晶体生产设备制造技术

本发明专利技术提供一种晶体生产设备，晶体生产设备包括可拆分的炉盖及炉体，还包括能够升降的提拉装置、限定提拉装置的升降方向的提拉导向单元、可动连接于提拉导向单元的同步移运单元；提拉装置包括提晶单元及提盖单元，提晶单元与提盖单元安装至同步移运单元，分别用以连接籽晶与炉盖；同步移运单元被配置为能够沿提拉导向单元升降，用以同步带动提晶单元与提盖单元相对炉体升降。单元相对炉体升降。单元相对炉体升降。

【技术实现步骤摘要】
晶体生产设备


[0001]本专利技术涉及晶体制备
，尤其涉及一种晶体生产设备。

技术介绍

[0002]在光伏产业、半导体产业中，由泡生法、提拉法或者各种改良泡生法制得的人造晶体被广泛使用。晶体生长过程中需要向上提升籽晶以及晶棒，晶体生长完成后还要分离籽晶与晶棒以取出晶棒，故晶体生产设备会设置籽晶提升结构和炉盖分离提升结构，前者用于提升籽晶与晶棒，后者用于提升炉盖并分离炉盖与炉体，以允许取出晶棒。
[0003]晶体提升和炉盖提升在不同时段进行，故现有晶体生产设备采用籽晶提升结构与炉盖分离提升结构分体设置的方式，二者分别连接不同的升降导向结构，导致晶体生产设备的结构复杂、使用成本高；此外，由于提升结构负重时会被拉弯变形，晶体提升轨迹与炉盖提升轨迹相对于竖直方向偏斜，提升晶体时容易引起籽晶或籽晶提升结构刮擦炉盖甚至刮擦炉盖分离提升结构的问题。

技术实现思路

[0004]鉴于此，本专利技术提供一种结构更为简化紧凑的晶体生产设备，该晶体生产设备的使用成本更低，可以改善提升晶体时籽晶或籽晶提升结构刮擦炉盖甚至刮擦炉盖分离提升结构的问题。
[0005]本专利技术提供的晶体生产设备，包括可拆分的炉盖及炉体，还包括能够升降的提拉装置、限定提拉装置的升降方向的提拉导向单元、可动连接于提拉导向单元的同步移运单元；
[0006]提拉装置包括提晶单元及提盖单元，提晶单元与提盖单元安装至同步移运单元，分别用以连接籽晶与炉盖；
[0007]同步移运单元被配置为能够沿提拉导向单元升降，用以同步带动提晶单元与提盖单元相对炉体升降。
[0008]在其中一个实施方式中，同步移运单元包括可动连接于提拉导向单元的升降座体，升降座体被配置为能够沿升降方向活动；
[0009]同步移运单元还包括转动连接于升降座体的升降悬臂，升降悬臂与提拉导向单元相对转动以改变二者之间的夹角。
[0010]如此设置，升降座体通过相对提拉导向单元升降活动以带动升降悬臂、提晶单元与提盖单元同步升降运动，升降悬臂与提拉导向单元之间形成的转动连接使得升降悬臂上升至指定高度后能够通过转动以带动炉盖从正对朝向炉体开口的外侧区域离开，以使晶棒的取出更加容易。
[0011]在其中一个实施方式中，升降悬臂与升降座体之间具有枢转中心并且形成枢转配合，枢转中心的延伸方向与升降方向相一致。
[0012]如此设置，升降悬臂在升降方向上能够维持在固定的高度位置相对于升降座体和
提拉导向单元转动，使得提晶单元、提盖单元以及炉盖能够在固定的高度位置转动，有利于提高晶体生产设备的稳定性和操作安全性，避免因提晶单元、提盖单元以及炉盖转动同时发生高度位置变化从而造成撞击事故。
[0013]在其中一个实施方式中，同步移运单元包括可活动设于提拉导向单元侧向的升降悬臂，提晶单元、提盖单元与升降悬臂安装为一体，升降悬臂沿升降方向相对提拉导向单元活动时，提晶单元与提盖单元相对固定。
[0014]如此设置，升降悬臂相对于提拉导向单元升降的方向即为晶体提升或者炉盖提升时的运动方向，晶体提升轨迹与炉盖提升轨迹之间的相对偏斜量消除，在提升晶体或者提升炉盖时，无论升降悬臂的升降方向是否与竖直方向偏斜，籽晶与炉盖，或者提晶单元与炉盖之间都不会刮擦或卡阻。
[0015]在其中一个实施方式中，炉盖包括勾挂适配件，提盖单元包括勾挂元件，勾挂元件用于勾连勾挂适配件以悬吊炉盖，其中：
[0016]勾挂适配件在炉盖外壁上的投影位于炉盖外壁的中心与提拉导向单元之间；或者，
[0017]勾挂适配件与勾挂元件均为多个并且逐个对应，勾挂适配件在炉盖外壁上的投影连线所形成图形的中心，位于炉盖外壁的中心与提拉导向单元之间。
[0018]如此设置，在炉盖被提盖单元通过勾挂元件吊起时，炉盖的所受合力的作用线不经过炉盖的重心，这会使炉盖产生微量偏斜，这种偏斜可以使炉盖更好地适应升降悬臂受拉弯曲时引起的实际升降轨迹相对竖直方向的偏斜，最终炉盖会呈现出靠近提拉导向单元的半圆边高于远离提拉导向单元的半圆边的姿态，此时炉盖的轴线与提晶单元的轴线具有相同的倾斜趋势，不会引起炉盖与提晶单元卡阻的问题。
[0019]在其中一个实施方式中，提盖单元还包括具有伸缩自由度的气动伸缩元件，勾挂元件转动连接于升降悬臂，气动伸缩元件与升降悬臂以及勾挂元件转动连接，并且与升降悬臂共同形成连杆机构。
[0020]如此设置，提盖单元连接或者释放炉盖的动作更加迅速容易。
[0021]在其中一个实施方式中，晶体生产设备还包括与同步移运单元可拆卸连接的配重结构，配重结构在同步移运单元相对远离提晶单元与提盖单元的一侧连接同步移运单元。
[0022]如此设置，配重结构可以在连接至同步移运单元时平衡同步移运单元受到提晶单元、提盖单元、晶体或炉盖重量的拉力，有利于抵消或削减提升晶体或提升炉盖时的实际升降轨迹与对应提拉导向单元所限定升降方向的理想升降轨迹之间的偏差，这样可以在取出晶棒后更加顺利地将炉盖平稳且准确地重新盖合于炉体。
[0023]在其中一个实施方式中，炉体包括可拆分的顶部炉与底部炉，炉盖与顶部炉可拆分连接，提拉装置还包括用于连接顶部炉的提炉单元，提炉单元可动连接于提拉导向单元，且被配置为能够沿提拉导向单元升降。
[0024]如此设置，顶部炉脱离底部炉可以使晶棒的取出更容易执行，炉体有多个分体结构组成的设计可以使炉体的清洁更容易。
[0025]在其中一个实施方式中，晶体生产设备还包括合盖对准机构，合盖对准机构包括：
[0026]纠偏元件，连接于顶部炉与炉盖中的一者；
[0027]滑移元件，连接于顶部炉与炉盖中的另一者；
[0028]滑移元件能够沿纠偏元件活动并与之形成滑动配合，直至炉盖与顶部炉形成密封配合时固定配合。
[0029]如此设置，合盖对准机构的设置可以使炉盖与炉体重新对接结合更加容易、快捷、且有利于实现良好稳定的密封对接，即使同步移运单元在提晶单元、提盖单元、炉盖重量的拉力作用下弯曲，造成炉盖实际下降轨迹与对应提拉导向单元所限定升降方向的理想升降轨迹之间产生偏差，也可以通过纠偏元件与滑移元件之间的相对滑动消除这一偏差，最终炉盖与顶部炉仍能够形成严密的密封配合。
[0030]在其中一个实施方式中，晶体生产设备还包括合炉对准机构，合炉对准机构包括：
[0031]对中元件，连接于顶部炉与底部炉中的一者；
[0032]滑触元件，连接于顶部炉与底部炉中的另一者；
[0033]滑触元件能够沿对中元件活动并与之形成滑动配合，直至顶部炉与底部炉形成密封配合时固定配合。
[0034]如此设置，合炉对准机构的设置可以使顶部炉与底部炉重新对接结合更加容易、快捷，且有利于实现良好的密封对接。即使提炉单元在顶部炉重量的拉力作用下弯曲，造成顶部炉实际下降轨迹与对应提拉导向单元所限定升降方向的理想升降轨迹之间产生偏差，也可以通过滑触元件与对中元件之间的相对滑动消除这一偏差，最终顶部炉与底部炉仍能够本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生产设备，包括可拆分的炉盖(11)及炉体(12)，其特征在于，还包括能够升降的提拉装置(20)、限定所述提拉装置(20)的升降方向的提拉导向单元(30)、可动连接于所述提拉导向单元(30)的同步移运单元(40)；所述提拉装置(20)包括提晶单元(21)及提盖单元(22)，所述提晶单元(21)与所述提盖单元(22)安装至所述同步移运单元(40)；所述同步移运单元(40)被配置为能够沿所述提拉导向单元(30)升降，用以同步带动所述提晶单元(21)与所述提盖单元(22)相对所述炉体(12)升降。2.根据权利要求1所述的晶体生产设备，其特征在于，所述同步移运单元(40)包括可动连接于所述提拉导向单元(30)的升降座体(41)，所述升降座体(41)被配置为能够沿所述升降方向活动；所述同步移运单元(40)还包括转动连接于所述升降座体(41)的升降悬臂(42)，所述提晶单元(21)与所述提盖单元(22)安装于所述升降悬臂(42)，所述升降悬臂(42)与所述提拉导向单元(30)相对转动以改变二者之间的夹角。3.根据权利要求2所述的晶体生产设备，其特征在于，所述升降悬臂(42)与所述升降座体(41)之间具有枢转中心并且形成枢转配合，所述枢转中心的延伸方向与所述升降方向相一致。4.根据权利要求1所述的晶体生产设备，其特征在于，所述同步移运单元(40)包括可活动设于所述提拉导向单元(30)侧向的升降悬臂(42)，所述提晶单元(21)、所述提盖单元(22)与所述升降悬臂(42)安装为一体，所述升降悬臂(42)沿所述升降方向相对所述提拉导向单元(30)活动时，所述提晶单元(21)与所述提盖单元(22)相对固定。5.根据权利要求4所述的晶体生产设备，其特征在于，所述炉盖(11)包括勾挂适配件(112)，所述提盖单元(22)包括勾挂元件(221)，所述勾挂元件(221)用于勾连所述勾挂适配件(112)以悬吊所述炉盖(11)，其中：所述勾挂适配件(112)在所述炉盖外壁(113)上的投影位于所述炉盖外壁(113)的中心与所述提拉导向单元(30)之间；或者，所述勾挂适配件(112)与所述勾挂元件(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，傅林坚，欧阳鹏根，叶钢飞，魏怡凡，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：