坩埚轴组件和晶体生长装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种坩埚轴组件和晶体生长装置，坩埚轴组件包括冷却件和转轴，冷却件形成为具有安装通道的管状结构，冷却件内形成有环绕安装通道的冷却通道，冷却通道沿安装通道的轴向螺旋延伸，转轴穿设于冷却件的安装通道中，转轴适于相对冷却件转动，转轴的一端与驱动机构相连，转轴另一端与坩埚相连，用于驱动坩埚旋转。根据本实用新型专利技术的坩埚轴组件，通过将转轴穿设于冷却件的安装通道中，转轴和冷却件相互独立，维修人员可以单独对冷却件或转轴进行维修或更换，简单方便，可以不必将整个坩埚轴组件进行更换，便于维修人员对坩埚轴组件进行维修，可以降低坩埚轴组件的维修成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
坩埚轴组件和晶体生长装置


[0001]本技术涉及晶体生产领域，尤其是涉及一种坩埚轴组件和晶体生长装置。

技术介绍

[0002]在直拉法生长单晶硅的过程中，为了保证生长出的晶棒直径均匀，盛放有硅液的坩埚在坩埚轴的传动下与籽晶发生方向相反的转动。由于坩埚处于高温的炉室中，坩埚轴处于高温环境中，坩埚轴组件中会设有冷却系统对坩埚轴进行降温。但是，相关技术中，当坩埚轴或冷却系统出现故障时，维修较为麻烦。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种坩埚轴组件，转轴和冷却件相互独立，维修人员可以单独对冷却件或转轴进行维修或更换，简单方便，可以不必将整个坩埚轴组件进行更换，便于维修人员对坩埚轴组件进行维修，可以降低坩埚轴组件的维修成本。
[0004]根据本技术的第一方面实施例的坩埚轴组件，用于晶体生长装置，所述晶体生长装置包括坩埚，所述坩埚轴组件包括：冷却件，所述冷却件形成为具有安装通道的管状结构，所述冷却件内形成有环绕所述安装通道的冷却通道，所述冷却通道沿所述安装通道的轴向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚轴组件，用于晶体生长装置，所述晶体生长装置包括坩埚，其特征在于，所述坩埚轴组件包括：冷却件，所述冷却件形成为具有安装通道的管状结构，所述冷却件内形成有环绕所述安装通道的冷却通道，所述冷却通道沿所述安装通道的轴向螺旋延伸；转轴，所述转轴穿设于所述冷却件的所述安装通道中，所述转轴适于相对所述冷却件转动，所述转轴的一端与驱动机构相连，所述转轴另一端与所述坩埚相连，用于驱动所述坩埚旋转。2.根据权利要求1所述的坩埚轴组件，其特征在于，所述转轴包括分体设置的主轴和坩埚托，所述坩埚托与所述主轴相连且位于所述主轴的朝向所述坩埚的一侧，所述坩埚托用于连接所述坩埚。3.根据权利要求2所述的坩埚轴组件，其特征在于，所述坩埚托为钼件。4.根据权利要求2所述的坩埚轴组件，其特征在于，所述坩埚托与所述主轴螺纹连接，或，所述坩埚托与所述主轴通过紧固件相连。5.根据权利要求2所述的坩埚轴组件，其特征在于，所述坩埚托包括承托部和连接部，所述承托部位于所述冷却件的朝向所述坩埚的一侧，所述连接部的一端与所述承托部相连且另一端伸入所述冷却件的径向内侧与所述主轴相连。6.根据权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊宏，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：