一种磨损监测系统、提升机构及拉晶炉技术方案

本实用新型专利技术实施例公开了一种磨损监测系统、提升机构及拉晶炉，所述磨损监测系统包括：接收盘，所述接收盘设置在所述提升机构的籽晶夹头的顶部并且相对于所述提升机构的牵引线居中，以接收因所述提升机构的磨损而掉落的铁磁性的碎屑；设置在所述接收盘上的电路；电连接至所述电路并且彼此间隔开的第一磁体和第二磁体，所述第一磁体和所述第二磁体设置在所述接收盘上以用于吸附被所述接收盘接收的碎屑，并且当所述第一磁体和所述第二磁体之间的间隙被所述碎屑充满时所述电路导通，以输出表示所述提升机构已经磨损到无法继续使用的程度的信号。度的信号。度的信号。

【技术实现步骤摘要】
一种磨损监测系统、提升机构及拉晶炉


[0001]本技术涉及半导体硅片生产领域，尤其涉及一种磨损监测系统、提升机构及拉晶炉。

技术介绍

[0002]在半导体硅片生产领域中，通常利用直拉法拉制出单晶硅棒，将单晶硅棒进行多线切割得到硅片，再将硅片进行研磨、抛光、外延生长等处理之后便可以得到成品硅片。
[0003]在对成品硅片进行品质检测的过程中，有时会发现硅片中的铁含量超标，这通常是由于拉晶炉中的提升机构因磨损而产生含铁的碎屑掉落到硅熔体中导致的。
[0004]为了避免上述情况的发生，一方面需要阻止碎屑掉落到硅熔体中，另一方面需要对提升机构的磨损情况做出判断，以便在提升机构已经磨损至无法继续使用的情况下及时更换。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术实施例期望提供一种磨损监测系统、提升机构及拉晶炉，能够阻止碎屑掉落到硅熔体中，并且能够监测提升机构的磨损。
[0006]本技术的技术方案是这样实现的：
[0007]第一方面，本技术实施例提供了一种用于监测拉晶炉的提升机构的磨损的系统，所述系统包括：
[0008]接收盘，所述接收盘设置在所述提升机构的籽晶夹头的顶部并且相对于所述提升机构的牵引线居中，以接收因所述提升机构的磨损而掉落的铁磁性的碎屑；
[0009]设置在所述接收盘上的电路；
[0010]电连接至所述电路并且彼此间隔开的第一磁体和第二磁体，所述第一磁体和所述第二磁体设置在所述接收盘上以用于吸附被所述接收盘接收的碎屑，并且当所述第一磁体和所述第二磁体之间的间隙被所述碎屑充满时所述电路导通，以输出表示所述提升机构已经磨损到无法继续使用的程度的信号。
[0011]第二方面，本技术实施例提供了一种拉晶炉的提升机构，所述提升机构包括：
[0012]用于夹持籽晶的籽晶夹头；
[0013]连接至所述籽晶夹头的牵引线；
[0014]驱动器，所述驱动器用于使所述牵引线的与所述籽晶夹头连接的端部向上移动；
[0015]根据第一方面所述的系统。
[0016]第三方面，本技术实施例提供了一种拉晶炉，所述拉晶炉包括根据第二方面所述的提升机构。
[0017]本技术实施例提供了一种磨损监测系统、提升机构及拉晶炉，不仅可以通过接收盘避免碎屑掉落到拉晶炉的坩埚所容纳的硅熔体中，由此避免了生产出的硅片中的铁含量超标，而且可以通过电路、第一磁体和第二磁体在碎屑达到特定量时提供信号，而碎屑
的量是代表着提升机构的磨损程度的，因此能够获知提升机构已经磨损至无法继续使用的情况，而且，信号的产生是通过碎屑使电路导通这种更为“硬性”因而更为稳定的方式完成的，因此与比如在接收盘上设置称重器相比，能够实现信号更为稳定的输出。
附图说明
[0018]图1结合拉晶炉及其提升机构示出了根据本技术的实施例的磨损监测系统的示意图；
[0019]图2为根据本技术的实施例的磨损监测系统的放大示意图，其中示出了散落在接收盘上的碎屑；
[0020]图3为根据本技术的实施例的磨损监测系统的放大示意图，其中示出了聚集在第一磁体和第二磁体处的碎屑；
[0021]图4为根据本技术的实施例的系统的接收盘的立体示意图；
[0022]图5示出了根据本技术的实施例的提升机构的压重体的示意图。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0024]参见图1至图3，本技术实施例提供了一种用于监测拉晶炉1的提升机构10的磨损的系统100，其中，图1中示出了系统100所应用于的拉晶炉1及其处于虚线方框内的提升机构10，这将在下文中进一步详细描述，更具体地参见图2和图3，所述系统100可以包括：
[0025]接收盘110，所述接收盘110设置在所述提升机构10的籽晶夹头11的顶部并且相对于所述提升机构10的牵引线12居中，以接收因所述提升机构10的磨损而掉落的铁磁性的碎屑D，如在图1至图3中通过黑色圆点示意性地示出的，另外图1中示出了碎屑D例如可以因牵引线12与提升机构10的定滑轮14之间的接触和摩擦而产生；
[0026]设置在所述接收盘110上的电路120，如在图2和图3中更清楚地通过粗实线示意性地示出的；
[0027]电连接至所述电路120并且彼此间隔开的第一磁体130A和第二磁体130B，所述第一磁体130A和所述第二磁体130B设置在所述接收盘110上以用于吸附被所述接收盘110接收的碎屑D，并且当所述第一磁体130A和所述第二磁体130B之间的间隙G被所述碎屑D充满时所述电路120导通，以输出表示所述提升机构10已经磨损到无法继续使用的程度的信号，比如报警信号，其中，图2示出了碎屑D掉落在接收盘110上并且被接收盘110接收的情形，图3示出了碎屑D被吸附至第一磁体130A和第二磁体130B之间并且将间隙G充满的情形，另外需要说明的是，电路120本身可以作为用于发送信号的电路，在导通的情况下便完成比如报警信号的发送，在断开的情况下不发送报警信号，电路120也可以作为信号发送器的电路的一部分，同样地，在导通的情况下使信号发送器的电路导通从而发送比如报警信号，而在断开的情况下使信号发送器的电路断开从而无法发送报警信号。
[0028]在根据本技术的实施例的上述系统100中，不仅可以通过接收盘110避免碎屑D掉落到拉晶炉1的坩埚所容纳的硅熔体中，由此避免了生产出的硅片中的铁含量超标，而且可以通过电路120、第一磁体130A和第二磁体130B在碎屑D达到特定量时提供信号，而碎
屑D的量是代表着提升机构10的磨损程度的，因此能够获知提升机构10已经磨损至无法继续使用的情况，而且，信号的产生是通过碎屑D使电路120导通这种更为“硬性”因而更为稳定的方式完成的，因此与比如在接收盘110上设置称重器相比，能够实现信号更为稳定的输出。
[0029]在碎屑D掉落在接收盘110上时，可以会发生弹跳或者说溅射，由此运动至接收盘110的径向外侧，在这种情况下碎屑D不会再接收在接收盘110中而是会掉落到熔体中。对此，在本技术的优选实施例中，参见图4，所述接收盘110可以包括本体111以及从所述本体111的周缘向上突出的凸起部112，由此避免碎屑D因溅射而运动至接收盘110的径向外侧，最大程度地避免碎屑D掉落到熔体中。
[0030]对于接收盘110的方位以及几何形状而言，在本技术的优选实施例中，所述接收盘110可以水平地设置并且可以呈圆形，避免接收在接收盘110上碎屑D从接收盘110滑落，另外碎屑D总是倾向于掉落在牵引线12附近，在接收盘110呈圆形并且相对于牵引线12居中的情况下能够最大程度地确保接收盘110对掉落的碎屑D进行接收。
[0031]可以理解的是，上述的接收盘110的直径越大的情况下是越有利的，但是，接收盘110与拉晶炉1的炉壁之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于监测拉晶炉的提升机构的磨损的系统，其特征在于，所述系统包括：接收盘，所述接收盘设置在所述提升机构的籽晶夹头的顶部并且相对于所述提升机构的牵引线居中，以接收因所述提升机构的磨损而掉落的铁磁性的碎屑；设置在所述接收盘上的电路；电连接至所述电路并且彼此间隔开的第一磁体和第二磁体，所述第一磁体和所述第二磁体设置在所述接收盘上以用于吸附被所述接收盘接收的碎屑，并且当所述第一磁体和所述第二磁体之间的间隙被所述碎屑充满时所述电路导通，以输出表示所述提升机构已经磨损到无法继续使用的程度的信号。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述接收盘包括本体以及从所述本体的周缘向上突出的凸起部。3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述接收盘水平地设置并且呈圆形。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，相应于拉制直径为300mm的晶棒的拉晶炉，所述接收盘的直径介于180mm至220mm之间。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭超超，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：