一种贴膜加热石英缸快速降温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种贴膜加热石英缸快速降温装置，属于半导体技术领域。所述快速降温装置包括冷却支架，所述冷却支架底部缠绕冷却管，所述冷却管沿着冷却支架长度方向布置，所述冷却管一端作为进口，所述进口与清洗设备的动力源排放口连通；另一端作为出口；清洗设备的动力源排放口排出的冷却介质经冷却管的进口流入冷却管内，与贴膜加热石英缸内的高温化剂进行热交换，对高温化剂进行降温，热交换后的冷却水经冷却管的出口排出。所述冷却支架为特氟龙材料制成件。所述冷却管为PFA材料制成件。本申请结构简单，操作便捷，利用动力纯水或者动力冷却水对高温化剂进行快速降温冷却，进而大幅减少高温化剂排放回收时间，提高了设备产能。产能。产能。

【技术实现步骤摘要】
一种贴膜加热石英缸快速降温装置


[0001]本技术涉及一种贴膜加热石英缸快速降温装置，属于半导体


技术介绍

[0002]目前，半导体行业中，湿法清洗机的使用非常多，各类湿法清洗设备如自动的、半自动的、手动的都非常成熟。在湿法清洗设备中，有一类是作业高温化剂的，这类设备上经常会将化学品通过贴膜加热石英缸加热到高温，如负胶剥离液、六号清洗剂等等。这类设备就需要进行专门的设计。
[0003]在湿法清洗设备中，快速作业、连续安全稳定作业是设备的基本要求，同时设备产量是个重要参数。有些加热的化剂作业定量的产品后，化学成分需要重新更换，高温化剂的冷却再回收往往耽误较多的时间，从而耽误设备产能。
[0004]一直以来高温化剂清洗都是相对比较成熟的工艺，对于这种高温化剂，我们需要先对其降温再进行排放回收，而降温时药液的温度处在120℃左右。行业内普遍采用的是自然冷却，使高温化剂的温度自然冷却到50℃以下再进行排液(现设备要求≤50℃)，这种自然冷却的方式将需要4小时以上的时间，耽搁了较多的设备产能。
技术内容
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种贴膜加热石英缸快速降温装置，所述快速降温装置设于贴膜加热石英缸内，其特征在于：所述快速降温装置包括冷却支架，所述冷却支架底部缠绕冷却管，所述冷却管沿着冷却支架长度方向布置，所述冷却管一端作为进口，所述进口与清洗设备的动力源排放口连通；另一端作为出口；清洗设备的动力源排放口排出的冷却介质经冷却管的进口流入冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋亚东，王法华，王旭，王海东，吕伟，
申请(专利权)人：江苏新顺微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：