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本实用新型涉及一种贴膜加热石英缸快速降温装置，属于半导体技术领域。所述快速降温装置包括冷却支架，所述冷却支架底部缠绕冷却管，所述冷却管沿着冷却支架长度方向布置，所述冷却管一端作为进口，所述进口与清洗设备的动力源排放口连通；另一端作为出口；清...
该专利属于江苏新顺微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏新顺微电子股份有限公司授权不得商用。

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