适用于臭氧水罐体内的曝气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于臭氧水罐体内的曝气装置，包含：托架，托架的底部设有进气口，托架安装在外部的臭氧水罐的底部；第一微孔盘，第一微孔盘与托架相连，第一微孔盘上设有均匀分布的若干第一气孔；第二微孔盘，第二微孔盘与托架相连，且位于第一微孔盘的顶部，第二微孔盘上设有均匀分布的若干第二气孔，若干第二气孔与若干第一气孔相互错位设置。本实用新型专利技术能利用上下多层错位的第二气孔和第一气孔对高浓度的臭氧气体进行逐步分散，从而增大臭氧气体与去离子水的接触面积，改善气液传质的效率，产生高浓度的臭氧水；且装置本身为高纯PTFE材料，在高浓度臭氧水（臭氧水浓度≥126mg/L）中不会发生金属粒子析出、污染罐体。污染罐体。污染罐体。

【技术实现步骤摘要】
适用于臭氧水罐体内的曝气装置


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种适用于臭氧水罐体内的曝气装置。

技术介绍

[0002]现有的适用于臭氧水罐体内曝气的方法主要有以下两种：
[0003]一是使用材料为钛的微孔曝气头，该曝气头以工业纯钛粉（纯度≥99.6899%）为主要原料，经过高温真空烧结而成，孔隙度达到35~50%。该微孔钛曝气头可将臭氧气体均匀扩散，形成臭氧小气泡，增加气液接触面积。
[0004]二是使用以三元乙丙橡胶（EPDM）为基片，并在基片上镀聚四氟乙烯（PTFE）膜层的曝气盘。EPDM基片弹性系数高，曝气系统工作时，基片鼓起；曝气系统关闭后，基片回落到底座上并密闭。
[0005]以上两种方案存在的缺点：
[0006]由于钛的微孔曝气头由钛粉经过高温真空烧结而成，长时间的臭氧曝气后会有少量钛粉脱落和钛金属析出，污染臭氧水。
[0007]以三元乙丙橡胶（EPDM）为基片，并在基片上镀聚四氟乙烯（PTFE）膜层的曝气盘在工作时，由于基片边缘固定处被反复拉伸，容易造成镀层脱落，产生污染臭氧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于臭氧水罐体内的曝气装置，其特征在于，包含：托架，所述托架的底部设有进气口，所述托架安装在外部的臭氧水罐的底部；第一微孔盘，所述第一微孔盘与所述托架相连，所述第一微孔盘上设有均匀分布的若干第一气孔；第二微孔盘，所述第二微孔盘与所述托架相连，且位于所述第一微孔盘的顶部，所述第二微孔盘上设有均匀分布的若干第二气孔，所述若干第二气孔与所述若干第一气孔相互错位设置。2.如权利要求1所述适用于臭氧水罐体内的曝气装置，其特征在于，所述托架上设有第一台阶和第二台阶，所述第一台阶与所述第一微孔盘相连，所述第二台阶与所述第二微孔盘相连。3.如权利要求1所述适用于臭氧水罐体内的曝气装置，其特征在于，所述第二气孔和所述第一气孔的孔径大小一致。4.如权利要求1或3所述适用于臭氧水罐体...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，赵阳，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：