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本实用新型涉及一种晶圆上下料夹爪，包括底板，所述底板顶部两侧固定连接有定位柱，所述定位柱外围套设连接有定位套，所述定位套顶部固定连接有托板，所述托板顶部中心处固定连接有旋转箱，所述旋转箱内部设有传动轴，所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架，...
该专利属于苏州八术激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州八术激光技术有限公司授权不得商用。

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