一种单晶炉热场底部加热器制造技术

一种单晶炉热场底部加热器，包括有加热器底板和多个发热瓣单元，加热器底板为环形结构且其圆周外侧均匀向外辐射设有多个发热瓣单元，加热器底板的圆周外侧位于相邻两个发热瓣单元之间的位置处凸设有石墨电极固定耳，发热瓣单元包含有多个发热瓣单体，每个发热瓣单体由水平发热瓣和垂直发热瓣组成，每个发热瓣单体的水平发热瓣的一端均与加热器底板的圆周外侧连接，另一端与垂直发热瓣固定连接。本实用新型专利技术可以增大整个单晶炉热场底部加热器区域受热面积，发热更加均匀，解决了底部平面蛇形加热器结构的发热面积小、加热相对集中的问题，在底部加热功率相同的情况下可以进一步提高熔料速率。高熔料速率。高熔料速率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场底部加热器


[0001]本技术涉及单晶硅制造
，具体涉及一种单晶炉热场底部加热器。

技术介绍

[0002]目前光伏单晶硅片是市场主流的光伏发电产品，CZ直拉单晶硅技术是主流的技术。最近几年CZ直拉单晶硅热场尺寸逐渐变大、投料量逐步增加，拉制的硅单晶尺寸也越来越大。生产硅单晶最主要的环境就是单晶炉石墨热场，在光伏直拉单晶硅环节，由于热场尺寸及热场投料量的快速增加，单晶炉热场中对双加热器的使用已经普遍开展使用，目的是为了更好的缩短熔料阶段的时间，提高熔料的单产效率。
[0003]直拉单晶炉中产生热量的发热源是来自石墨电阻加热器，目前有石墨主加热器和底部石墨加热器两种结构构成。现有的底部加热器结构大部分是平板式结构，例如平面蛇形结构。而目前光伏直拉单晶炉热场底部基本采用下排气方式居多，底部排气孔、石墨电极孔很多，底部空间受限，采用单纯的平板式底部加热器，在一个平面内无法获得更好的均匀发热区，发热面积由于底部空间限制变得较小、较为集中。再者鉴于直拉单晶炉热场尺寸变大，对底部加热保温的要求更高，上述平板式底部加热器因发热面积小本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：包括有加热器底板和多个发热瓣单元，所述加热器底板为环形结构且其圆周外侧均匀向外辐射设有多个所述发热瓣单元，所述加热器底板的圆周外侧位于相邻两个所述发热瓣单元之间的位置处凸设有石墨电极固定耳，所述发热瓣单元包含有多个发热瓣单体，每个所述发热瓣单体由水平发热瓣和垂直发热瓣组成，每个所述发热瓣单体的所述水平发热瓣的一端均与所述加热器底板的圆周外侧连接，另一端与所述垂直发热瓣固定连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：所述发热瓣单元的数量为2，两个所述发热瓣单元对称设置在所述加热器底板的圆周外侧处，所述加热器底板的圆周外侧位于两个所述发热瓣单元之间的位置处设置有两个所述石墨电极固定耳。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：所述石墨电极固定耳上开设有石墨电极孔，两个所述发热瓣单元以两个所述石墨电极孔的中心连线为对称中心线。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场底部加热器，其特征在于：还包括有排气罩安装位，所述排气罩安装位设置在所述加热器底板的圆周外侧处...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱光开，鞠贵冬，李煜川，黄晶晶，
申请(专利权)人：双良节能系统股份有限公司，
类型：新型
国别省市：