一种晶圆上下料夹爪制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆上下料夹爪，包括底板，所述底板顶部两侧固定连接有定位柱，所述定位柱外围套设连接有定位套，所述定位套顶部固定连接有托板，所述托板顶部中心处固定连接有旋转箱，所述旋转箱内部设有传动轴，所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架，所述C字型固定架内部固定连接有驱动箱，所述驱动箱下方设有安装架，本实用新型专利技术通过设置第二电动伸缩杆可带动弧形夹持板进行移动，适用于不同大小的晶圆进行稳定夹持，便于上下料操作，通过设置抽气泵可将吸气盘内部抽至负压状态，通过设置吸嘴与晶圆上表面接触使夹持装置与晶圆之间的夹持稳定性有所提升，避免晶圆在上下料过程中发生脱落。程中发生脱落。程中发生脱落。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆上下料夹爪


[0001]本技术涉及一种夹爪，具体为一种晶圆上下料夹爪，属于晶圆加工


技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在加工时需使用到夹爪进行上下料操作。
[0003]现有的多数晶圆夹爪不便于根据晶圆大小自行调节夹持范围，需由工作人员手动调整，且夹持过程中夹持应力过大易对晶圆表面造成损坏，晶圆在上下料过程中易从夹爪内部脱落导致晶圆受损，影响加工效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆上下料夹爪，通过设置第二电动伸缩杆可带动弧形夹持板进行移动，适用于不同大小的晶圆进行稳定夹持，便于上下料操作，通过设置抽气泵可将吸气盘内部抽至负压状态，通过设置吸嘴与晶圆上表面接触使夹持装置与晶圆之间的夹持稳定性有所提升，避免晶圆在上下料过程中发生脱落。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种晶圆上下料夹爪，包括底板，所述底板顶部两侧固定连接有定位柱，所述定位柱外围套设连接有定位套，所述定位套顶部固定连接有托板，所述托板顶部中心处固定连接有旋转箱，所述旋转箱内部设有传动轴，所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架，所述C字型固定架内部固定连接有驱动箱，所述驱动箱下方设有安装架，所述安装架内部固定连接有抽气泵，所述抽气泵一侧通过管道固定连接有吸气盘，所述吸气盘底部固定连接有夹持装置。
[0006]优选的，所述底板顶部固定连接有滑轨，所述滑轨顶部滑动连接有滑块，所述滑块顶部转动连接有升降杆，所述升降杆顶部与托板底部转动连接，所述升降杆之间转动连接有第一电动伸缩杆。
[0007]优选的，所述旋转箱内部固定连接有隔板，所述隔板底部两侧固定连接有传动电机，所述传动电机输出端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮轴心处与传动轴固定连接，所述传动轴底部与隔板顶部转动连接。
[0008]优选的，所述驱动箱一侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机输出端固定连接有丝杆，所述丝杆外围螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套顶部与驱动箱内壁滑动连接，所述螺纹套底部与安装架顶部固定连接。
[0009]优选的，所述吸气盘底部中心处开设有吸嘴，所述夹持装置包括固定环，所述固定环外围固定连接有防护框，所述防护框内部固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆末端贯穿固定环外壁固定连接有安装板。
[0010]优选的，所述安装板一侧固定连接有阻尼缓冲弹簧，所述阻尼缓冲弹簧末端固定
连接有弧形夹持板。
[0011]本技术的有益效果是：
[0012]本技术通过设置第一电动伸缩杆可对升降杆之间的角度进行调整，从而使托板的高度可进行相应调整，便于夹持装置对不同高度的晶圆进行夹持操作，定位柱与定位套可提高托板的升降稳定性，通过设置第二电动伸缩杆可带动弧形夹持板进行移动，适用于不同大小的晶圆进行稳定夹持，便于上下料操作，通过设置阻尼缓冲弹簧可对夹持应力进行缓冲，避免夹持应力过大对晶圆造成损坏，通过设置抽气泵可将吸气盘内部抽至负压状态，通过设置吸嘴与晶圆上表面接触使夹持装置与晶圆之间的夹持稳定性有所提升，避免晶圆在上下料过程中发生脱落。
附图说明
[0013]图1是本技术的整体结构示意图。
[0014]图2是本技术的旋转箱内部结构示意图。
[0015]图3是本技术的驱动箱内部结构示意图。
[0016]图4是本技术的夹持装置结构示意图。
[0017]图中标号：1、底板；2、托板；3、旋转箱；4、驱动箱；5、抽气泵；6、吸气盘；7、夹持装置；8、第一电动伸缩杆；9、第一齿轮；10、第二齿轮；11、丝杆；12、螺纹套；13、吸嘴；14、固定环；15、第二电动伸缩杆；16、弧形夹持板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例1请参阅图1
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4所示，一种晶圆上下料夹爪，包括底板1，所述底板1顶部两侧固定连接有定位柱，所述定位柱外围套设连接有定位套，所述定位套顶部固定连接有托板2，所述托板2顶部中心处固定连接有旋转箱3，所述旋转箱3内部设有传动轴，所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架，所述C字型固定架内部固定连接有驱动箱4，所述驱动箱4下方设有安装架，所述安装架内部固定连接有抽气泵5，所述抽气泵5一侧通过管道固定连接有吸气盘6，所述吸气盘6底部固定连接有夹持装置7。
[0020]具体而言，所述底板1顶部固定连接有滑轨，所述滑轨顶部滑动连接有滑块，所述滑块顶部转动连接有升降杆，所述升降杆顶部与托板2底部转动连接，所述升降杆之间转动连接有第一电动伸缩杆8，所述旋转箱3内部固定连接有隔板，所述隔板底部两侧固定连接有传动电机，所述传动电机输出端固定连接有第一齿轮9，所述第一齿轮9啮合连接有第二齿轮10，所述第二齿轮10轴心处与传动轴固定连接，所述传动轴底部与隔板顶部转动连接，所述驱动箱4一侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机输出端固定连接有丝杆11，所述丝杆11外围螺纹连接有螺纹套12，所述螺纹套12顶部与驱动箱4内壁滑动连接，所述螺纹套12底部与安装架顶部固定连接，所述吸气盘6底部中心处开设有吸嘴13，所述夹持装置7包括固定环14，所述固定环14外围固定连接有防护框，所述防护框内部固定连接有第二电动伸缩
杆15，所述第二电动伸缩杆15末端贯穿固定环14外壁固定连接有安装板，所述安装板一侧固定连接有阻尼缓冲弹簧，所述阻尼缓冲弹簧末端固定连接有弧形夹持板16，通过设置第一电动伸缩杆8可对升降杆之间的角度进行调整，从而使托板2的高度可进行相应调整，便于夹持装置7对不同高度的晶圆进行夹持操作，定位柱与定位套可提高托板2的升降稳定性，通过设置第二电动伸缩杆15可带动弧形夹持板16进行移动，适用于不同大小的晶圆进行稳定夹持，便于上下料操作，通过设置阻尼缓冲弹簧可对夹持应力进行缓冲，避免夹持应力过大对晶圆造成损坏，通过设置抽气泵5可将吸气盘6内部抽至负压状态，通过设置吸嘴13与晶圆上表面接触使夹持装置7与晶圆之间的夹持稳定性有所提升，避免晶圆在上下料过程中发生脱落。
[0021]本技术在使用时，通过设置第一电动伸缩杆8可对升降杆之间的角度进行调整，从而使托板2的高度可进行相应调整，便于夹持装置7对不同高度的晶圆进行夹持操作，定位柱与定位套可提高托板2的升降稳定性，通过设置第二电动伸缩杆15可带动弧形夹持板16进行移动，适用于不同大小的晶圆进行稳定夹持，便于上下料操作，通过设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆上下料夹爪，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部两侧固定连接有定位柱，所述定位柱外围套设连接有定位套，所述定位套顶部固定连接有托板（2），所述托板（2）顶部中心处固定连接有旋转箱（3），所述旋转箱（3）内部设有传动轴，所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架，所述C字型固定架内部固定连接有驱动箱（4），所述驱动箱（4）下方设有安装架，所述安装架内部固定连接有抽气泵（5），所述抽气泵（5）一侧通过管道固定连接有吸气盘（6），所述吸气盘（6）底部固定连接有夹持装置（7）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆上下料夹爪，其特征在于：所述底板（1）顶部固定连接有滑轨，所述滑轨顶部滑动连接有滑块，所述滑块顶部转动连接有升降杆，所述升降杆顶部与托板（2）底部转动连接，所述升降杆之间转动连接有第一电动伸缩杆（8）。3.根据权利要求1所述的一种晶圆上下料夹爪，其特征在于：所述旋转箱（3）内部固定连接有隔板，所述隔板底部两侧固定连接有传动电机，所述传动电机输出端固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：锁珍，
申请(专利权)人：苏州八术激光技术有限公司，
类型：新型
国别省市：