本实用新型专利技术公开了一种适用于臭氧水罐体内的曝气装置，包含：托架，托架的底部设有进气口，托架安装在外部的臭氧水罐的底部；第一微孔盘，第一微孔盘与托架相连，第一微孔盘上设有均匀分布的若干第一气孔；第二微孔盘，第二微孔盘与托架相连，且位于第一微孔盘的顶部，第二微孔盘上设有均匀分布的若干第二气孔，若干第二气孔与若干第一气孔相互错位设置。本实用新型专利技术能利用上下多层错位的第二气孔和第一气孔对高浓度的臭氧气体进行逐步分散，从而增大臭氧气体与去离子水的接触面积，改善气液传质的效率，产生高浓度的臭氧水；且装置本身为高纯PTFE材料，在高浓度臭氧水（臭氧水浓度≥126mg/L）中不会发生金属粒子析出、污染罐体。污染罐体。污染罐体。
【技术实现步骤摘要】
适用于臭氧水罐体内的曝气装置
[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种适用于臭氧水罐体内的曝气装置。
技术介绍
[0002]现有的适用于臭氧水罐体内曝气的方法主要有以下两种：
[0003]一是使用材料为钛的微孔曝气头，该曝气头以工业纯钛粉（纯度≥99.6899%）为主要原料，经过高温真空烧结而成，孔隙度达到35~50%。该微孔钛曝气头可将臭氧气体均匀扩散，形成臭氧小气泡，增加气液接触面积。
[0004]二是使用以三元乙丙橡胶（EPDM）为基片，并在基片上镀聚四氟乙烯（PTFE）膜层的曝气盘。EPDM基片弹性系数高，曝气系统工作时，基片鼓起；曝气系统关闭后，基片回落到底座上并密闭。
[0005]以上两种方案存在的缺点：
[0006]由于钛的微孔曝气头由钛粉经过高温真空烧结而成，长时间的臭氧曝气后会有少量钛粉脱落和钛金属析出，污染臭氧水。
[0007]以三元乙丙橡胶（EPDM）为基片，并在基片上镀聚四氟乙烯（PTFE）膜层的曝气盘在工作时，由于基片边缘固定处被反复拉伸，容易造成镀层脱落，产生污染臭氧水的颗粒；在基片边缘处，失去PTFE膜层的EPDM基片容易被臭氧水腐蚀，进一步产生污染臭氧水的颗粒，并最终导致基片失效。
技术实现思路
[0008]根据本技术实施例，提供了一种适用于臭氧水罐体内的曝气装置，包含：
[0009]托架，托架的底部设有进气口，托架安装在外部的臭氧水罐的底部；
[0010]第一微孔盘，第一微孔盘与托架相连，第一微孔盘上设有均匀分布的若干第一气孔；
[0011]第二微孔盘，第二微孔盘与托架相连，且位于第一微孔盘的顶部，第二微孔盘上设有均匀分布的若干第二气孔，若干第二气孔与若干第一气孔相互错位设置。
[0012]进一步，托架上设有第一台阶和第二台阶，第一台阶与第一微孔盘相连，第二台阶与第二微孔盘相连。
[0013]进一步，第二气孔和第一气孔的孔径大小一致。
[0014]进一步，第二气孔和第一气孔的孔径均为0.1mm。
[0015]进一步，第一微孔盘的中心设有不开孔区。
[0016]进一步，不开孔区的直径与第一微孔盘的外周圆直径的1/3等同。
[0017]进一步，第一微孔盘和第二微孔盘同心设置。
[0018]进一步，托架、第一微孔盘以及第二微孔盘的材质均为PTFE材料。
[0019]进一步，进气口的上设有锥形外螺纹，进气口通过锥形外螺纹安装在臭氧水罐的
底部。
[0020]根据本技术实施例的适用于臭氧水罐体内的曝气装置，本装置能利用上下多层错位的第二气孔和第一气孔对高浓度的臭氧气体进行逐步分散，从而增大臭氧气体与去离子水的接触面积，改善气液传质的效率，产生高浓度的臭氧水；且装置本身为高纯PTFE材料，在高浓度臭氧水（臭氧水浓度≥126mg/L）中不会发生金属粒子析出、污染罐体。
[0021]要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
附图说明
[0022]图1为根据本技术实施例适用于臭氧水罐体内的曝气装置的立体结构示意图。。
[0023]图2为根据本技术实施例适用于臭氧水罐体内的曝气装置的结构分解示意图。
[0024]图3为根据本技术实施例适用于臭氧水罐体内的曝气装置的主视剖视结构示意图。
[0025]图4为根据本技术实施例适用于臭氧水罐体内的曝气装置的进气输送轨迹图。
具体实施方式
[0026]以下将结合附图，详细描述本技术的优选实施例，对本技术做进一步阐述。
[0027]首先，将结合图1~4描述根据本技术实施例的适用于臭氧水罐体内的曝气装置，用于臭氧水罐体内的曝气使用，其应用场景很广。
[0028]如图1~4所示，本技术实施例的适用于臭氧水罐体内的曝气装置，具有托架1、第一微孔盘2以及第二微孔盘3。
[0029]具体地，如图1~4所示，托架1的底部设有进气口11，托架1安装在外部的臭氧水罐的底部。进气口11的上设有锥形外螺纹（图上未示出），进气口11通过锥形外螺纹安装在臭氧水罐的底部，臭氧水罐的顶部外接臭氧气源。
[0030]具体地，如图1~4所示，第一微孔盘2与托架1相连，第一微孔盘2上设有均匀分布的若干第一气孔21，若干第一气孔21用于气体的流通。
[0031]具体地，如图1~4所示，第二微孔盘3与托架1相连，且位于第一微孔盘2的顶部，第二微孔盘3上设有均匀分布的若干第二气孔31，若干第二气孔31与若干第一气孔21相互错位设置。通过若干第二气孔31与若干第一气孔21相互错位设置，可对高浓度的臭氧气体进行逐步分散，从而增大臭氧气体与去离子水的接触面积，改善气液传质的效率，产生高浓度的臭氧水。
[0032]进一步，如图2~3所示，托架1上设有第一台阶41和第二台阶42，第一台阶41与第一微孔盘2相连，第二台阶42与第二微孔盘3相连。通过第一台阶41和第二台阶42的设置，为第一微孔盘2和第二微孔盘3的安装提供位置空间，便于保持第一微孔盘2和第二微孔盘3同心设置，且第一微孔盘2和第二微孔盘3可采用焊接的方式分别固定于第一台阶41和第二台阶
42上。
[0033]进一步，如图1~4所示，第二气孔31和第一气孔21的孔径大小一致。第二气孔31和第一气孔21的孔径均为0.1mm。
[0034]进一步，如图1~4所示，第一微孔盘2的中心设有不开孔区5，不开孔区5的直径与第一微孔盘2的外周圆直径的1/3等同，避免臭氧气体集中在曝气装置的中心区域，不利于臭氧气体在去离子水中的扩散的事情发生。
[0035]进一步，在本实施例中，托架1、第一微孔盘2以及第二微孔盘3的材质均为PTFE材料，通过采用高纯PTFE材料，该PTFE材料可以在高浓度臭氧水中不发生腐蚀、不析出金属、不产生粉末颗粒，保证臭氧水不被污染，同时，PTFE材料不会因被反复拉伸产生污染臭氧水的颗粒和发生疲劳断裂，保证曝气装置长久稳定运行。
[0036]使用时，臭氧气体从曝气装置的进气口11进入到装置内部，由于第一微孔盘2的中心设有不开孔区5，臭氧气体会逐步向托架1的外周扩散并进入到第一微孔盘2的若干第一气孔21里；经过第一微孔盘2分散的臭氧气体充满第一微孔盘2与第二微孔盘3的间隙中；由于第二微孔盘3上的若干第二气孔31与第一微孔盘2上的若干第一气孔21相互错位，臭氧气体需要改变路径进入到第二微孔盘3上的若干第二气孔31后再逸出至臭氧水罐体内，臭氧气体被进一步分散成更多的小流量气体，从而实现曝气的目的。
[0037]以上，参照图1~4描述了根据本技术实施例的适用于臭氧水罐体内的曝气装置，本装置能利用上下多层错位的第二气孔31和第一气孔21对高浓度的臭氧气体进行逐步分散，从而增大臭氧气体与去离子水的接触面积，改善气液传质的效率，产生高浓度的臭氧水；且装置本身本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于臭氧水罐体内的曝气装置，其特征在于，包含：托架，所述托架的底部设有进气口，所述托架安装在外部的臭氧水罐的底部；第一微孔盘，所述第一微孔盘与所述托架相连，所述第一微孔盘上设有均匀分布的若干第一气孔；第二微孔盘，所述第二微孔盘与所述托架相连，且位于所述第一微孔盘的顶部，所述第二微孔盘上设有均匀分布的若干第二气孔，所述若干第二气孔与所述若干第一气孔相互错位设置。2.如权利要求1所述适用于臭氧水罐体内的曝气装置，其特征在于，所述托架上设有第一台阶和第二台阶，所述第一台阶与所述第一微孔盘相连，所述第二台阶与所述第二微孔盘相连。3.如权利要求1所述适用于臭氧水罐体内的曝气装置，其特征在于，所述第二气孔和所述第一气孔的孔径大小一致。4.如权利要求1或3所述适用于臭氧水罐体...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，赵阳，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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