一种视窗架固定装置以及蒸镀设备制造方法及图纸

本申请涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种视窗架固定装置以及蒸镀设备，包括用于设置在腔门的内侧且连接到腔门上的架体，架体上设有用于将视窗架限制在腔门的腔门观察通道内的限位部。使视窗架在腔门观察通道内进行限位而不会在腔门开关过程中移出腔门观察通道，避免导致晶圆的蒸镀过程受到影响。导致晶圆的蒸镀过程受到影响。导致晶圆的蒸镀过程受到影响。

【技术实现步骤摘要】
一种视窗架固定装置以及蒸镀设备


[0001]本申请涉及蒸镀设备
，尤其涉及的是一种视窗架固定装置以及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]蒸镀设备是半导体器件、LED面板、OLED面板行业的成膜设备，常见的有电子束式、热阻式等蒸镀设备，包括用于蒸镀的蒸镀内腔，以及关闭或开启蒸镀内腔的腔门，腔门包括腔门，以及开设在腔门上的腔门观察通道，操作者可以透过腔门观察通道看到蒸镀内腔中的蒸镀情况，在腔门观察通道内设置有视窗架，通过视窗架观察成膜过程中靶源的消耗情况。
[0003]但现有蒸镀设备的视窗架都只是放置在腔门观察通道内，腔门观察通道朝向蒸镀内腔的一侧为内侧开口，由于无装置将视窗架进行固定，在生产的过程中频繁的关开腔门，腔门观察通道内的视窗架受力会朝向腔门观察通道的内侧开口的外移动，当视窗架突出于腔门观察通道的内侧开口时，与蒸镀内腔中的镀锅运动干涉，导致晶圆(wafer)掉落，甚至整个镀锅掉落；如果视窗架完全掉出腔门观察通道的内侧开口，掉在蒸镀内腔中的靶源上，导致靶源污染，整锅晶圆报废。
[0004]因此，现有技术还有待于改进和发展本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种视窗架固定装置，其特征在于，包括用于设置在腔门的内侧且连接到所述腔门上的架体，所述架体上设有用于将所述视窗架限制在所述腔门的腔门观察通道内的限位部；所述限位部包括：第一弯折板，用于设置在所述视窗架的侧壁外且沿所述视窗架的外侧壁远离所述腔门观察通道的方向延伸；第二弯折板，用于抵挡所述视窗架的外壳的端面；所述第一弯折板设置在所述架体和所述第二弯折板之间，所述第一弯折板和所述第二弯折板呈“L”形或“V”形。2.根据权利要求1所述的视窗架固定装置，其特征在于，所述限位部位于所述架体的端部且通过弯折形成。3.根据权利要求1所述的视窗架固定装置，其特征在于，所述限位部还包括：第三弯折板，用于设置在所述视窗架的侧壁内侧且沿所述视窗架的内侧壁朝向所述腔门观察通道的方向延伸，所述第三弯折板设置在所述第二弯折板远离所述第一弯折板的一端，所述第一弯折板、所述第二弯折板和所述第三弯折板之间形成限位槽。4.根据权利要求3所述的视窗架固定装置，其特征在于，所述第三弯折板的端部延伸到所述腔门观察通道内...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄琪兵，陈旋宇，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：