固定装置和检测设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种固定装置和检测设备，所述固定装置包括：第一固定台、第二固定台和锁定机构；所述第一固定台的一侧延伸形成有相对且间隔设置的第一延伸部和第二延伸部，所述第二固定台的一侧延伸形成有相对且间隔设置的第三延伸部和第四延伸部，所述锁定机构连接所述第一延伸部和所述第三延伸部并连接所述第二延伸部和所述第四延伸部。本实用新型专利技术实施例通过锁定机构对两个固定台进行固定，且两个固定台之间的相对位置可以进行微调后再由锁定机构进行固定，从而防止探测通道发生偏移。生偏移。生偏移。

【技术实现步骤摘要】
固定装置和检测设备


[0001]本技术涉及光学检测
，尤其涉及一种固定装置和一种检测设备。

技术介绍

[0002]光学检测是一种基于光学原理的新型测试技术，例如在晶圆制作与检测过程中经常通过检测设备进行检测。光学检测通过光学检测镜头扫描与图像识别处理，实现对目标的高精度缺陷检测。检测设备的光学检测镜头通常使用位移台进行校准和固定，通过位移台对检测设备的光学检测镜头的角度进行微调，从而使镜头对准探测通道的角度和位置。然而，在移动检测设备时，尤其是运输检测设备时，运输过程中可能会产生较多的振动和晃动，而晃动或振动会对位移台造成影响，从而使已经调节完成的探测通道的位置发生改变，导致检测设备在运输到目的地后，需要再次调整位移台以对探测通道的位置和角度进行校准，降低了检测设备的使用效率。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术实施例提供的一种固定装置和一种检测设备，通过设置第一固定台和第二固定台并连接组成框体结构，第一固定台上连接光学检测镜头，第二固定台设置有位移台，两个固定台之间可以通过锁定机构进行固定连接，从而防止所述光学检测镜头的探测通道发生偏移，提高了检测设备的使用效率。
[0004]具体地，本技术实施例提供一种固定装置，其特征在于，包括：第一固定台、第二固定台和锁定机构；所述第一固定台的一侧延伸形成有相对且间隔设置的第一延伸部和第二延伸部，所述第二固定台的一侧延伸形成有相对且间隔设置的第三延伸部和第四延伸部，所述锁定机构连接所述第一延伸部和所述第三延伸部并连接所述第二延伸部和所述第四延伸部。
[0005]在本技术的一个实施例中，所述第一延伸部设置有第一通孔，所述第三延伸部设置有第二通孔，所述锁定机构包括第一连接组件，所述第一连接组件包括第一环形件、第一螺栓和第一螺母，所述第一环形件容置在所述第二通孔内，所述第一螺栓依次穿过第一环形件和所述第一通孔后与所述第一螺母连接；所述第二延伸部和所述第四延伸部分别设置有第三通孔和第四通孔，所述锁定机构包括第二连接组件，所述第二连接组件包括第二环形件、第二螺栓和第二螺母，所述第二环形件容置在所述第四通孔内，所述第二螺栓依次穿过所述第二环形件和所述第三通孔后与所述第二螺母连接。
[0006]在本技术的一个实施例中，所述第一螺栓远离所述第一螺母的一端部与所述第一环形件之间的接触面为球面；以及，所述第二螺栓远离所述第二螺母的一端部与所述第二环形件之间的接触面为球面。
[0007]在本技术的一个实施例中，所述第二通孔内侧为阶梯状，所述第二通孔远离所述第一延伸部的一侧孔径大于另一侧的孔径，所述第一环形件上设置有第一卡位部，所述锁定机构在锁定状态下所述第一卡位部抵接所述第二通孔内壁；所述第四通孔内侧为阶
梯状，所述第四通孔远离所述第二延伸部的一侧孔径大于另一侧的孔径，所述第二环形件上设置有第二卡位部，所述锁定机构在锁定状态下所述第二卡位部抵接所述第四通孔内壁。
[0008]在本技术的一个实施例中，所述锁定机构包括第三连接组件，所述第三连接组件包括第一连接杆和第一耦接件，所述第一连接杆固定在所述第一延伸部上，所述第三延伸部形成有第一容置孔，所述第一耦接件容置在所述第一容置孔内且抵接所述第一连接杆；所述锁定机构包括第四连接组件，所述第四连接组件包括第二连接杆和第二耦接件，所述第二连接杆固定在所述第二延伸部上，所述第四延伸部形成有第二容置孔，所述第二耦接件容置在所述第二容置孔内且抵接所述第二连接杆。
[0009]在本技术的一个实施例中，所述第一连接杆邻近所述第三延伸部的一端部设置有第一球面接头，所述第一耦接件上设有第一球面接孔，所述第一球面接头与所述第一球面接孔抵接；所述第二连接杆邻近所述第四延伸部的一端部设置有第二球面接头，所述第二耦接件上设有第二球面接孔，所述第二球面接头与所述第二球面接孔抵接。
[0010]在本技术的一个实施例中，所述第一延伸部形成有第一螺纹通孔，所述第一连接杆穿过并螺纹耦接所述第一螺纹通孔；所述第二延伸部形成有第二螺纹通孔，所述第二连接杆穿过并螺纹耦接所述第二螺纹通孔。
[0011]在本技术的一个实施例中，所述第二通孔内壁与所述第一环形件表面之间设有间隙，所述第四通孔内壁与所述第二环形件表面之间设有间隙。
[0012]在本技术的一个实施例中，所述第一容置孔内壁与所述第一耦接件表面之间设有间隙，所述第二容置孔内壁与所述第二耦接件表面之间设有间隙。
[0013]另外，本技术实施例提供一种检测设备，包括：光学检测镜头、用于调整所述光学检测镜头的探测通道的角度和位置的位移台、以及如上述中任意一项所述的固定装置，其中，所述光学检测镜头固定连接所述第一固定台远离所述第二固定台的一端，所述位移台固定连接所述第二固定台。
[0014]上述技术方案可以具有如下一个或多个优点：本技术实施例例如通过在光学检测镜头和位移台中设置固定台和锁定机构，第一固定台和第二固定台均设有延伸部并通过锁定机构连接形成框体，两个固定台之间可以用于放置位移台，第一固定台连接所述光学检测镜头，从而在位移台完成对光学检测镜头的校准后，通过锁定机构对两个固定台进行固定，防止晃动或振动对固定台的相对位置产生影响，从而避免光学检测镜头受外部影响改变位置或角度，提高了所述检测设备的使用效率；另外，所述锁定机构设置第一连接组件和第二连接组件，其中第一螺栓和第二螺栓上均设有球面并分别与第一环形件和第二环形件配合，使所述第一固定台可以在一定范围内相对于第二固定台旋转，且第二通孔和所述第一环形件、所述第四通孔和所述第二环形件之间设置间隙，使两个固定台之间在间隙范围内相对位移，从而校准不同的探测通道并进行固定；此外，所述锁定机构还设置有第三连接组件和第四连接组件，并设有球面接头与球面接孔相互配合抵接，避免两个固定台之间出现倾斜过约束现象。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要
使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术实施例提供的一种检测设备的立体结构示意图。
[0017]图2为图1所示的检测设备的另一视角的结构示意图。
[0018]图3为图2所示中的所述固定装置的立体结构示意图。
[0019]图4为图3所示的固定装置的所述第一固定台和第二固定台的分解结构示意图。
[0020]图5为图3所示的固定装置的分解结构示意图。
[0021]图6为图5所示的固定装置的所述第一连接组件的分解结构示意图。
[0022]图7为图5所示的固定装置的剖视结构示意图。
[0023]图8为图5所示的固定装置的所述第三连接组件的分解结构示意图。
[0024]图9为图5所示的固定装置的另一视角的剖视结构示意图。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固定装置(1)，其特征在于，包括：第一固定台(10)、第二固定台(20)和锁定机构(30)；所述第一固定台(10)的一侧延伸形成有相对且间隔设置的第一延伸部(11)和第二延伸部(12)，所述第二固定台(20)的一侧延伸形成有相对且间隔设置的第三延伸部(23)和第四延伸部(24)，所述锁定机构(30)连接所述第一延伸部(11)和所述第三延伸部(23)并连接所述第二延伸部(12)和所述第四延伸部(24)。2.根据权利要求1所述的固定装置(1)，其特征在于，所述第一延伸部(11)设置有第一通孔(101)，所述第三延伸部(23)设置有第二通孔(203)，所述锁定机构(30)包括第一连接组件(31)，所述第一连接组件(31)包括第一环形件(311)、第一螺栓(312)和第一螺母(313)，所述第一环形件(311)容置在所述第二通孔(203)内，所述第一螺栓(312)依次穿过第一环形件(311)和所述第一通孔(101)后与所述第一螺母(313)连接；所述第二延伸部(12)和所述第四延伸部(24)分别设置有第三通孔(102)和第四通孔(204)，所述锁定机构(30)包括第二连接组件(32)，所述第二连接组件(32)包括第二环形件(321)、第二螺栓(322)和第二螺母(323)，所述第二环形件(321)容置在所述第四通孔(204)内，所述第二螺栓(322)依次穿过所述第二环形件(321)和所述第三通孔(102)后与所述第二螺母(323)连接。3.根据权利要求2所述的固定装置(1)，其特征在于，所述第一螺栓(312)远离所述第一螺母(313)的一端部与所述第一环形件(311)之间的接触面为球面；以及，所述第二螺栓(322)远离所述第二螺母(323)的一端部与所述第二环形件(321)之间的接触面为球面。4.根据权利要求2所述的固定装置(1)，其特征在于，所述第二通孔(203)内侧为阶梯状，所述第二通孔(203)远离所述第一延伸部(11)的一侧孔径大于另一侧的孔径，所述第一环形件(311)上设置有第一卡位部(411)，所述锁定机构(30)在锁定状态下所述第一卡位部(411)抵接所述第二通孔(203)内壁；所述第四通孔(204)内侧为阶梯状，所述第四通孔(204)远离所述第二延伸部(12)的一侧孔径大于另一侧的孔径，所述第二环形件(321)上设置有第二卡位部(421)，所述锁定机构(30)在锁定状态下所述第二卡位部(421)抵接所述第四通孔(204)内壁。5.根据权利要求2所述的固定装置(1)，其特征在于，所述锁定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，黄有为，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：