【技术实现步骤摘要】
声表面波SAW滤波器及其制造方法
[0001]本申请涉及半导体器件领域,尤其涉及一种声表面波SAW滤波器及其制造方法。
技术介绍
[0002]声表面波(SAW)装置,例如SAW谐振器和SAW滤波器,在例如射频(RF)滤波器等许多应用中都有使用。典型的SAW滤波器包括形成于压电基板上的多个叉指换能器(IDTs)。多个叉指换能器IDTs串联或并联连接。
[0003]随着现代RF通信系统中SAW滤波器的使用增加,亟需具有改进的品质因数(Q)的SAW滤波器。
技术实现思路
[0004]根据本公开的一个方面,提供了一种声表面波SAW滤波器。SAW滤波器包括:底部基板;设置在底部基板上方的压电层,且压电层具有面向底部基板的底面和与底面相对的顶面;设置在压电层下方的空腔;设置在压电层的顶面的叉指换能器IDT;以及设置在压电层底面的背电极,且背电极的至少一部分暴露在空腔中。
[0005]根据本公开的另一方面,提供了一种SAW滤波器。SAW滤波器包括:底部基板;设置在底部基板上方的压电层,且压电层具有面向底部基板的底面和与底面相对的顶面;设置在压电层下方的空腔;设置在压电层的顶面的背电极;以及设置在压电层底面的叉指换能器IDT,且IDT的叉指部分暴露在空腔中。
[0006]根据本公开的一个方面,提供了一种声表面波SAW滤波器的制造方法。该方法包括:获得压电基板;在压电基板的第一部分上形成背电极;在压电基板的第一部分上形成覆盖背电极的第一介电层;在第一介电层中形成暴露背电极的一部分且围绕第一介电层 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种声表面波SAW滤波器,其特征在于,包括:底部基板;压电层,设置在所述底部基板上方,具有面向所述底部基板的底面以及与所述底面相对的顶面;空腔,设置在所述压电层下方;叉指换能器IDT,设置在所述压电层的顶面上;和背电极,设置在所述压电层的底面上,所述背电极的至少一部分暴露在所述空腔中。2.根据权利要求1所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:第一介电层,设置在所述压电层和所述底部基板之间;第二介电层,设置在所述第一介电层下方;和第三介电层,设置在所述第二介电层下方,并包括向所述第一介电层突出的突出结构;其中,所述空腔被由所述第二介电层,以及所述第三介电层的突出结构构成的双壁边界结构包围。3.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:开口,在所述压电层中形成并暴露所述背电极;和焊盘金属层,设置在所述压电层上,所述焊盘金属层的第一部分与所述IDT的第一输入和输出端电连接,所述焊盘金属层的第二部分与所述IDT的第二输入和第二输出端电连接,所述焊盘金属层的第三部分通过所述开口与所述背电极电连接。4.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,所述底部基板由Si、SiO2、多晶硅、碳化硅、蓝宝石Al2O3或这些材料中的两种或多种材料的堆叠组合形成;以及所述底部基板接合到所述第三介电层。5.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,所述第一介电层由氧化硅、氮化硅或这些材料的堆叠组合形成。6.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,所述第二介电层由多晶硅、非晶硅、AlN、SiN、TaN、GaN或这些材料中的两种或多种材料的堆叠组合形成。7.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,所述第三介电层由氧化硅、氮化硅或这些材料的堆叠组合形成。8.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:非导电层,设置在所述第三介电层和所述底部基板之间,且所述非导电层由多晶硅、非晶硅、氮化硅、氮化铝、氮化镓或这些材料中的两种或多种的堆叠组合形成。9.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:缓冲层,设置在所述第三介电层和所述底部基板之间,且所述缓冲层由氮化硅、氧化硅或这些材料的堆叠组合形成。10.根据权利要求2所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:非导电层,设置在所述第三介电层和所述底部基板之间,且所述非导电层由多晶硅、非晶硅、氮化硅、氮化铝、氮化镓或这些材料中的两种或多种的堆叠组合形成;和缓冲层,设置在所述第一介电层和所述非导电层之间,且所述缓冲层由氮化硅、氧化硅
或这些材料的堆叠组合形成。11.一种声表面波SAW滤波器,其特征在于,包括:底部基板;压电层,设置在所述底部基板上方,具有面向所述底部基板的底面以及与所述底面相对的顶面;空腔,设置在所述压电层下方;背电极,设置在所述压电层的顶面上;和叉指换能器IDT,设置在所述压电层的底面上,所述IDT的叉指部分暴露在所述空腔中。12.根据权利要求11所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:第一介电层,设置在所述压电层和所述底部基板之间;第二介电层,设置在所述第一介电层下方;和第三介电层,设置在所述第二介电层下方,并包括向所述第一介电层突出的突出结构;其中,所述空腔被由所述第二介电层,以及所述第三介电层的突出结构构成的双壁边界结构包围。13.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:第一开口,在所述压电层中形成,并暴露所述IDT的第一输入和输出端;第二开口,在所述压电层中形成,并暴露所述IDT的第二输入和输出端;和焊盘金属层,所述焊盘金属层的第一部分经由所述第一开口与所述IDT的第一输入和输出端电连接,所述焊盘金属层的第二部分经由所述第二开口与所述IDT的第二输入和输出端电连接。14.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,所述底部基板由Si、SiO2、多晶硅、碳化硅、蓝宝石Al2O3或这些材料中的两种或多种材料的堆叠组合形成;以及所述底部基板接合到所述第三介电层。15.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,所述第一介电层由氧化硅、氮化硅或这些材料的堆叠组合形成。16.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,所述第二介电层由多晶硅、非晶硅、AlN、SiN、TaN、GaN或这些材料中的两种或多种材料的堆叠组合形成。17.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,所述第三介电层由氧化硅、氮化硅或这些材料的堆叠组合形成。18.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:非导电层,设置在所述第三介电层和所述底部基板之间,且所述非导电层由多晶硅、非晶硅、氮化硅、氮化铝、氮化镓或这些材料中的两种或多种的堆叠组合形成。19.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:缓冲层,设置在所述第三介电层和所述底部基板之间,且所述缓冲层由氮化硅、氧化硅或这些材料的堆叠组合形成。20.根据权利要求12所述的SAW滤波器,其特征在于,还包括:非导电层,设置在所述第三介电层和所述底部基板之间,且所述非导电层由多晶硅、非
晶硅、氮化硅、氮化铝、氮化镓或这些材料中的两种或多种的堆叠组合形成;和缓冲层,设置在所述第一介电层和所述非导电层之间,且所述缓冲层由氮化硅、氧化硅或这些材料的堆叠组合形成。21.一种如权利要求1至10任一项所述的声表面波SAW滤波器的制造方法,其特征在于,包括:获得压电基板;在所述压电基板的第一部分上形成背电极;在所述压电基板的第一部分上形成覆盖所述背电极的第一介电层;在所述第一介电层中形成暴露所述背电极的...
【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名,
申请(专利权)人:深圳新声半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。