一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备制造技术

本申请涉及一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备，虹膜机构观察窗，观察窗安装在真空镀膜设备上，观察窗包括依次设置的焊接法兰、圆形观察玻璃及锁紧法兰，焊接法兰与锁紧法兰沿同轴线相对设置有第一观察口及第二观察口；观察玻璃位于第一观察口及第二观察口之间，并通过焊接法兰与锁紧法兰锁付固定；焊接法兰在远离观察玻璃的一端设置有虹膜机构，虹膜机构位于第一观察口处，其可沿观察玻璃中心点收缩或扩张，用于关闭或开启第一观察口；锁紧法兰上设置有旋钮，旋钮的一端贯穿焊接法兰与锁紧法兰与虹膜机构固定连接，用于控制虹膜机构的收缩或扩张，实现观察窗内侧窗口启闭，保护观察窗透明玻璃内侧不受污染。窗透明玻璃内侧不受污染。窗透明玻璃内侧不受污染。

【技术实现步骤摘要】
一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备


[0001]本申请涉及真空镀膜设备的
，尤其涉及一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]传统技术中，在真空镀膜设备中安装透明玻璃观察窗，观察内部镀膜生产情况，时间久后在玻璃表面靠近内部从一侧就会聚集固体、液体、气体等残留物，导致观察窗无法视物，看不清内部情况，此时就需要进行清洗，由于一般的观察窗都是固定在设备上的，要想清理观察窗内侧，需要从设备内部进行清理，有时甚至需要拆卸内部附属设备，非常不利于清洁及生产。
[0003]现有的固定在设备上的观察窗，其从内侧是没有办法关闭的，窗口关闭一般都是在外侧，这样在设备进行镀膜过程中固体、液体、气体残留物就会附在玻璃内表面，导致观察窗玻璃形成花面，无法视物。

技术实现思路

[0004]本申请旨在解决观察管内表面脏污，无法视物的问题，本申请提供一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备，实现观察窗内侧窗口启闭，保护观察窗透明玻璃内侧不受污染。采用如下的技术方案：
[0005]一种虹膜机构观察窗，所述观察窗安装在真空镀膜设备上，所述观本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种虹膜机构观察窗，所述观察窗安装在真空镀膜设备上，其特征在于：所述观察窗包括依次设置的焊接法兰、圆形观察玻璃及锁紧法兰，所述焊接法兰与锁紧法兰沿同轴线相对设置有第一观察口及第二观察口；所述观察玻璃位于所述第一观察口及第二观察口之间，并通过焊接法兰与锁紧法兰锁付固定；所述焊接法兰在远离观察玻璃的一端设置有虹膜机构，所述虹膜机构位于第一观察口处，其可沿观察玻璃中心点收缩或扩张，用于关闭或开启第一观察口；所述锁紧法兰上设置有旋钮，所述旋钮的一端贯穿焊接法兰与锁紧法兰与虹膜机构固定连接，用于控制虹膜机构的收缩或扩张。2.根据权利要求1所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述虹膜机构包括沿朝向焊接法兰的方向依次设置的外导槽片、若干虹膜叶片及内导槽片；所述外导槽片沿朝向观察玻璃的方向固定设置一环形台，用于固定在所述设备壁面上并与外导槽片之间形成安装腔室；所述焊接法兰远离观察玻璃的一端容置在所述安装腔室内，用于转动套装内导槽片；所述内导槽片上沿周向均匀设有若干导向槽，用于安装虹膜叶片，所述虹膜叶片在内导槽片上可沿导向槽方向移动。3.根据权利要求2所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述虹膜叶片与导向槽配合处设有定位凸起，所述定位凸起可沿导向槽方向移动；所述内导槽片沿圆周顺时针转动时，若干所述虹膜叶片沿各自的导向槽同步移动，以使得若干虹膜叶片呈光圈状向观察玻璃中心...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小兵，李沛宏，
申请(专利权)人：福建建壹真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：