发热瓣固定连接。本实用新型专利技术可以增大整个单晶炉热场底部加热器区域受热面积，发热更加均匀，解决了底部平面蛇形加热器结构的发热面积小、加热相对集中的问题，在底部加热功率相同的情况下可以进一步提高熔料速率。高熔料速率。高熔料速率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场底部加热器


[0001]本技术涉及单晶硅制造
，具体涉及一种单晶炉热场底部加热器。

技术介绍

[0002]目前光伏单晶硅片是市场主流的光伏发电产品，CZ直拉单晶硅技术是主流的技术。最近几年CZ直拉单晶硅热场尺寸逐渐变大、投料量逐步增加，拉制的硅单晶尺寸也越来越大。生产硅单晶最主要的环境就是单晶炉石墨热场，在光伏直拉单晶硅环节，由于热场尺寸及热场投料量的快速增加，单晶炉热场中对双加热器的使用已经普遍开展使用，目的是为了更好的缩短熔料阶段的时间，提高熔料的单产效率。
[0003]直拉单晶炉中产生热量的发热源是来自石墨电阻加热器，目前有石墨主加热器和底部石墨加热器两种结构构成。现有的底部加热器结构大部分是平板式结构，例如平面蛇形结构。而目前光伏直拉单晶炉热场底部基本采用下排气方式居多，底部排气孔、石墨电极孔很多，底部空间受限，采用单纯的平板式底部加热器，在一个平面内无法获得更好的均匀发热区，发热面积由于底部空间限制变得较小、较为集中。再者鉴于直拉单晶炉热场尺寸变大，对底部加热保温的要求更高，上述平板式底部加热器因发热面积小、发热区域集中，无法满足更高的熔料、保温要求。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种单晶炉热场底部加热器，该底部加热器具有均匀高效的底部加热区，进而缩短熔料时间，以降低电耗。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0006]一种单晶炉热场底部加热器，包括有加热器底板和多个发热瓣单元，所述加热器底板为环形结构且其圆周外侧均匀向外辐射设有多个所述发热瓣单元，所述加热器底板的圆周外侧位于相邻两个所述发热瓣单元之间的位置处凸设有石墨电极固定耳，所述发热瓣单元包含有多个发热瓣单体，每个所述发热瓣单体由水平发热瓣和垂直发热瓣组成，每个所述发热瓣单体的所述水平发热瓣的一端均与所述加热器底板的圆周外侧连接，另一端与所述垂直发热瓣固定连接。
[0007]作为优选的，所述发热瓣单元的数量为2，两个所述发热瓣单元对称设置在所述加热器底板的圆周外侧处，所述加热器底板的圆周外侧位于两个所述发热瓣单元之间的位置处设置有两个所述石墨电极固定耳。
[0008]作为优选的，所述石墨电极固定耳上开设有石墨电极孔，两个所述发热瓣单元以两个所述石墨电极孔的中心连线为对称中心线。
[0009]作为优选的，还包括有排气罩安装位，所述排气罩安装位设置在所述加热器底板的圆周外侧处且位于所述发热瓣单元内任意两个所述发热瓣单体相邻的位置处，两个所述排气罩安装位之间的中心连线与两个所述石墨电极孔的中心连线之间具有45
°
的夹角。
[0010]作为优选的，还包括有主加热器电极脚板安装位，所述主加热器电极脚板安装位
设置在所述加热器底板的圆周外侧处且位于所述发热瓣单元内任意两个所述发热瓣单体相邻的位置处，两个所述主加热器电极脚板安装位之间的中心连线与两个所述石墨电极孔的中心连线正交设置。
[0011]作为优选的，所述水平发热瓣与所述垂直发热瓣连接处为圆弧过渡结构以使得所述水平发热瓣与所述垂直发热瓣为一体成型结构。
[0012]作为优选的，所述加热器底板与多个所述发热瓣单体一体成型设置，所述加热器底板的顶面与多个所述水平发热瓣的顶面齐平。
[0013]作为优选的，所述发热瓣单元内的多个所述发热瓣单体串联设置，多个所述发热瓣单元之间为并联设置。
[0014]与现有技术相比，本技术提供的一种单晶炉热场底部加热器，可以增大整个单晶炉热场底部加热器区域受热面积，发热更加均匀，解决了底部平面蛇形加热器结构的发热面积小、加热相对集中的问题，在底部加热功率相同的情况下可以进一步提高熔料速率。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术提供的一种单晶炉热场底部加热器的结构示意图；
[0017]图2为底部加热器、底部石墨保温底板和主加热器电极脚板的结构示意图。
[0018]附图中涉及的附图标记和组成部分说明：
[0019]1、加热器底板；2、发热瓣单体；3、石墨电极固定耳；4、石墨电极孔；5、石墨加热电极；6、底部石墨保温压板；7、排气罩；8、排气罩安装位；9、主加热器电极脚板安装位；10、主加热器电极脚板；
[0020]201、水平发热瓣；202、垂直发热瓣。
具体实施方式
[0021]下面将通过具体实施方式对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]参见图1～图2所示，一种单晶炉热场底部加热器，包括有加热器底板1和多个发热瓣单元，加热器底板1为环形结构且其圆周外侧均匀向外辐射设有多个发热瓣单元，在本实施例中发热瓣单元的数量为2，且两个发热瓣单元对称设置在加热器底板1的圆周外侧处。每个发热瓣单元包含有多个发热瓣单体2，而每个发热瓣单体2由水平发热瓣201和垂直发热瓣202组成。每个水平发热瓣201的一端均与加热器底板1的圆周外侧连接，另一端与垂直发热瓣202固定连接。优选将水平发热瓣201与垂直发热瓣202连接处设计为圆弧过渡结构以使得水平发热瓣201与垂直发热瓣202为一体成型结构。
[0023]为了进一步简化生产加工难度，将加热器底板1与多个发热瓣单体2也设计为一体成型结构，且加热器底板1的顶面与多个水平发热瓣201的顶面齐平设置。便于理解的是，加热器底板1的圆周外侧均匀向外辐射多个呈L形的发热瓣单体2。整个底部加热器的发热区呈对称分布，相较于现有的底部平面蛇形加热器结构，本实施例所提供的底部加热器的发热面积更大，发热也更为均匀。
[0024]同时，加热器底板1的圆周外侧位于相邻两个发热瓣单元之间的位置处凸设有石墨电极固定耳3，在本实施例中即在两个发热瓣单元之间的位置处设置有两个石墨电极固定耳3，并在石墨电极固定耳3上开设有石墨电极孔4，用于固定石墨加热电极。将加热器底板1连带上述多个发热瓣单体置于底部石墨保温压板6上，其后用石墨螺丝与炉底石墨加热电极5连接，石墨加热电极5与铜电极连接以进行通电。故上述两个发热瓣单元便以两个石墨电极孔4的中心连线为对称中心线，发热瓣单元内的多个发热瓣单体2串联设置，多个发热瓣单元之间为并联设置，即由加热器底板1均匀向外辐射的两个发热瓣单元构成两路并联单独串联的电路，当高电流通过由加热器底板1和两个发热瓣单元构成的电路后，整个底部加热器发热以达到加热的目的。
[0025]另，在加热器底板1的圆周外侧处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：包括有加热器底板和多个发热瓣单元，所述加热器底板为环形结构且其圆周外侧均匀向外辐射设有多个所述发热瓣单元，所述加热器底板的圆周外侧位于相邻两个所述发热瓣单元之间的位置处凸设有石墨电极固定耳，所述发热瓣单元包含有多个发热瓣单体，每个所述发热瓣单体由水平发热瓣和垂直发热瓣组成，每个所述发热瓣单体的所述水平发热瓣的一端均与所述加热器底板的圆周外侧连接，另一端与所述垂直发热瓣固定连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：所述发热瓣单元的数量为2，两个所述发热瓣单元对称设置在所述加热器底板的圆周外侧处，所述加热器底板的圆周外侧位于两个所述发热瓣单元之间的位置处设置有两个所述石墨电极固定耳。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：所述石墨电极固定耳上开设有石墨电极孔，两个所述发热瓣单元以两个所述石墨电极孔的中心连线为对称中心线。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：还包括有排气罩安装位，所述排气罩安装位设置在所述加热器底板的圆周外侧处...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱光开，鞠贵冬，李煜川，黄晶晶，
申请(专利权)人：双良节能系统股份有限公司，
类型：新型
国别省市：