下载一种单晶炉热场底部加热器的技术资料

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一种单晶炉热场底部加热器,包括有加热器底板和多个发热瓣单元,加热器底板为环形结构且其圆周外侧均匀向外辐射设有多个发热瓣单元,加热器底板的圆周外侧位于相邻两个发热瓣单元之间的位置处凸设有石墨电极固定耳,发热瓣单元包含有多个发热瓣单体,每个发热...
该专利属于双良节能系统股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过双良节能系统股份有限公司授权不得商用。

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